Устройство для измерения периода страйп-структуры в доменосодержащих пленках

ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветсиикСоциалистичесиизРеспублик и 942144(5 )М. Кл. 611 С 11/14 3 Ъоуааротеекицй комитет СССР ав делам изобретений и открытий(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПЕРИОДА СТРАЙП-СТРУКТУРЪ В ДОМЕНОСОДЕРЖАЩИХ ПЛЕНКАХ Изобретение относится к вычислительной технике и предназначено, в частности, для измерения периода страйпструктуры эпитаксиальных феррит-гранатовых ппенок в процессе производства ЗУ на пилинппических магнитных доменах,Известны устройства, содержащие поляризатор и анализатор дпя наблюдения доменной структуры ортоферритов 11 .Недостаток известных устройствони не могут быть использованы для измерения периода страйп-структуры тонких ФеРРит-гранатовых слоев.Наиболее близким к предлагаемому по техническому решению явпяется устрой,5 ство для измерения магнитных характеристик пленок редкоземельных феррогранатов, которое содержит источник света, поляризатор, анализатор, генератор импульсов и катушку возбуждения, 20Измерение периода стра йп-структуры основано на распрямлетпти лабиринтной структуры образца пленки с помощью генератора импульсов и катушки возбуждения, отсчета оператором числа страйпов с помощью окуляр-микрометра наединицу длины и последующего расчетапериода страйп-структуры 21 .Однако в этом устройстве результатизмерения полностью зависит от субъек-жвных качеств оператора и требует последующего расчета, что снижает точность и быстродействие устройства,Цель изобретения - повышение быстро.действия и точности устройства,Указанная цель достигается тем, чтоустройство для измерения периода страйпструктуры в доменосодержащих пленках,содержащее оптически связанные источник света, попяукзатор, анализатор ифотощвтемник, выход которого подключенчерез предварительный усилитель ксилителю-форьярователю, блок формированияполосовой структуры, соединенный с узлом генерации магнитного поля, видеоконтрольный и пифропечатаюший блоки,дополнительно содержит формировательсигналов измерительных визиров, два3 0421 триггера, три элемента Й, четыре счетчика, блок сравнения кодов, делитель частоты, смеситель и генератор опорной частоты, выход которого подключен х перВым ВхОдам перВого и Второго эле 5 ментов И, выход первого триггера подюпочен к второму входу второго элемента И, второму входу первого счетчика и первому входу второго триггера, выход которого соединен с вторым входом 1 О первого элемента И, выход которого подключен к первому входу второго счетчика и через делитель частоты - к второму входу третьего счетчика, первый вход которого соединен с выходом вто рого элемента И, а выход подключен че рез третий элемент И к второму входу второго триггера и второму входу цифропечатаюшего блока, выходы первого и вто рого счетчиков подключены к соответст вуюшим входам блока сравнения кодов, выход которого подключен к второму входу второго счетчика и входу четвертого счетчика, выход которого подключен к первому входу цифропечатающего блока, 25 вход первого триггера подключен к выходу формирователя сигналов измерительных визиров, вход видеоконтрольного блока подкпючен к выходу смесителя, вход которого соединен с выходом форми- зо рователя сигналов измерительных. визиров.На чертеже приведена структурная схема устройства для измерения периода страйп-структуры в доменосодержаших пленках.Устройство содержит источник 1 света, поляризатор 2, образец феррит-гранатовой пленки 3, анализатор 4, фото- приемник 5, блок 6 формирования поло- совой структуры, узел 7 генерации магнитного поля, предварительный усилитель 8, усилитель-формирователь 9, счетчики 10 - 13, смесятель 14, видеоконтрольный блок 15, формирователь 16 сигна лов измерительных Визиров, цифропечатающий блок 17, генератор 18 опорной частоты, элементы И 19 - 21, делитель 22 частоты, триггеры 23 и 24, блок 25 сравнения кодов.50Измерения проводятся при помощи магнитооптического эффекта фарадея,С помощью узла 7 генерации магнитного поля и блока 6 формирования лабиринтная структура феррит-гранатовой 55 пленки 3 преобразуется в полосовую.Пучок света с источника 1 проходит через поляризатор 2, образец 3, анализатор 44 44 и попадает на фотоприемник 5. С выхода фотоприемника электрический сигнал от полосовой страйп-структуры усиливается предварительным усилителем 8, затем формирователь 9 выделяет полезный сигнализ полного сигнала и преобразует видеосигнал в цифровую форму. С выхода усилителя-формирователя 9 видеосигнал в шще серии импульсов поступает на вход счетчика 10 и через смеситель 14 выводится на экран видеоконтропьного блока 15, На экране формируется увеличенное изображение феррит-гранатовой пленки в виде чередующихся черных и белых полос. С помощью формирователя 16 исмесителя 14 на экране видеоконтрольногоустройства формируются измерительные визиры. Перед началом измерения оператор перемешает Визиры на измеряемый участок увеличенного изображения феррит-гранатовой пленки. По команде ПУСК с формирователя 16 выдается импульс, соответствующий одному из визиров, который поступает на счетный вход трптера 23 и устанавливает его в состояние "1 ф. Разрешающий уровень с выхода триггера 23 открывает вход счетчика 10, Одновременно этот уровень через элемент И 20 разрешает прохождение импульсов с генератора 18 опорной частоты на суьямируюший вход счетчика 12. По импульсу с формирователя 16, соответствующему второму измерительному Визиру, триггер 23 возвращается в исходное состояние .и запрещает работу счетчиков 10 и 12, в которых зафиксировано число импульсов, пропорциональное соответственно числу страйпов и линейному размеру между визира-. ми, При сбросе триггера 23 происходит установка в состояние ф 1" триггера 24, уровень с выхода которого пропускает через элемент И 19 импульсы с генератора 18 на вход счетчика 11 и через делитель 22 на вычитаюший вход счетчика 12. При равенстве обратного кода счетчика 10 и кода счетчика 11 блок 25 сравнения каждый раз выдает импульс, который сбрасывает счетчик 11и увеличивает содержимое счетчика 13 наединицу. Так продолжается до полного вычитания счетчика 12, который через элемент И 21 сбрасывает триггер 24. Одновременно импульс с элемента 21 разрешает передачу результата измерения из счетчика 13 в цифропечатаюший блок 17. Перевод относительной величины количества импульсов, укладывающихся5 0421 между визирами, в абсопютную величину, линейного размера производится путем задания коэффщиента деления делителя 22 частоты. В .конце измерения в счетьчике 13 находится результат деления линейного размера участка страйп-структуры, заключенного между измеритель ными визирами, на количество страйпов, укпадываюшихся в данном линейном размере. оЭффективность предлагаемого устройства состоит в том, что повышается быстродействие и точность эа счет автоматизации определения пежода страйпструктуры и исключения субъективных 5 ошибок оператора при отсчете числастрайпов с помощью окуляр-микрометра. Формула изобретения щУстройство дпя измерения периода страйп-структуры в доменосодержаших пленках, содержащее оптически связанные источник света, поляризатор, анализатор и фотоприемник, выход которого по- . ключен через предварительный усилитель к усэлитепю-формирователю, блок форми-рования попосовой структуры, соединенный с узлом генерации магнитного поля, видеоконтрольный и цифропечатающнй бпоки, зО о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с цепью новышення быстродействия и точности устройства, оно содержит формирователь сигналов измерительных визиров, два триггера, три элемента И,. четыре з счетчика, блок сравнения кодов, делитель 44 6частоты, смесзтель и генератор опорнойчастоты, выход которого подключен кпервым входам первого и второго элеиевтов И, выход первого триггера подключенк второму входу второго элемента И, втрому входу первого счетчика и первомувходу второго триггера, выход которогосоединен с вторым входом первого элемента И, выход которого подключен кпервому входу второго счетчика и черезделитель частоты - к второму входутретьего счетчика, первый вход котороюосоединен с выходом второго элемента И,а выход подключен через третий элементИ к второму входу второго триггера ивторому входу пифхеечатающего блока,выходы первого и второго счет аков подипочены к соответствуюшим входам блока сравнения кодов, выход которого подкпючм ко второму входу второго счетчикаи входу четвертого счетчика, выход которого подключей к первому входу цифропечатающего блока, вход первого триггера подключен к выходу формирователясщчищов измернтепьных визиров, входвидеоконтрольиого бпока подключен к вьходу смесителя, вход которого соединенс выходом формирователя сигналов измерительных виэщюв.Источники информшяипринятые во внимание при экспертизе1. Бобек Э. и др. Цилиндрическиема нитные домены. М., "Энергияф, 1977,с. 96-97,2. Приборы и техника эксперимента,1975, % 5, с, 214 (прототип).ал ППП Патент Тираж 62 Государственно делам изобрете , Москва, ЖПодписнокомитета СССРЙ и откръггийРаушская наб., д. жгород, ул, Проектная,