Электростатический акселерометр

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 1811612 АЗ 19 51)5 6 01 ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕВЕДОМСТВО СССР(ГОСПАТЕНТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ ПАТЕ Н итут ов,601 Р 1 РО сится к измерительть использовано для одвижных объектов. - повышение точно- ности за счет уменьапряжений в упругих руги ные соед толщныеоподвиупр ставлены варианты татического акселеатический акселерометр соклянные пластины 1 с напыа них обкладками ик ним, инерционный аления, расположенный между ластинами 1, состоящий из Электросдержит две стленнымитокоподводаммент 2 иэ крестеклянными леронияпреоЭти акс(57) Использование: относится к измер тельной технике и может быть использова Изобретение отно ной технике и может бы измерения ускорений п Цель изобретения сти измерения и надеж2для измерения ускорений подвижных объ:ектов. Сущность изобретения, устройство содержит: 2 стеклянные пластины, упругий элемент, состоящий из опорного элемента и подвижной пластины, упругие перемычки, пазы, утонения, емкостной датчик положения, электростатический обратный преобразователь, электронный усилитель образуют контур обратной связи. На верхней и нижней сторонах опорного элемента в местах соединения с ним упругих перемычек выполнены пазы, а вдоль боковой гра подвижной пластины и вдоль внутреннеи боковой грани опорного элемента, с которыми соединяются упругие перемычки, выполнены утонения, расположенные в одной плоскости с упругими перемычками и имею- З щие одинаковую с ними толщину. 4 ил,опорного элемента 3 и подвижной пластины 4, соединенной с опорным элементом 3 упми перемычками 5, пазы 6, выполненна опорном элементе 3 в местахинения с ним упругих перемычек 5 с двух сторон, утонения 7 толщиной, равнойине упругих перемычек 5, выполнен- по внутренней стороне боковой гранирного элемента 3 и боковой грани по- жной пластины 4, которые соединены угими перемычками 5.Кроме описанных узлов и деталей аксеметр имеет емкостной датчик положеэлектростатический обратныйбразователь, электронный усилитель.узлы образуют контур обратной связиелерометра.Акселерометр работает следующим об- их соединения с опорным элементом 3 и разом. подвижной пластиной 4, т.к, они соединеныПри действии вдоль оси чувствительно- с последними по всей длине стороны через сти измеряемого ускорения подвижная пла- утонения 7,стина 4 упругого элемента 2 отклоняется в 5 Электростатический акселерометр косторону, противоположную направлению зволяет повысить точность измерения и наускорения. Подвижная пластина 4 и обклад- дежность за счет уменьшения механических ки на стеклянных пластинах 1 образуют напряжений на упругих перемычках.дифференциальный конденсатор, измене- Формула изобретения . ние емкости которого преобразуется в алек О Электростатический акселерометр, сотрический сигнал и усиливается. Кроме того, держащий две стеклянные пластины с напыэти же элементы образуют обратный элект- ленными на них обкладками и ростатический преобразователь. Напряже- токоподводами к ним, упругий элемент из ние, пропорциональное измеряемому кремния,.расположенный междустеклянныускорению, подается на обкладки стеклян ми пластинами, состоящий из опорного эленых пластин 1, создавая тем самым усилие, мента й соединенной с ним упругими стремящееся вернуть подвижную пластину перемычками подвижной пластины, о т л и в нейтральное положение, Выходной сиг-. ч а ю щ ий с я тем, что, с целью повышения нал акселерометра пропорционален разно- точности и надежности за счет уменьшения сти действующих на подвижную пластину 4 20. механических напряжений на упругих пере- усилий от измеряемого ускорения и обрат- мычках, на верхней и нижней сторонах ногоэлектростатического преобразователя.опорного элемента в местах соединения с При соединении стеклянных пластин 1 о уп- ним упругих перемычек выполнены пазы, а ругим элементом 2 контактные напряжения, вдоль боковой грани подвижной пластины и возникающие на опорном элементе 3 не пе вдольвнутренней боковой грани опорного редаются упругим перемычкам 5 благодаря элемента, с которыми соединяются упругие пазамбнаопорномэлементеЗ,Утонения 7, перемычки, выполнены утонения; располотолщина которых равна толщине упругих женные в одной плоскости с упругими переперемычекб,йсключаютконцентраторына- мычками и имеющие одинаковую с ними пряжений на упругих перемычках б в местах ЗО толщину.оставительехред М,Моргента орректор М.Керец дакт роизводственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул,Гагарина, 10 экэз 1467 Тираж .Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ ССС 113035, Москва, Ж, Рауаская наб 4/5