415843

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советски)оСоциалистическихРеспублик Зависимое от авт. свидетельстваЗаявлено 22.07.1971 ( 168684026-9)с присоединением заявкиПриоритет М. Кл. Н 05 с 302 Гасударственный комитет Совета Министров СССР во делам изооретений и открытийДата опубликования описания 8 Л 11.1974 Авторыизобретения А. М. Шанов, А. В. Соколов, В. А, Сафонов, Г. В. Назаров,Ю. А. Медведев и А. Н. Царьковаявите СТРОЙСТВО ДЛЯ ПРИСОЕДИНЕНИЯ КРИСТАЛЛОВ С ВЫВОДАМИ К ПОДЛОЖКАМ МИКРОСХЕМно для присоедин выми выводами Устроиство предназначения кристаллов с шарикоподложкам микросхем.Известные устройствакристаллов с выводами ксхем, содержащие располнии сварочную головку стом, столик для закрепленпитель кристаллов, механилов, механизм установкибочем инструменте, програводной механизм, не обесиой точности совмещенияла и подложки и констру дляподл ожени рабоч ия по зм п крис ммнь печив конт стиви присоединения ожкам микроые на основаим инструмендложки, накоодачи кристалталлов на ра 10й блок и приают достаточактов кристало сложны.15 статков подачи ожен ной и с возо перенакопики криолнен в дпружимодейст верстии х устранения указанных недоаемом устройстве механизмов выполнен в виде располанни подпружиненной кареткю возвратно-поступательногее и с размещенным на нейисталлов, а механизм установна рабочем инструменте выпанных с электромагнитом поубок, одна из которых взаипаром, расположенным в от г. 1 изображено предлагаемое устобщий вид; на фиг. 2 показана пози 1 а кристалла из кассеты; на фиг. 3 -В целя в описыв кристалл на основ можность мещения телем кр сталлов виде связ пенных г вует с у губки. На фи ройство,ция приемеханизм точной установки кристалла на рабочем инструменте.Устройство содержит поворотную сварочную головку 1 с размещенным в ней механизмом давления (на фигурах не показан), столик 2 для закрепления на нем подложек 3 и механизм подачи кристаллов 4 к рабочему инструменту 5.Механизм подачи кристаллов выполнен в виде подпружиненной каретки 6 с размещенным на ней накопителем кристаллов в виде шахтных кассет 7 с отверстием по форме кристалла и магнитным поршнем 8 для удержания кристаллов (см, фиг. 2) в необходимом положении. Накопитель может быть выполнен с кассетами другого вида (например, лотковыми), которые обеспечивают подачу предварительно ориентированных кристаллов, Каретка поджата пружиной 9 к кулачку 10 распределительного вала, управляющего кинематическим циклом установки, может совершать возвратно-поступательное движение в направляющих 11 и имеет кронштейн 12 для взаимодействия с исполнительным механизмом программного устройства (на фигурах не показано) . Исполнительный механизм выполнен в виде вала 13 с укрепленными на нем флажками 14 для датчиков 15 управления электродвигателем 16, который приводит в движение вал 13. На валу укреплен диск 17с регулируемыми упорами 18, которые предназначены для взаимодействия с кронштейном 12 каретки. Количество датчиков и упоров 18 равно количеству кассет.Механизм подачи кристаллов снабжен упорной планкой 19 для ограничения перемещения кристаллов вверх, Механизм точной установки кристалла на торце рабочего инструмента выполнен в виде губок 20, подпружиненных пружиной 21. В отверстие одной пз губок входит регулируемый упор 22, установленный на неподвижном основании, обе губки связаны с электромагнитами 23, Упор 22 может быть установлен не только в отверстии губки, но и в любом другом месте, где он может ограничить ее ход.Устройство работает в автоматическом режиме. Кинематическим циклом установки управляет распределительный вал, при помощи которого сварочная головка 1 поворачивается так, что торец рабочего инструмента 5 располагается над одним из кристаллов (см, фиг, 2), находящимся в кассете 7 и удерживаемым поршнем 8. Затем рабочий инструмент опускается . до соприкосновения с кристаллом, открывается вакуумная система и кристалл присасывается к торцу инструмента. Последний переносит кристалл к позиции его точной установки на рабочем инструменте. Электромагниты 23 отключаются и под воздействием пружины 21 губки перемещаются (направляющие на фигурах не показаны) к оси инструмента. Одна из губок упирается в упор 22 и прекращает движение, другая смещает кристалл и загоняет его до упора в точно установленные грани первой, Таким образом кристалл точно устанавливается на торце рабочего инструмента. Включаются электромагниты, губки отходят в исходное положение и рабочий инструмент переносит кристалл к плате, контактные площадки которой заранее методом оптического совмещения или при помогци программного устройства отводятся в необходимое место,Сварочная головка производит и перенос и присоединение кристалла и мокет быть выполнена в виде карусели или одиночной головки, как показано на фиг. 1,Одновременно с совмещением и присоединением кристалла механизм подачи кристал 5 лов подготавливает следующий кристалл кзахвату его рабочим инструментом,Прп вращении кулачка 10 каретка совершает поступательное движение в исходное положение. В этом положении осуществляется по 10 дача кристалла в кассстс для захвата его рабочим инструментом. В шахтных кассетах этоосуществляется посредством подачи сжатоговоздуха под поршни 8, которыс перемещаюткристаллы до упор в планку 19. Одповремсн 15 но элект 1 эодвигатль 1 б вращает вал 13 и,останавливаясь по команде одного пз датчиков 15, устанагливает диск 17 в необходимоеположение. Каретка движется в обратном направлении и кронштейн 12 упирается в один20 из упоров 18 диска 17. Таким образом одна изкассет устанавливается в позиции приемакристалла рабочим инструментом, Далеецикл повтоояется,25Предмет изобретенияУстройство для присоединения кристалловс выводами к подложкам микросхем, содержащее расположенные на основании сварочную головку с рабочим инструментом, столик 30 для закрепления подложки, накопитель кристаллов, механизм подачи кристаллов, механизм установки кристаллов на рабочем инструменте, программный блок и приводной механизм, отличающееся тем, что, с 35 целью его упрощения и повышения точностисовмещения контактов кристалла и подложки, механизм подачи кристаллов выполнен в виде располокенной на основании подпружиненной каретки с возможностью возвратно поступательного перемещения ее и с размещенным на ней накопителем кристаллов, а .:еханизм установки кристаллов на рабочем инструменте выполнен в виде связанных с электромагнитом подпружиненных губок, од на из которых взаимодействует с упором, расположенным в отв ретин губки,Составитель В. ВерченкоРедактор Т. Юрчикова Текред Е. Ьорисова корректор Т, ЛобровольсьаЗаказ 1113/14 Изд.1255 1 иракк 760 Подиисиос ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, )К, Раушскяи паб, и. 15 Типнрафи, 1 ь Сапуива, 2