Устройство для улавливания паров от технологических ванн

СОЮЗ СОВЕТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСНИХРЕСПУБЛИК 9558 01 04 114 С 2 НИЕ ЗОБРЕТТЕЛЬСТВУ Я. К РС КОМУ СУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМИ ГННТ СССР(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ УЛАВЛИВАБИЯ ПАРОВ ОТ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ВАНН(57) Изобретение относится к устройствам для удаления газов или паров от технологических ванн и может быть использовано в установках для струйной химической и электрохимической обработки тонкопленочных микроплат. Цель изобретения - повышение эффективности очистки газов от капельно-. жидких частиц раствора. Рабочую жидкость подают на подложку 33 через форсунку 31, Образующиеся в рабочей зоне пары по входному патрубку 19 отсасывают в конденсирующий резервуар 18, гдекапельки жидкости попадают за счет инерции на сетчатое отверс- . тие 24, а основной поток газа проходит между пластинами 22, охлаждается, что способствует конденсированию паров. Сконденсированная жидкос стекает по пластинам 22, перего одке 21, через паз 25 по пластина 26, через пазы к сливному патруб 20, Очищенный от конденсата газ п падает в многоступенчатый фильтр 8,где происходит очистка от механических примесей, Конструктивные особенности устройства позволяют повысить экологическую безопасность работы при струйной обработке, 5 ил.15 Изобретение относится к устройствам для удаления газов или паров от технологических ванн и может быть использовано в установках для струй 5 ной химической и электрохимической обработки тонкопленочных микроплат.Цель изобретения - повышение эффективности очистки газов от капельно-жидких частиц раствора, 10На фиг.1 изображено устройство, общий вид; на фиг,2. - то же, вид сбоку; на фиг,З - конденсирующий резервуар, продольное сечение; на фиг.4 - сечение А-А на фиг.З; на фиг.5 - схема рециркуляции рабочего раствора.Устройство закреплено на каркасе 1 и смонтировано на ячейке 2 активации, ванне 3 гальванической обработ ки и ванне 4 отмывки,. Устройство включает в себя блоки 5 - 7 клапанов, гидроблоки 8 и 9, бидоны 10 и 11 с рабочими жидкостями, механизмы загрузки 12 и разгрузки 13, промежуточ 25 ные транспортеры 14 и 15.Ячейка 2 активации ванны 3 и 4 оснащена системой 16 рециркуляции рабочей жидкости и узлом 17 для улавливания паров, содержащим конденси 30 рующий резервуар 18 с входным 19 и сливным 20 патрубками, наклонной перегородкой 21, разделяющей конденсирующий резер ар 18 на две емкости, расположенн . в . одна над другой. 35На пластинах 22, размещенных в верхней емкости под углом к вертикали и закрепленных поочередно одним концом к перегородке 21 и верхней 40 стенке емкости, а двумя другими - к боковым стенкам конденсирующего резервуара 18, смонтированы элементы охлаждающей системы, выполненной в виде трубопроводов 23, В перегородке 45 21 напротив входного патрубка 19 выполнено сетчатое отверстие 24, а перед каждой пластиной 22, прикрепленной к перегородке 21, выполнен сквозной паз 25. Нижняя емкость резервуара 18 выполнена в виде отдельных полостей, образованных направляющими пластинами 26, расположенными под острым углом поочередно к противоположным боковым стенкам конденсирующего резервуара 18, имеющими в этих углах паз 27, площадь которого на порядок меньше площади паза, образованного пластинами 22 и стенками конденсирующего резервуара 18. Конденсирующий резервуар 18 связан с многоступенчатым фильтром 28. Устройство содержит также ванну 29, крьппку 30, форсунку 31 и вакуумный столик 32 для закрепления обрабатываемой подложки 33. При этом система 16 рециркуляции содержит коллектор 34, фильтр 35 с сорбентом для отделения органических примесей фильтр 36 для очистки от механических примесей, бак 37 и насос 38.Устройство работает следующим образом.Подложку 33 подают механизмом 12 загрузки в ячейку 2 активации и закрепляют на вакуумном столике 32, а рабочую жидкость методом вытеснения подают из бидонов 10 и 11 через блок 5 клапанов, форсунку 31 на подложку 33, а затем в коллектор 34. Рабочую жидкость очищают от примесей фильтрами 35 и 36 и подают в бидоны 10 и 11, причем газ и образующиеся в рабочей зоне пары отсасываются по входному патрубку 19 в конденсирующий резервуар 18, где капельки жидкости попадают за счет инерции на сетчатое отверстие 24, а основной поток газа проходит между пластинами 22, охлаждается, что способствует конденсированию паровСконденсированная жидкость стекает по пластинам 22, перегородке 21, через паз 25 по пластинам 26, через пазы 27 к сливному патрубку 20, Очищенный от конденсата газ попадает в многоступенчатый фильтр 28,где происходит очистка от механических примесей. После обработки на позиции активации подложку подают последовательно в ванну 3 обработки и ванну 4 отмывки, рабочую жидкость на которые подают с использованием гидроблоков 8 и 9.Улавливание паров от ванн 3 и 4 осуществляют аналогично.Конструктивные особенности устройства позволяет повысить экологическую безопасность работы при струйной обработке,Формула изобретенияУстройство для улавливания паров от технологических ванн преимущественно в установках для струйной химической и электрохимической обработки, содержащее конденсирующий резервуар с элементами охлаждающей сис-,емы и многоступенчатый фильтр, уст,новленные последовательно на вытяжном трубопроводе, о т л и ч а ющ е е с я тем, что, с целью повышения эффективности очистки газов откапельно-жидких частиц раствора, конденсирующий резервуар выполнен в виде двух емкостей, расположенных однанад другой и разделенных наклоннойперегородок с сетчатым отверстием,расположенным напротив входа вытяжного трубопровода, элементы охлажда.ющей системы выполнены в виде трубо проводов, смонтированных на пласти" 5нах, размещенных в верхней емкости под углом к вертикали, при этом пластины одним концом поочередно прикреплены к перегородке и к верхней стенке емкости, причем в перегородке перед каждой прикрепленной к ней пластиной выполнен сквозной паз, а нижняя емкость выполнена в виде отдельных сообщающихся между собой полостей.ектор С.Че Реда оиэводственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул. Гагарина, 10 Заказ 2509/28 Тираж 606 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5