Высоковакуумный клапан

Изобретение относится к арматуростроению, в частности к вакуумнойтехнике, и может быть использовано в конструкции установок молекулярно 5 лучевой эпитаксии,Цель изобретения - повышение надежности работы клапана за счет обеспечения самоустановки и произвольного поворота запорного диска вокруг собственной оси после каждого цикла нагружения.На фиг. 1 изображен высоковакуумный клапан, общий вид; на фиг, 2разрез А-А на фиг. 1; на фиг. 3запорный диск с кольцом в сборе; нафиг, 4 - разрез Б-Б на фиг, 3,Высоковакуумный клапан содержит,корпус 1 с проходным каналом 2, Внутри корпуса 1 расположен запорный диск 203, на торцовых поверхностях 4 которого выполнены кольцевые ножевые выступы 5, Запорный диск 3 снабжен механизмом б поджатия к торцовой поверхности 7 проходного канала 2 и кинематически связан с механизмом 8 привода.1(инематическая связь запорногодиска 3 с механизмом 8 привода выполнена в виде охватьвающего запорный 30диск 3 кольца 9, жестко связанногос механизмом 8 привода, и шариков10, размещенных в кольцевых канавках 11 и 12, выполненных на сопрягаемых цилиндрических поверхностях 13и 14 соответственно диска 3 и кольца 9,В кольце 9 выполнено резьбовоеотверстие 15, расположенное в радиальном направлении. В резьбовом отверстии 15 установлена нагружающаяшарики 10 пружина 16 с резьбовойзаглушкой 17. Радиус кольцевой канавки 11, выполненной на цилиндрическойповерхности 13 запорного диска 3, 45равен радиусу шарика 10, Радиус кольцевой канавки 1 2, выполненной на цилиндрической поверхности 14 кольца 9,больше радиуса шарика 10,Сборка запорного диска 3 с кольцом 9 осуществляется следующим образом.В центральное отверстие кольца 9помещается запорный диск 3, Черезрезьбовое отверстие 15 кольца 9 кольцевые канавки 11 и 1 2 соответственнокольца 9 и запорного диска 3 заполня-.ются шариками 10, Пружина 16, расположенная под заглушкой 17, через дополнительный шарик 18 создает определенное усилие прижима шариков 10. Регулировка усилия прижима производится резьбовой заглушкой 17.Высоковакуумный клапан работает, следующим образом.Механизм привода 8 поворачивает запорный диск 3 с кольцом 9 в корпусе 1 и устанавливает его в рабочее положение. После этого механизм 6 поджатия прижимает запорный диск 3 кольцевыми ножевыми выступами 5 с одной стороны к торцовой поверхности 7 проходного канала 2 корпуса 1, а с другой стороны к торцевой поверхности 19 механизма 6 поджатия, Так как запорный диск 3 и кольцо 9 связаны шариками, то при закрытом положении запорный диск 3 устанавливается так, что обеспечивает прилегание его кольцевых ножевых выступов 5 всеми точками по торцовым поверхностям 7 и 19 проходного канала 2 и механизма 6 поджатия, При этом запорный диск 3 может находиться под небольшим углом по отношению к жест ко связанному с механизмом 8 привода кольцу 9Наличие шариков между кольцом 9 и запорным диском 3 позволяет запорному диску самоустанавливаться, т.е.придает ему определенную подвижность и обеспечивает плотность прилегания к торцовым поверхностям 7 и 1 9 независимо от точности изготовления .входящих в сборку деталей клапана.Формула и зоб ретенияВысоковакуумный клапан, содержащий корпус с проходным каналом и расположенный внутри корпуса запор. ный диск, выполненный с кольцевыми ножевыми выступами на торцовых поверхностях, снабженный механизмом поджатия к торцовой поверхности проходного канала и кинематически связанный с механизмом прив ода, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью повыше ния надежности, кинематическая связь запорного диска с механизмом привода выполнена в виде охватьвающего запорный диск кольца, жестко связанного с механизмом привода, и шариков, размещенных в кольцевых канавках, выполненных на сопрягаемых цилиндрических, поверхностях запорного диска и кольца, кроме того, в к о пь це выполнено резьбовое отверстие и в нем установ6 0169лена нагружающая шарики пружина срезьбовой заглушкой, причем радиускольцевой канавки на цилиндрическойповерхности запорного диска равен радиусу шарика, а радиус кольцевойканавки на цилиндрической поверхности кольца выполнен больше радиуса шарика. 316 0169 оставитель А. Бирюко М. Пожо тор И. Касарда Техред М.Ходанич Корре раж 56 Подписное 4 обретениям и открытиям при ГКНТ ССРаушскаянаб., д. 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул. и ЗакаВНИИП Государственног 113035