Патенты с меткой «подложкодержателя»

Номер патента: 910839

Опубликовано: 07.03.1982

Авторы: Гончар, Немировский, Хихлач

МПК: C23C 13/08

Метки: подложкодержателя, узел

...8 всталяются верхним концом в гнездо - фиксатор эксцентриковых валиков 5 и прижимаются пружиной 16, а нижний конец спицы всталяется в направляющие отверстия 9 нижней пластины 4.После полной загрузки кассеты 2 колпак вакуумной камеры 1 опускают и включают вакуумную систему 15.По достижении высокого вакуума включают вращение приводного кривошипного вала 10. Приводной вал в свою очередь посредством кривошипа сообщает вращательное колебание"в горизонтальной плоскости диску - водилу 11, который через ексцентриковые валики 5 с равными эксцентриситетами с приводным валом 10, осуществляет вращение одновременно всех загруженных стержней 6, Затем на испарители 12 подают напряжение от токоподводов 13 для испарения токопроводяшего слоя, После...