Устройство для термического испарения материалов в вакууме
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 910837
Авторы: Бабад-Захряпин, Борисов, Лагуткин
Текст
Союз СоввтсиннСоцнапнстнчвснннРеспублни ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ п 1910837.7(088.8) Дата опубликования описания 10.03.82ъА, А. Бабад-Захряпин, Е. В, Борисов и М. И. фагуткинч(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ТЕРМИЧЕСКОГО ИСПАРЕНИЯ МАТЕРИАЛОВ В ВАКУУМЕИзобретение отноеится к вакуумной технике, а именнок устройствам для на несения покрытий в вакууме.Известно устройство для термического испарения материалов в вакууме, которое содержит стержень, выполненный из испаряемого материала и служащий катодом, и анод. При бомбардировке стержня электронным пучком он нагревается и на конце его образуется капля расплавленного материала 13 ,Недостаток этого устройства заклю чается в том, что при нагревании сам стержень создает затемнение для паров испаряемого материала, вследствие чего не обеспечивается равномерность нанесения покрытия на внутреннюю поверхность тел вращения. Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому результату является устройство для термического испарения материалов в вакууме, содержащее тигель с резистивным нагревателем, в котором размещентк:паряемый материал 23Однако известное устройство не позволяет обеспечить равномерное нанесение покрытия на внутреннюю поверхность 5тел вращения вследствие неравномерногорадиационного нагрева подложки.Цель изобретения - повышение равномерности нанесения покрытий на внутренюю поверхность тел вращения,Укаэанная цель достигается тем, чтоустройство для термического испаренияматериалов в вакууме, содержащее тигельдля размещения испаряемого материала Ии нагреватель, снабжено трубопроводомдля откачки и напуска газа, при этомтигель выполнен в виде герметичнойполой сферы иэ. тугоплавкого материалаи соединен с трубопроводом для откачки и напуска газа, а нагреватель выполнен в виде пары электродов для возбуждения тлеющего разряда, состоящейиз катода, которым служит сама сфераиз тугоплавкого материала, и шарооб3 91разного анода, закрепленного в центрсферы и изолированного от нее.На чертеже представлено схематическое изображение устройства для термического испарения материалов в вакууме.Устройство содержит катод 1 сферической формы, жестко связанный с токоподводом 2, изолятор 3, трудопровод4, анод 5 сферической формы, вентиль6 с отверстиями 7. В межэлектродноепространство помещают испаряемый материал (не показан).Устройство работает следующим образом,Межэлектродное пространство вакуумируют через трубопровод 4 и затем заполняют газом, необходимым для зажигания тлеющего разряда. На анод и катод подают напряжение, обеспечивающеенапряжение между ними тлеющего разряда, При этом происходит разогревкатода и материала покрытия. Удельнуюмощность катода устанавливают такой,что испаряемый материал целиком переходит в парообраэное состояние. Происходит перенос испаряемого материалапо структурным дефектам (дислокация),воэнйкаюшим в результате бомбардировки внутренней поверхности катода ионамитлеющего разряда, в результате чегоиспаряемый материал выходит на внешнюю поверхность катода и испаряется.Скорость испарения материала привыбранной температуре равна скоростидиффузионного проникновения через стенку катода. Толщина стенки катода выбирается из условия, что температурана его внешней поверхности не должнабыть заметно меньше, чем на.внутрен,ней его поверхности, а концентрацияматериала покрытия на внешней поверхности должна обеспечить необходимуюскорость испарения.Установлены анод и катод иэ молибдена, в качестве наносимого материала 0837 4используется медь, толщина стенки катода 0,7 мм, что при температуре катода 1650 ОС обеспечивает поверхностную концентрацию меди 0,05% и, соответственно, скорость испарения в вакууме1,210 г/смчс. Скорость испарениясобственно. материала катода - молибденапри 1650 оС составляет 10 г/смс.Таким образом, данное устройство 1 О обеспечивает равномерное нанесение покрытий на внутреннюю поверхность вращения. В Формула изобретения ФУстройство для термического испарения материалов в юкууме, содержащеетигель для размещения испаряемогоматериала и нагреватель, о т л ич а ю щ е е с я тем, что, с цельюповышения равномерности нанесенияпокрытий на внутреннюю поверхностьтел вращения, устройство снабжено труу бопроводом для откачки и напуска газа,тигель выполнен в виде герметичнойполой сферы иэ тугоплавкого материала и соединен с трубопроводом для откачки и напуска газа, а нагреватель выполнен в виде пары электродов для возбуждения тлеющего разряда, состоящейиэ катода, которым служит сама сфера,иэ тугоплавкого материала, и шарообразного анода, закрепленного в центре35сферы и изолированного от нее.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Технология тонких пленок. Подред. Л. Майселла и Р. Глэнга. Пер. с40англ. М., Советское радио", 1976,т. 1 с. 72.2, Данилин Б. С. Вакуумная техникав производстве интегральных схем. М.,Энергия", 1972,с. 54-55, 149- 150. Плис дак аэ 10 иал ППП "Патент", г. Уха ород, ул. Проектна О/6 Тираж 1049 ВНИИПИ Государственногопо делам изобретений 113035,Москва, Ж-ЗБ, Р Подписиомитета СССРоткрытийуаская наб., д. 4
СмотретьЗаявка
2453483, 08.02.1977
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ А-1857
БАБАД-ЗАХРЯПИН АЛЕКСАНДР АЛЕКСАНДРОВИЧ, БОРИСОВ ЕВГЕНИЙ ВАСИЛЬЕВИЧ, ЛАГУТКИН МИХАИЛ ИВАНОВИЧ
МПК / Метки
МПК: C23C 13/00
Метки: вакууме, испарения, термического
Опубликовано: 07.03.1982
Код ссылки
<a href="https://patents.su/3-910837-ustrojjstvo-dlya-termicheskogo-ispareniya-materialov-v-vakuume.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для термического испарения материалов в вакууме</a>
Предыдущий патент: Способ получения силицидного покрытия на стальных изделиях
Следующий патент: Узел подложкодержателя
Случайный патент: Механическая форсунка