Способ изготовления многоканальных блоков и устройство для его осуществления

Союз СоветсиикСоциалистическихРеспублик ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 1753797 а(61) Дополнительное к авт. санд-ву(51) М. Кд. с присоединением заявки Лф С 03 В 23/20 С 03 В 37/00 Гасударственный кдмнтет(28) Приоритет по делам нздбретеннй и дткрытнй(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МНОГОКАНАЛЬНЫХ БЛОКОВ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯИзобретение относится к электронно-оптическому приборостроению и может быть использовано при изготовлении многоканальных блоков, предназначенных для создания микроканальных пластин - основного элемента элект. ронно-оптических преобразователей.Известен способ изготовления многоканаль ных блоков путем формирования пакета элементарных трубок, их нагрева с последующим прессованием (11,Недостатком этого способа является низкая прозрачность изготовленных из них микрокапиллярных пластин, в связи с тем, что при нагреве и прессовании пакета вследствие действия сил15 поверхностного натяжения часть элементарных трубок схлопывается.Наиболее близким техническим решением к изобретению является способ изготовления многоканальных блоков путем формирования пакета элементарнътх трубок одинаковой длины, его нагрева, с одновременной принудительной пздачей газа в полости трубок, и последующего вытягивания пакета 2. Зтот способ реализуется с помощью устройства, содержащего печь дл я нагрева пакета,приспособление для его вытягивания и средстводля принудительной подачи газа в полостьтрубок, присоединенное к системе сжатого газачерез регулятор давления,Недостатком этого способа и реализующего,его устройства является низкий выход годныхмногоканальных блоков, так как получаемыес их помощью многоканальные блоки имеютразное сечение каналов. Изменение сеченияканалов связано с неравномерным распределением сил поверхностного натяжения по сечениюмногоканальной трубки и проявляется в том,что форма каналов отклоняется от заданнойвследствие преимущественной деформации элементарных трубок, находящихся на перифериишкета, при этом сечение каналов уменьшается.Микроканальные пластины, изготовленныеиз многоканальных блоков с деформированнымсечением каналов, не позволяют получить равно.мерное усиление по полю, На участках много.канальных блоков с деформированными сечениями каналов уменьшается прозрачность. Кромераээа"1 ягоо авдаци, эс.гсгя О цля принудиел )ИОИ пода1 а.1:. .э,эсть Тр ООГ. выполне1 го в вида Иаб 011 гарьаэьх мцжат каждаяиэ кэторь 1 х снаб:.сца цц 1 эгцдуах 1 ьнъм рау 1 Ягоро. давлаппя, Прц этом с цельэ экономииматериала пакета и ухагпИац 1 гдэрцтньхразмеров устройства мажа гг, 1 эасголожеьсдц в другой,На фнг. 1,и 3 схсмагчески показап,варианты выполнения средства для принудтельноц подачи газа в полость эламантарн.х -,губок.устройство включает пап 1 для нагревамногоканального блока, приспособление для еговытчгивация 2, средство для прицудитальной 1подячи газа в полость элементарных трубок,выполненное в виде набора мавжат 3, на фцг. 2,3 упомянутое средство выполнено таким обгзом, что манжеты расположацы одна в другой регулятор давления 4, манометр 5, аиста.ьа 6 сжатого газа, пакет элементарных трубок7, зламантарюя трубка 8, многоканальныиблок 9, участки ступеичатого торца 10, 11, 12цкета элементарных трубоК 7 для присоедица.иия средства 3. Ступенчатый торец 13 пакета7 ограничацв 1 ггуэпспрой лппай, идет в ОтХОД,ч 753797того, деформщия сечения каналов ухудигаетУСЛОВИЯ ПОСЛЕДУЮШай УЛЬРаЭВУКОВОй ОчиатКИмикрокацальных пластин, так как при резкемногоканального блока на пластины продуктыизноса ггструмегга и измельчаннье часпщь ма 5терцала блока закрепляются прочнее в каалах трубэк с нарушенной геометрией. Чеудалешгыа частицы загрязнений снижают качествомикрокацальцых гласти, увеличивать же времяочистки це представляется возможным вследстню кавитационной эрозии гпаспц. Все эти1,1 кторы ухузнают 1 цформапцоцные характеристики ЭОПов, Поэтому к геометрии сеченияканалов многоканальных блоков предъявляютсяжесткие требованя и иэделия, ца отвечавшиеэтм трсбоваиям, бракуются что сцижаег выХОД ГОДЦОГО.1 аль 1 1 эобэрагащя являагся повышение вы.хода годных изданий,1)остапанна 11 цель досигаатся там, что вспособе изготовления многокацалыцих блоког,гу гам фо 1 э.цроваши пакета элгмац гарных трубок, его па.1 эава с Одцов 1 эамашой 111 эгцуд 1 ГЕЛЬИОй ПОдЛЕй Гаэа В ПОЛОСц трубОК И ПОСЛа.дуилцаго вытягивавя пакета, форац пакага э ."пьполнгцог ступенчатым и в каждую ступеньподг 1 гг гаэ 11 двцдуа;ьцо, 1 эцча, -иавгацагаза в сгупацях гцэцьщаи От с 11 эльноц к :ариг)эерицыь В строй тва дэя Ос 1 асгвлацияСПЭ О 1" Содар 1 гццаь Пац д И ;1.", Ва ПаКат1 гэ .". Иэсобле 1 е ч-я гт сьт;.1:,11 и с радстг ОЦЦ 1 РИНУГЦсань;, -зэ т щ:;О; тГРбок грсоадэцюццоа к сг; а с.этого газа чафПример реализации способа показан совместО с работой устройства. После формированияпакета 7 элементарных трубок одинаковойдлины торец 13 выполняют ступенчатым путемсдвига секций трубок относительно друг другапараллельно оси пакета. При этом торецпакета принимает ступенчатую форму с числомзаданных ступеней по числу сдвинутьгх секцийтрубок. Высоту ступеней можно увеличиватьфиг. 1 и 2) или уменьшатьфиг. 3) от периферии к центру пакета,Выполненный таким образом пакет помешают в печь 1 так, чтобы участки 10, 11, 12супенчатого торца 13 находились вне печи.К этим участкам присоединяют средство 3 дляподачи в полость элементарных трубок 8 сжатоо газа из системы б, Вначалефиг. 1) монтируотманжеты большего диаметра на участок12 пакета, а затем - меньшего последователь.ного на уча:тке 11 и 10. При выполнении средства 3 в виде расположенных одна в другойгажет 1 фиг, 2, 3) их монтаж производитсяв обратной последовательности: от 10 к 12.Затем средство 3 подключают к системе сжатого газа б. Посредством регуляторов 4 в полости элсг.антарцых трубок устанавливают заданное давление, которое повышают от центра пакета к его периферии. При этом в секц;иитрубок, образуюних одгу ступень торца, уста.цавливается одинаковое давление газа, но вкаждой секии расположенной в направленииот центра к периферии давление будет вышепо сравнению с расположенной ближе к центру. Как, например, при использовании пакета,торец которого имеет три ступени с диамет 1-.ми участков 10-12 соответственно (фиг. 2,3) 4, 28 14 е 1 ш бокобраэуюших ступени, устанавливают равным:Давление газа контролируют с помошыа маномет 1 эа 5.После включения лечи 1 и разогрева пакета 7 его вручьую вьтягиваот из печи щипцами и вставляют в приспособление 2 для вытягивания которое формирует многоканальный блок 9. Благодаря созданию дифференцированного давления в трубках удается скомпенсировать 1 еравцомерцость распределения сил поверхцост.ного натяжения по сачавю многоканального блока и практически устранить связанное с ним отклонение формы каналов злемецтарнъх трубок от правильного шестигранника.Это значительно повысило выход годных изделий,Формула изобретения1. Способ изготовления мцогоканалыых блоков путем формирования пакета эламангарИсточники информации,принятые во внимание прн экспертизе 1, Патент Великобритании Р 1299358, кл. С 1 М, опублик, 1972.2. Авторское свидетельство СССР Мф 203173, кл. С 03, В 23/20, 1966. 5 753797 6 ных трубок, его нагрева с одновременной при- подачи газа в полость трубок выполнено в виде нудительной подачей газа в полости трубок, набора герметичных манжет, каждая иэ кото. и последующего вытягивания пакета, о т л и . рых снабжена индивидуальным регулятором ч а ю ш и й с я тем, что, с целью повыше- давления.ния выхода годных изделий, торец пакета щ3, Устройство по п. 2, о т л и ч а ю щ еполняют ступенчатым и в каждую ступень по-, е с я тем, что, с целью экономии материала дают газ индивидуально, причем давление газа твкета и уменьшения габаритных размеров в ступенях повышают от центральной к пери. устройства, манжеты расположень одна в друферийным. гой.2. Устройство для осуществления способапо п. 1, содержащее печь для нагрева пакета,приспособление для его вытягивания и средстводпя принудительной подачи газа в полость трубок, присоединенное к системе сжатого газачерез регулятор давления, о т л и ч а ю щ ее с я тем, что средство для принудительной