Узел подложкодержателя
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 910839
Авторы: Гончар, Немировский, Хихлач
Текст
,Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано при производстве резисторов.Известно устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее кассеты со стержневыми подложкодержателя 5 ми, установленными с возможностью вращения 1 .Недостатками устройства являетсяроиэводительность и надежность Поставленная пель достигается тем, что в узле поддожкодержателя, содержащем кассеты со стержнями, установленными с возможностью вращательного перемещения, кассета выполнена в виде двух параллельных пластин, в одной иэ которых выполнены отверстия, причем одни концы стержней жестко закреплены на одной пластине, а другие свободно размещены в отверстиях другой пла . тины.Привод вращения стрежней выполнен в виде эксцентрикового механизма.На фиг. 1 изображено устройство,общий вид; на фиг. 2 -. сечение А-А на фиг. 1 (диск - водило в плане; на фиг. 3 - сечение Б-Б на фиг, 2 (экспентриковый валик с фиксатором спицы)Устройство содержит вакуумную ка-, меру 1, кассету 2 с верхней пластиной 3 и нижней пластиной 4, экспентриковые валики 5, стержни 6 с буртом 7, керамические трубки (подложки) 8, направляющие отверстия 9, приводной кривощипный вал 10, диск - водило 11, испарители 12, токоподводы 13, атмосферный клапан 14, вакуумную систему 15, прижимную пружину 16 и винт 17,Устройство работает следующим образом.Стержни 6, снабженные бурто загруженными керамическими тподлежащими покрытию токопроводяшим слоем, вставляют в гнезда - фиксаторы ассцентриковых валиков 5, расположенных в верхйей пластине 3 группами по окружности, где в центре каждой группы расположен испаритель 12. Стержни 6 с керамическими трубками 8 всталяются верхним концом в гнездо - фиксатор эксцентриковых валиков 5 и прижимаются пружиной 16, а нижний конец спицы всталяется в направляющие отверстия 9 нижней пластины 4.После полной загрузки кассеты 2 колпак вакуумной камеры 1 опускают и включают вакуумную систему 15.По достижении высокого вакуума включают вращение приводного кривошипного вала 10. Приводной вал в свою очередь посредством кривошипа сообщает вращательное колебание"в горизонтальной плоскости диску - водилу 11, который через ексцентриковые валики 5 с равными эксцентриситетами с приводным валом 10, осуществляет вращение одновременно всех загруженных стержней 6, Затем на испарители 12 подают напряжение от токоподводов 13 для испарения токопроводяшего слоя, После обработки керамических трубок 8 отклю,чают вакуумную систему 15 и откры:вают атмосферный клапан 14, поднимают колпак вакуумной камеры 1 и производят, разгрузку.После очередной загрузки стержней 6 пикл нанесения токопроводяшего слоя повторяется. Винт 17 служит для крепления и регулировки усилия пружины 16, служащей для защемления загруженных стержней 6.Каждая группа ексцентриковых валиков 5, окружающих испаритель, образует 10839 4своеобразную кассету. Так как эксцентриковые валики дают возможность уменьшить межосевое расстояние, то можнопри небольших габаритах установок увеличить количество обрабатываемых подложек. Кроме того, верхнее креплениестержней позволяет избежать их раскачивания что также позволяет уменьшитьрасстояйие между стержнями, увеличить О количество подложек, загружаемых настержни, и повысить надежность работыустановки за счет уменьшения амплитудыколебания стержня,Формула изобретения1. Узел подложкодержателя, содержащий кассеты со стержнями, установрй ленными с возможностью вращательногоперемещения, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повьпнения производительности и надежности узла в работе, кассета выполнена в виде двух па% раллельных пластин, в одной иэ которыхвыполнены отверстия, причем одни концы стержней жестко закреплены на одной пластине, а другие свободно размещены в отверстиях другой пластины.302.Уэелноп, 1, отличающ и й с я тем, что привод вращения стержней выполнен в виде эксцентрикового механизма.33Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1, Блинов И, Г. и др, Вакуумноеоборудование для нанесения тонкихф пленок. М., Электроника", 1969,с. 96-107 (прототип).
СмотретьЗаявка
2331465, 09.03.1976
ГОНЧАР ВИКТОР ПЕТРОВИЧ, ХИХЛАЧ АЛЕКСАНДР ФЕДОРОВИЧ, НЕМИРОВСКИЙ ИЗРАИЛЬ ПЕТРОВИЧ
МПК / Метки
МПК: C23C 13/08
Метки: подложкодержателя, узел
Опубликовано: 07.03.1982
Код ссылки
<a href="https://patents.su/4-910839-uzel-podlozhkoderzhatelya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Узел подложкодержателя</a>
Предыдущий патент: Устройство для термического испарения материалов в вакууме
Следующий патент: Испаритель
Случайный патент: Устройство для сбора, транспортирования и распределения продукции нефтяных скважин