Шликер для керамических пленок

,5-9, 4-0,РАМИЧЕСКИХамическийовый спирт т Вод льсию, глице оду, о т л ичто, с целью с синтетическог 5-0,7 каучу ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СС10 ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТН(54)(57) ШЛИКЕР ДЛЯ КПЛЕНОК, включающий кенаполнитель, поливинилполивинилацетатную эмрин, дибутилфталат ич а ю щ и й с я тем,увеличения выхода годных изделийза счет повыпения равноплотности пленок, он в качестве керамического наполнителя содержит глинозем и дополнительно содержит латекс синтети ческого каучука при следующем соотношении компонентов, мас.ч,;Глинозем 58-62 Поливиниловый спирт 2,15-2,ПоливинилацетатнаяГлицеринДибутилфталат 0,4-0,727-32 55 Вода 0,5-0,7Изобретение относится к составамшликеров для формирования керамических пленок методом литья и может,быть применено в электронной промышленности при изготовлении вакуумплотных подложек, используемых в качестве пассивной части гибридныхинтегральйых схем СВЧ-приборов.Известен состав шликера для литьякерамических пленок, включающий ке Орамический наполнитель, поливиниловый спирт, поливинилацетатную эмульсию, воду и глицерин 13Однако данный шликер характеризуется неравномерностью получаемых 15из него керамических пленок и, какследствие, недостаточно высоким выходом годных изделий, изготовленныхиз этих пленок,Наиболее близким к предлагаемому 20является шликер, включающий керамический наполнитель, водные растворыполивинилового спирта и поливинилацетатной эмульсии, глицерин, дибутилфталат, полиэтиленгликоль и 25оксиэтилированный алкилфенол 2,Состав известного шликера частично устраняет указанные вьппе недостатки, однако неравноплотность пленокостается высокой, и вследствие этого З 0снижается выход годных изделий.Цель изобретения - увеличениевыхода годных изделий за счет повышения равноплотности пленок. указанная цель достигается тем, что шликер для керамических пленок, включающий керамический наполнитель,поливиниловый спирт, поливинилацетатную эмульсию, глицерин, дибутил фталат и воду, в качестве керамического наполнителя содержит глинозем и дополнительно содержит латекс синтетического каучука при следующем соотношении компонентов, мас.ч.: Латекс синтетическогокаучука Для,приготовления шликера к пред варительно полученному раствору поли- винилового спирта, содержащему всю указанную в предлагаемом составе шликера воду (дистиллированную или деионизированную), при постоянном перемешивании добавляют поливинилацетатную эмульсию (содержание "сухого" поливинилацетата 44, 54 мас.7) латекс синтетического каучука (содержание "сухого" бутадиенстирольного каучука 51,76 мас.Ж), глицерин, дибутилфталат и порошок наполнителя (глинозем марки ГЛИК с удельной поверхностью 0,7-1,0 м /г), Смесь заливают в барабан шаровой мельницы. Туда же помещают корундовые мелющие тела, масса которых должна быть равной массе шликера. Перемешивание шликера в шаровой мельнице (скорость вращения барабана 60-80 об/мин) длится 6-8 ч. Шликер процеживают через сито йъ 025 и вакуумируют при разрежении О, 133-1,33 Па.П р и м е р 1. 43 г поливинилового спирта растворяют при нагревании в 540 г деионизированной воды. К полученному раствору при перемешивании добавляют 16,8 г поливинилацетатной эмульсии, 10 г латекса синтетического каучука марки СКС-С-ГП,70 г глицерина, 8 г дибутилфталатаи 1160 г глинозема марки ГЛИК судельной поверхностью порошка О,З м /После шестичасового перемешиванияшликер процеживают через сито В 025и вакуумируют при О, 133 Па. Из шликера (состав 1, табл. 1) отливаюткерамические пленки (на полированнойповерхности никелевой ленты), которые после подсушки отделяют от ленточной основы, пакетируют до нужнойтолщины и каландируют. Из приготовленных пластин вырубают керамические заготовки требуемых размеров.Последние обжигают сначала на воздухе при 1523-1573 К, а затем в вакууме при 1998+25 К. После завершения спекания подложки подвергаютсямеханической обработке. Свойства шликера и отлитой из него керамической пленки представлены в табл.23.Коэффициент равноплотности в табл. 2 рассчитывали как среднее арифметическое из 25 значений отношения кажущейся плотности листов площадью О, 1 хО, 1 м, вырубленных1147705 3в шахматном порядке из керамическойпленки шириной 0,22 м и длиной 5 м,к величине кажущейся плотности этойже пленки до вырубки из нее контрольных образцов,5Коэффициент уплстнения по табл,2 -отношение кажущейся плотчости материала соответственно до и послемаксимально допустимого уплотнения(каландрированием), не ведущегок нарушению целостности заготовки,П р и м е р 2. По методике и изкомпонентов, приведенных в примере 1,приготовлен шликер и из него отлитыкерамические пленки, 15Составные компоненты шликера, г;деионизированная вода 640; поливиниловый спирт 49; поливинилацетатнаяэмульсия 19,2; глицерин 180; дибутилфталат 18; латекс синтетического каучука 14 и порошок наполнителя 1240(состав 2, табл, 1) .Увеличение в шликере содержанияполивинилового спирта, поливинилацетатной эмульсии, латекса синтетического каучука, глицерина и дибутилфталата сверх количества, заявленного в шликере, сопровождается, какпоказано и в примере 4, уменьшениемкажущейся плотности керамическихзаготовок и равноплотности (по керамическому наполнителю) как отлитойпленки, так и, естественно, сырыхзаготовок керамических подложек,Как видно из данных табл. 2, обобщающих результаты испытаний шликеров и керамических пленок из них,предлагаемый состав шлихера обеспечивает по сравнению с аналогом и40прототипом увеличение равноплотности получаемых из него пленок,4В табл, 3 приведены данные повыходу годных издепий из пленок,полученных из шликеров предлагаемогосостава, состава по прототипу.и состава, принятого в качестве базового объекта.За базовый объект принят составшликера, в котором в качестве связующего используют раствор каучукав смеси ацетона с бензином,Как видно из табл, 3, конечныйвыход годных изделий, полученныхиз шликера предлагаемого состава,на 20-22 Х превышает таковой для изделий, полученных из шликера, соответствующего по составу прототипу.Проведенные в производственныхусловиях сравнительные испытаниябазового шликера и предлагаемогопоказали, что одновременно с устранением пожаро- и взрывоопасностина переделах приготовления литейного шликера и формования иэ него керамических пленок появляется возмож-ность на 2-4 Е повысить конечный выход годных иэделий при сохранеьлинеизменными механических, диэлектрических и других свойств готовой продукции.Следует отметить, что повышениеконечного выхода годных изделий на1 Е (по действующему предприятию)дает экономический эффект примерно50 тыс,руб, (из расчета на 100 тыс,готовых подложек). С учетом одновременного получения подложек с улучшенным качеством полированной поверхности экономический эффект будет значительно выше за счет повышения надежности гибридных интегральныхсхем,изготовленных на предприятиипотребителе подложек,1147705 Таблица 2 Шликер Керамические пленки Образецсоставов Число заКоэффициент уплотнения,густеваемости 0,47 2580 1,00 0,98 0 , 9.8 2 540 0 , 48 1,00 0,98 0,98 0,99 0 49 2590 1,02 0,99 0,45 2280 1,02 0,98 0,88 0,98 0,46 2360 1,00 0,87 0,98 0,44 1,00 0,84 2270 Аналог 0,45 2350 0,99 1,01 0,93 Прототип 4 и 5 - запредельные составы Таблица 3 Шликер состава Базовый1 , ,ПрототипПоказатели Коэффициент равноплотностикерамической отливки, долиединицы 0,98 0,98 0,99 0,88 0,87 0,72 0,93 Выход годных изделий, Х: после 1-го обжига95 после 2-го обжига 82 86 после механическойобработки 60 конечный (общий) 26 44 Класс чистоты полированнойповерхности 14 14 14 12-.13 12-13 13-14 12-13 Составитель Д, ИвановРедактор Л. Авраменко Техред Л.Мартяшова КорректорВ, Бутяга Заказ 1491/23 Тираж 05 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, МоскваЖ, Раушская наб., д, 4/5