Способ определения показателяпреломления прозрачных слоевпеременной толщины

Номер патента: 1497453

Опубликовано: 30.07.1989

Авторы: Гвардионов, Трунов

МПК: G01B 11/16

Метки: пленки, показателя, преломления, толщины

...пленки, содержащее лазер, подложку длякрепления пленки, систему зеркалдля Формирования двух, лучей света инаправления их на подложку под разными углами, систему регистрации отраженного от подложки излучения, камеру травления с регулируемым уровнемтравителя, второй лазер, светоделитель, опорное зеркало и систему регистрации интерференционной картины,размещенные по схеме интерферометраМайкельсона, в измерительном каналекоторого расположена подложка, свободный край которой оптически связансо светоделителем, а другой край закреплен в камере травления так, чтолучи света, падающие на подложку подразными углами, сходятся на ней вблизи точки закрепления, о т л и ч а ющ е е с я тем, что, с, целью ловьппения достоверности и точности...

Номер патента: 104005

Опубликовано: 01.01.1956

Автор: Карасев

МПК: G01B 11/06, G01N 21/21, G01N 21/43

Метки: пленок, показателя, преломления, толщины, тонких

...устройства Й (последнее - необязательно), модулируется, причем модуляция светового потока достигает 100 7 о.Для определения азимута поляризации слукит источник белого света 5 лучи которого проходят через жестко связаш)ый с компецсатором К поляроид Р (а также поляроид Р.,), вращавшийся поляроид Р, ц падаю; на катод Фотоэлектронного умножитсля (или Фотоэлемента ФЗУ, соответственно фотоумножителя ФЗУ-З), Когда плоскости колебания поляроидов Р, ц Рсовпадают, то мскду фототоками в Фотоуможитслях (или Фотоэлементах) нет сдвига фаз. Когда поляроид Ра поворачивается, то между Фототокамц возникает сдвиг фаз, равцьш углу поворота плоскости поляризации. Сдвиг фаз измеряется логометром Е (типа фазометра). Для определения отцо 1 цения амплитуд...

Номер патента: 1693483

Опубликовано: 23.11.1991

Авторы: Бендерский, Ржевский, Рупчев

МПК: G01N 21/45

Метки: подложках, показателя, преломления, прозрачных, слоев

...нормальны к зондирующему излучению, Один пучок проходит сквозь исследуемую пленку и подложку, другой - через подложку без пленки,Линия г.рорези перпендикулярна осивращения пластинки, а сама ось вращениялежит в плоскости зондирукгщих пучков. Отъюстированное на бесконечную полосу излучение интерферометра попадает на оптическое приемное устройство 9, электрический сигнал которого подается на один из входов двухкоординатного самописца, Второй вход самописца соединен с потенциометром, напряжение на котором пропорционально углу поворота образца,Включение двигателя разворота пластинки приводит к одновременному изменению напряжения на выходе оптического приемного устройства и напряжения на потенциометре, отсчитывающем угол поворота 25 30 35...

Номер патента: 1073568

Опубликовано: 15.02.1984

Автор: Смирнов

МПК: G01B 11/06

Метки: пленки, показателя, преломления, толщины

...8, фотоэлементы 9 и 10. На чертеже показаны также состояния поляризации световых пучков В, Еп, Ер - электрические векторы световой волны б. - нормаль к пленке 11, п - нормаль к прозрачной плоскопараллельной диэлектрической пластине 8,- угол падения света на пленку 11, - угол падения света иа прозрачную плоскопараллельную диэлектрическую пластину 3, равный углу Брюстера для этой пластипи при длине световой волны источника 1 параллельного, монохроматического и линейно поляризованного света, .- "угол между электрическим вектором Е падающей на пленку 11 световой волны и плоскостью падения, А-А - ось вращения предметного столика б и планки 7, О - точка пересечения оси светового пучка с осью вращения предметного столика 6 и планки...

Номер патента: 855448

Опубликовано: 15.08.1981

Авторы: Биленко, Дворкин

МПК: G01N 21/41

Метки: поглощения, показателей, преломления, слоя, толщины

...чвеличецием псрядковго номера луча. Олцако при это падает энергия излучения, Для увеличения эцЕргии излучения в лучах с п,Ъ 1, что облегчает процесс измерения и цовьцнает точность, на противоположную исследуемому слою сторону подложки на.носятополнительный отражающий слой 3 (фиг. 2). В этом случае для опрелеления оптических постоянных слоя и его толщины достаточно измерить три какие-либо параметра в одном из отраженных лучей, напри-мер поляризационные (азимут линейнойполяризацииЯ, разность фаз между ортогонально поляризационными компонентами электрического поля световой волны Ь) и один из энергетических - коэффициент отражения К или 5 компонент поляризованного излучения (К или Кд соответственно) или их отношение, Однако так как...