Устройство для селекции дефектов фотошаблонов

,.801120376 А За) С 06 К 9/36 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(71) Московский институт электроннойтехники(54)(57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ СЕЛЕКЦИИДЕФЕКТОВ ФОТОШАБЛОНОВ, содержащеепервый компаратор, один вход которого соединен с блоком сканирования,а другой является первым входом устройства, первый формирователь сигналов, выходы одной группы которогоподключены к второму формирователюсигналов, а выходы другой группы соединены с входами первого элемента Ии входами первого элемента И-НЕ, выход которого подключен к одному входу второго элемента И, другой вход которого соединен с вторым формирователем сигналов, а выход является первым выходом устройства, и третий элемент И, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения надежности устройства, оно содержит второй элемент И-НЕ, входы которого соединены с первым формирователем сигналов, подключенным к входам третьего элемента И, сумматор, один вход которого соединен с первым компаратором, а выход подключен к входу первого формирователя сигналов, группу элементов И, одни входы которых соединены с выходом первого элемента И, другие й подключены к выходам второго элемен- та И-НЕ и третьего элемента И соответственно, а выходы являются другими выходами устройства, и второй компаратор, один вход которого является другим входом устройства, другой- подключен к выходу блока сканирова- ф"ф ния, а выход соединен с другим вхо- Фаей дом сумматора. К)1 11203Изобретение относится к автоматике и вычислительной технике и можетбыть использовано в системах автоматического анализа изображений в биологии, металлографии и микроэлектронике, в частности для контроля фотошаблонов.Известно устройство для селекциидефектов фотошаблонов, содержащееблок сканирования, компаратор, формирователь последовательности сигналов и блок контроля расстояний 1.Недостаток устройства заключается в том, что не используется информация об оптической плотности ис 15следования, а также оно не позволяет выделить дефекты в виде изолированных областей (дефекты типа "вкрапления"), т.е. устройство. имеет невысокую достоверность селекции дефектов20фотошаблонов.Наиболее близким к изобретению является устройство, содержащее компаратор, соединенный с блоком сканирования, блоком управления и первымформирователем сигналов, выходы которого соединены с вторым формирователем сигналов, элементом ИЛИ-НЕ и пер.вым элементом И, второй элемент И,входы которого подключены к выходамэлемента ИЛИ-НЕ и второго формироваЗОтеля сигналов, логический блок, соединенный с блоками управления, памяти и третьим элементом И 2,Однако надежность селекции в известном устройстве недостаточно высока.Цель изобретения - повышение на дежности устройства.Поставленная цель достигаетсятем, что в устройство, содержащеепервый компаратор, один вход которогосоединен с блоком сканирования, аДругой является первым входом устройства, первый формирователь сигналов, выходы одной группы которогоподключены к второму формирователюсигналов, а выходы другой группы сое"динены с входами первого элемента Ии входами первого элемента И-НЕ,выход которого подключен к одному вхо ду второго элемента И, другой входкоторого соединен с вторым формирователем сигналов, а выход являетсяпервым выходом устройства, и третийэлемент И, введены второи элемент ,55И-НЕ, входы которого соединены с первым формирователем сигналов, подклю.ченным к входам третьего элемента И,76 2сумматор, один вход которого соединен с первым компаратором, а выход подключен к входу первого формироватегя сигналов, группу элементов И, одни входы которых соединены с выходом первого элемента И, другие подключены к выхоцам второго элемента И-НЕ и третьего элемента И соответственно, а выходы являются другими выходами устройства и второй компаратор, один вход которого является другим входом устройства, другой подключен к выходу блока сканирования, а выход соединен с другим входом суммтораНа фиг.1 представлена блок-схема предлагаемого устройства; на фиг,2 кисслецуемый объект; на фиг,26 - диаграммы, поясняющие работу устройства; на фиг,3-6 - дефекты фотошаблонов,Устройство содержит блок 1 сканирования, первый 2 и второй 3 компараторы, сумматор 4, первый 5 и второй 6 формирователи сигналов, первый 7 и второй 8 элементы И-НЕ, первый 9, второй 10 и третий 11 элементы И,и группы 12 и 13 элементов И, входы 14 и 15 компараторов. При этом также обозначены заштрихованная зона 16 изображения объекта, дефектная зона1 изображения, дефектная ширина 18 перехода из темного участка в светлыйУстройство работает следующим образом. Видеосигнал, постугающий с выхода блока 1, подается на. первые входы компараторов 2 и 3, с помощью которых квантуется по амплитуде на два уровня уровни соответствуют логическому "0" и "1") путем сравнения с пороговыми уровнями напряжений, соответствующими эталонному уровню белого по входу 14 (фиг.26,61) и эталонному уровню черного по входу 15. фиг.26, 62), которые подаются на вто. рые входы компараторов 2 и 3. Таким образом, на выходе первого компаратора 2 формируется первый опорный сигнал, а на выходе второго компаратора 3 - второй опорный сигнал (%,1 ; В(1,1) на Фиг, 26),С вьйодов компаратора 2 и 3 опорные сигналы поступают на входы сумма- тора 4, который производит сложение этих сигналов по модулю два. В результате сложения на выходе сумматора 4 Формируется сигнал суммы3 11203фиг, 2 а, заштрихо(фиг.2 Б,С (1,1) иванная зона 16),Такая информация является весьмасущественной при анализе таких объектов исследования, как, например, фотошаблоны, так как одним иэ признаков наличия дефектов на фотошаблонеявляется превышение ширины переходабелых участков в черные (участков серого) определенной величины и отсутствиеучастков серого на полях фигури изоляции,С выхода сумматора 4 сигнал суммыподается на формирователь 5 сигналов(блок электронного окна), с которогоснимаются сигналы, соответствующиефункциям яркости данного элементаокна. Первая группа сигналов, соответствующая элементам Х 1-Х 4 (фиг,З)подается на формирователь 6, на выходе которого появляется сигнал, еслирасстояние между объектами или размерсамого объекта меньше минимально допустимого. Вторая группа сигналов,соответствующая элементам окна У -У(фиг.З), подается на входы первогоэлемента И 9, на выходе которого появляется сигнал, если все точки ординаты принадлежат участку серого,и на входы первого элемента И-НЕ 7,на выходе которого появляется сигнал, если эти точки не принадлежатучастку серого. Сигнал с выхода формирователя 6 подается на один входэлемента И 10, на другой вход кото 76 4рого подается сигнал с выхода элемента И-НЕ 7. На выходе элемента И 10 появляется сигнал в том случае, если расстояние между участками серого меньше минимально допустимого (фиг.4),Первая группа сигналов, соответствующая элементам абсциссы (фиг,З), подается также на элемент И 11 и элемент И-НЕ 8. На выходе элемен" та И 11 сигнал появляется в том "лучае, если все точки абсциссы принадлежат участку серого, а на выходе элемента И-НЕ 8, если эти точки не принадлежат участку серого. Сигнал с выхода элемента И-НЕ 8 подается на первый вход элемента И группы 12, на второй вход которого подается сигнал с выхода элемента И 9, На выходе элемента И группы 12 сигнал появляется в случае дефекта типа "вкраплеиие". (фиг.5). Сигнал с выхода элемента И 11 подается на первый вход другого элемента И группы 13, на второй вход которого подается сигнал с выхода элемента И 9. На выходе элемента И группы 13 сигналпоявляется в случае наличия дефекта оптической плотности фотошаблона (фиг.б), т.е. когда ширина участка серого больше допустимой величины. Введение предлагаемых узлов и эле. ментов, а также предлагаемые конструктивные связи позволяют существенно повысить надежность устройства.112037 б 4/ ент", г.Ужг ул.Проектная, 4 Составитель Т.Ничипоровичактор О.Юрковецкая Техред Т.фанта аказ 7746/39 Тираж 698 ВНИИПИ Государственного комитета С по.делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб.