Высоковакуумный клапан шиберного типа

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛ ИСТИЧ ЕС К ИРЕСПУБЛИК 18 275 А 119) 10(51)5 РЕТЕ Е К АБТОРСКО ИДЕТЕЛЬС О На фиг,1 иэобра гаемого устройства но сечение А - А, из уплотняющему мех На фиг.1 и фиг обозначения: 1 - корпус; 2 - входной фла 3 - выходной фд ое н ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОВЕДОМСТВО СССР(71) Институт физики полупроводников СОАН СССР(56) Авторское свидетельство СССРВ 966373, кл. Е 16 К 3/18, 1982,(54) ВЫСОКОВАКУУМНЫЙ КЛАПАН ШИБЕРНОГО ТИПА(57) Сущность изобретения: внутри корпусас входным и выходным фланцами расположен запорный узел, связанный штоком сприводом и выполненный в виде опорногодиска и запорной пластины, взаимодействуИзобретение относится к запорной арматуре высоковакуумных систем и предназначено для многокамерных установок молекулярно-лучевой эпитаксии, установок переноса, других исследовательских и технологических систем,Цель изобретения - повышение надежности работы и уменьшение габаритов клапана,жен общий вид предла а на фиг.2 представле ображенное на фиг.1 и н изму..2 имеются следующие ющих с уплотняющим механизмом и фиксатором. Диск и пластина связаны друг с другом упругими направляющими и снабжены парой симметрично установленных между ними двуплечих рычагов с уплотнительными механизмами, их оси размещены на диске или пластине перпендикулярно им. Рычаги одним плечом связаны с штоком, на другом размещены роликовые захваты, взаимодействующие с пазами фиксаторов. Радиус кривизны пазов равен радиусу поворота осей роликовых захватов. Уплотнительный механизм выполнен в аиде тел качения, располо- женных в гнездах рычагов с возможностью контакта с ответными фигурными гнездами в диске и пластине запорного органа. 1 з.п, ф-лы, 2 ил. 4 - опорный диск;5 - запорная пластина;6 - уплотнитель;7 - упругая направляющая;, 8 - рычаг;,9- шток привода;10 - фиксатор;11 - роликовый захват;12-шарикуплотнительного механизма;13. - фигурное гнездо;14 - ролик;15 - привод;16 - герметизирующий сильфон;17- рычаг;18 - .пазы в рычагах,УСтрОйСтвО СОдвржит корпус 1 с вхоным 2 и выходным 3 фланцами, внутри котрого расположен запорный узел, состоящийиз опорного диска 4 и запорной пластины 5 с уплотнителем 6 и упругой направляющий 7, рычагов 8, одним концом сопряженных со штоком привода 9, а другим взаимодействующих с пазами фиксаторов 10 через посредство роликовых захватов 11. На рычагах имеюгся сквозные гнезда, в которых расположены шарики 12 уплотнительного механизма, взаимодействующие с фигурными гнездами 13 в опорном диске 4 и в запорной пластине 5. Опорный диск снабжен роликами 14, на которых он перемещается внутри корпуса клапана. Привод 15 запорного узла состоит из винтового механизма, герметизирующего сильфона 16, рычага 17, штока 9.Устройство работает следующим образом.Под действием винтового механизма привода 15 шток привода 9 воздействует через рычаг 17 на рычаги 8, что приводит к перемещению запорного органа на роликах 14, в направлении перекрытия проходного сечения клапана. Опорный диск 4 и запорная пластина.5 при этом притянуты друг к другу упругой направляющей 7, шарики 12 утоплены в гнездах диска и пластины, Запорный орган перемещается до упора в торцовую стенку корпуса, после чего усилие привода, воздействующее на рычаги 8, приводит к их повороту в плоскости опорного диска, При этом роликовые захваты 11 заходят в пазы фиксаторов 10, шарики уплотняющего механизма выходят на периферию гнезд, разжимая при этом опорный диск и запорную пластину, первый из них роликами опирается на корпус клапана, второй на уплотнительную поверхность корпуса. Открытие клапана происходит в обратном порядке, При этом эапорный механизм не может быть сдвинут в направлении привода, пока захваты рычагов не выйдут из 5 зацепления из пазов фиксатора, соответственно шарики уплотняющего механизма утопятся в гнездах пластины и диска, т.е.диск с эластомерным уплотнителем гарантированно отойдет от уплотняемой поверх ности, т.е, он не может быть поврежден засчет трения о нее.Формула изобретения 1, Высоковакуумный клапан шиберноготипа, содержащий корпус с входным и вы ходным фланцами, внутри которого расположен запорный узел, связанный со штоком с приводом и выполненный в виде опорного диска и запорной пластины, взаимодействующих с уплотняющим механизмом и фикса тором, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что диск ипластина связаны друг с другом упругими направляющими и снабжены парой симметрично установленных между ними двуплечих рычагов с уплотнительными механизмами, причем их оси размещены на диске или пластине перпендикулярно им, при этом рычаги одним плечом связаны со штоком, а на другом плече размещены роликовые захваты, взаимодействующие с пазаЗ 0 ми фиксаторов, причем радиус кривизныпазов равен радиусу поворота осей роликовых захватов.2, Клапан по п.1, отл ич а ю щи й с ятем, что уплотнительный механизм выполЗ 5 нен в виде тел качения, расположенных вгнездах рычагов с возможностью контакта с ответными фигурными гнездами в диске и пластине запорного органа.1807275 дактор изводственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул,Гагари каз 1370 ВНИИПИ Гос Составитель В. Бударных Техред М. Моргентал Корректор Н, Милюкова Тираж Подписноевенного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб 4/5