Вакуумная камера

4440"04 ОП ИС ИЗОБР Союз Советских Социалистических Республик(61) Зависимое от ав (22) Заявлено 10,07.7 Кл. Г 04 Ь 37 с присоединением рственный комит Министров ССам иэобретеии) Приори Опубликовано 25.09.7 УДК 621.521(088.8 по дел ткрытии та опубликования о 2) Авторы изобретения(71) Заявитель зико-технический институт низких температур АН Украинской С(54) ВАКУУМНАЯ КАМЕРА и находя альными Для уменьшения занимаем вая часть жалюзийного вну выполняется в виде цельнос плоской формы, состоящего и тальных концентричных коль ров, полости которых сообще радиальными патрубками, и щетки, расположенной межд ого места торцотреннего экрана варенного узла з двух горизонцевых коллектоны между собойжалюзийной реу коллекторами я снижение темцсссе эксплуатаИзобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано в вакуумных камерах с криогенными конденсационными насосами.Известны вакуумные камеры, содержащие герметичный корпус, размещенные в корпусе крпоповерхность и радиационные охлаждаемые экраны - наружный и жалюзийный внутренний. Криоповерхность и экраны, защищающие ее от тепловых нагрузок, составляют типовую конструкцию криоконденсационного насоса таких камер,Для увеличения скорости откачки в заданном объеме камеры жалюзийный внутренний экран выполняют с максимально возможной площадью жалюзи, например в камерах цилиндрической формы жалюзи располагают не только по боковой поверхности цилиндра, но и в одной из торцовых частей камеры, при этом другая торцовая часть используется под загрузочный люк. еися в тепловом контакте с радиатрубкамп. При охлаждении жалюзийного внутреннего 5 экрана такой конструкции, имеющей значительные размеры, тепловые деформации в коллекторах и патрубках в каждый момент времени захолаживанпя не соизмеримы и возникающие при этом напряжения в конструк ции приводят к потере герметичности внутренней полости экрана п.ъп даже к разрушению последнего.Введение в конструкцию известных элементов, например изогнутых по радиусу труб, 15 сильфонов или мембран, выполняющих рольтемпературных компенсаторов, увеличивает надежность экрана, не исключая прп этом возможности появления в нпх трещин усталостного характера под воздействием чередующихся 20 нагревов и охлаждений экрана в период эксплуатации. Однако наличие указанных элементов в экране существенно уменьшает площадь жалюзийной решетки, в результате чего сокращается его способность пропускать газы 25 и снижается эффективность крионасоса. Крометого, температурные компенсаторы усложняют конструкцию экрана и увеличивают его габариты.Целью изобретения являетс30 пературных напряжений в про3ции экрана с одновременным увеличением пропускной способности его для молекул газа.Это достигается тем, что жалюзийная решетка выполнена пз наклонно расположенных оребренных трубок, например, шевронного сечения, изогнутых под углом и соединенных с подводящими и отводящими хладагент радиальными патрубками. При этом подводящие хладагент радиальные патрубки сообщены с внутренним кольцевым коллектором, расположены в одной плоскости с ним и вторым заглушенным концом подвижно закреплены на наружном кольцевом коллекторе. Чередующиеся с подводящими отводящие хладагент радиальные патрубки сообщены с наружным кольцевым коллектором, расположены наклонно и вторым заглушенным концом так же подвижно закреплены на внутренчем кольцевом коллекторе.Такое исполнение экрана обладает увеличенной надежностью независимо от его размеров, так как радиальные патрубкп жестко связаны только с одним из кольцевых коллекторов, второй же торец пх может свободно перемешаться относительно другого кольцевого коллектора. Относительные перемещения рядом стоящих радиальных патрубков компенсируются оребренными трубкамп благодаря большой пх длине и изгибам в нескольких местах. Наклонное расположение отводящих хладагент радиальных патрубков с возвышением в сторону наружного кольцевого коллектора, а также наклонное расположение ореоренных трубок, прп котором выходной конец каждой трубки поднят относительно входного, при испарении хладагента препятствует образованию газовых пробок, приводящих к местному перегреву экрана. Увеличивающийся по мере удаления от внутреннего кольцевого коллектора перепад высот между концами оребренных трубок способствует интенсификации движения газовых пузырей.На фиг. 1 изображена предлагаемая вакуумная камера, общий вид; на фиг, 2 - вид на стрелке А на фиг. 1; на фиг. 3 - разрез по Б - Б на фиг. 2.Вакуумная камера состоит из герметичного корпуса 1, в котором размещены криоповерхность 2, защищенная радиационными экранами - наружным 3 и внутренним жалюзийным 4, Экран 5, установленный на крышке корпуса 6, закрывает загрузочное отверстие камеры.Торцовая часть внутреннего жалюзийного экрана выполнена из двух горизонтальных концентричных кольцевых коллекторов - внутреннего 7 и наружного 8, подводящих хладагент радиальных патрубков 9 и отводящих его радиальных патрубков 10; а также пз сообщенных с этими патрубкамп оребренных трубок 11, например, шевронного сечения, изогнутых под углом в нескольких местах, образуя жалюзпйную решетку в виде концентрически расположенных многоугольников,Радиальные патрубкп 9 расположены гори 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65,1зонтально в одной плоскости с внутренним коллектором 7, одним торцом сообщены с нпм, а противоположные торцы этих патрубков заглушены и подвижно закреплены на наружном коллекторе 8. Радиальные патрубки 10 расположены наклонно (угол наклона определяется возвышением наружного коллектора 8 над внутренним 7) и сообщены с наружным коллектором 8. Противоположные торцы этих патрубков заглушены и подвижно закреплены на внутреннем коллекторе 7.Ребра трубок решеткн в местах изгибов вырезаны так, что в согнутом положении торцы ребер соприкасаются друг с другом беззазорно или с незначительными зазорами, не ухудшающими защитной характеристики экрана, так как тепловой поток, направленный перпендикулярно к плоскости экрана, благодаря наклонному расположению оребренных трубок, не проникает через эти зазоры к криоповерхности.1 оризонтальные подводящие хладагент радиальные патрубкп 9 чередуются с наклонными отводящими хладагент радиальными патрубками 10, поэтому сообщенные с ними оребренные трубки расположены также наклонно. По мере удаления от внутреннего коллектора 7 перепад высот между концами этих трубок увеличивается.1 орцовая часть внутреннего жалюзийного экрана может выполняться в виде отдельного узла или заодно с цилиндрической частью этого экрана. В последнем случае коллектор 8 является общим для обеих частей экрана. Места сварки оребренных трубок с радиальными патрубками закрыты щитками 12.После предварительного вакуумированпя камеры насосами, например механическими и диффузионными, производят охлаждение радиационных экранов, а затем криоповерхности, на которой вымораживаются основные компоненты воздуха. Прп захолаживании торцовой части внутреннего жалюзийного экрана 4 жидкий хладагент поступает в коллектор 7, откуда радиальные патрубкп 9 распределяют его по оребренным трубкам 11 решетки, обеспечивая эффектпвпо" охлаждение последней. Отвод хладагента из трубок осуществляют радиальными патрубкамп 10 в коллектор 8. Предмет изобретения Вакуумная камера, содержащая герметичный корпус, размещенные в корпусе криоповерхность и радиационный охлаждаемый экран, включающий два горизонтальных концептричных кольцевых коллектора, подводящие и отводящие хладагент, радиальные патрубкп и жалюзийную решетку, отличающаяся тем, что, с целью снижения температурных напряжений с одновременным увеличением пропускной способности для молекул газа, жалюзийная решетка выполнена из наклонно расположенных оребренных трубок, напри 444001мер, шевронного сечения, изогнутых под углом и соединенных с подводягцимп и отводящими хладагент радиальными патрубками, при этом подводящ.:с хладагент радиальные патрубки сообщены с внутренним кольцевым коллектором, рас: ело:ксны в одной плоскости с ним и вто,ьм загл;и;.иным концом подвижно закреплены на наружном кольцевом коллекторе, а чередующиеся с подводящими отводящие хладагент радиальные патрубки сообщены с наружным кольцевым коллектором, располо жены наклонно и вторым заглушенным концом так же подвижно закреплены на внутреннем кольцевом коллекторе.Заказ 105613 Изд,509 Тираж 651 Подписное ЦНИИПИ Государственного коаитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 51 осква, )К, Раушская паб., д. 4,5 Типография, пз. С 1 пунова, 2