233393
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 233393
Текст
О П И С А Н И Е 233393ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик(,л. 48 а, 312 Комитет по делам зобретений и открыти при Совете Министров СССРОпубликовано 18.Х 1.1968. Бюллетеньза 1969 г,Дата опубликования описания 14,Ю.1969 Авторыизобретент льин, И, П. Коровин и В А, Брыксин, Ю вител ТАНОВКА ДЛЯ ЭЛЕКТРОЛИТИЧЕСКОГО ПОЛИРОВАН тсы- рел - Б дмет изобретения Установка для элванця полупроводнц20 цз анодного и катодсветки, отлицаоцаяпечения более равноруемой поверхностиимеет клицовидные25 теля в узле подсвемльтрафцолетовым ектролцтцческого п оных пластин, сост ного дисков и узла я тем, что, с целью мерного освещения изделия, катодныйщели, а в качестве о ткц применена ла пектром цзлмчецця лц 1 о ящая под- обес- поли- светимпа с Известны установки для электролитического полирования полупроводниковых пластин, содержащие анодный и катодный диски, а также узел подсветки.В предложенной установке для более равномерного освещения полируемой поверхности изделия катодный диск имеет клиновидные щели, а в качестве осветителя в узле подсветки использована лампа с ультрафиолетовым спектром излучения.На фиг. 1 схематически изображена опт ваемая установка; на фиг. 2 - вид по ст ке А на фиг. 1; на фиг. 3 - разрез по Б на фиг. 1; на фиг. 4 - узел В на фиг. 1.Установка для электролитического полирования полупроводниковых пластин состоит из каркаса 1, анодного 2 и катодного 3 дисков, узла 4 подсветки и привода Б.Полупроводниковые пластины 6, подлежащие обработке, приклеивают токопроводящими клеями к анодному диску 2, изготовленному из коррозионностойкого материала с дополнительным покрытием для защиты от растворения.Полирование проводят в процессе вращения катодного диска 3 с одновременной подсветткой от лампы 7 узла 4, имеющей ультрафцолстовьш спектр излучения, через клцновидныс щели 8 диска 8. Электролит к полцруезтым образцам подводят по каналам 9 в анодном 5 диске 2. Для подбора необходимой интенсивности освещения прц полировании пластин 6 цз различных материалов используют щелсвую диафрагму 10 и сменный фильтр 11 в узле 4 подсветки,0 Такая установка обеспечивает равномерноераспределение электрического тока по поверхности полцрусмых пластин, непрерывную подачу свежего электролита и улучшение качества обрабатываемых поверхностен.5233393Улет ВСоставитель В. Бродский Редактор И. С. Грузова Техред Т. П, Курилко Корректор О. Б. ТюринаЗаказ 498/17 Тираж 427 Подписное ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Центр, пр, Серова, д. 4Типография, пр. Сапунова, 2
СмотретьЗаявка
1042996
МПК / Метки
МПК: C25D 3/00
Метки: 233393
Опубликовано: 01.01.1969
Код ссылки
<a href="https://patents.su/4-233393-233393.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">233393</a>
Предыдущий патент: Крепление датчика параметров вращения вала
Следующий патент: Скользящее контактное устройство
Случайный патент: Поршневой компрессор