Установка для химической обработки изделий

(51) 4 С 2 3 7 00 ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕ борудопо(57) Изобретение отнованию для химическойверхностей изделий,производстве полупророя и микросхем и можзонано для проведениных операций при обрстей корпусов приборрезков лент микросхеческим покрытием. Цеповышение эффективносчет совмещения проц итс обработ частно и, в х прибоиспольоднико ет быт Ьай ОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМРИ ГКНТ СССР Н АВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛ(56) Авторское снидетсльстно СССРУ 387755, кл, С 23 С 5/04, 1971,Авторское свидетельство СССРР 939602, кл. С 25 Г 7/00, 1981(54) УСТАНОВКА ДЛЯ ХИМИЧЕСКО 11 ОБРБОТКИ ИЗДЕЛИЙ я подготовительаботке поверхноов и сетчатых отм перед гальваниль изобретения сти обработки эа ессов струйной и1504289погружной обработки н непрерывном потоке жидкости, Загрузочный лоток 6 по направляющим 5 вводят в блок 4 химической обработки. Пневмоцилиндры поворачивают кронштейны и посредством тяг 9 поднимают плиту 8 и загрузочный лоток 6, Так как отверстия 32 в подъемной плите 8 и отверстия в днище загрузочного лотка 6 имеют раз О ные расположения и горизонтальной плоскости, то отверстия загрузочного лотка 6 при подъеме плиты 8 перекрываются, Подают реагент из ванн 15 потрубопроводу 17 в блок форсунок 18,а затем в загрузочный лоток 6. Рабочий реагент заполняет загрузочный лоток б и переливом через верхний крайпопадает на днище блока 4 химическойобработки и через распределительноеустройство 14, сливной патрубок 16возвращается н ванну 15, Конструктивные особенности позволяют снизить металлоемкость и габариты установки в5-6 раз. 1 э,п. ф-лы, 2 ил, Изобретение относится к оборудованию для химическои обработки поверхностей изделий, в частности, в производстве полупронодниковых приборов имикросхем и может бьть использованодля проведения подготовительных операций при обработке понерхнс стей корпусов приборов и сетчатых отрезковлент микросхем перед гальваническимпокрытием,Цель изобретения - поньппение эффективности обработки погружной абработки н непрерывном потоке жидкости,На фиг,изображена установка,общий вид; на фиг. 2 - то же, нидсбоку,Устанонкз состоит из корпуса 1,на котором смонтирован скафандр 2,.а на скафандре 2 установлен блок 3электропненмоантоматики. Под скафанд.ром 2 установлен блок 4 химическойобработки, н котором на направляющих 405 .установлен подложкодержатель, выполненнный н виде загрузочного лотка 6 с кассетой 7 для обрабатываемыхизделий, Под загрузочным лотком бподвижно установлена подъемная плита 8, которая жестко связана с вер тикальными тягами 9, верхние концыкоторых шарнирно соединены с поворотными рычагами О, закрепленнымис воэможностью поворота на кронштейнах 11, Кронштейны 11 неподвижнозакрепл,ы на наружных поверхностяхвертикальных стенок блока 4 химической обработки, Нижний конец каждогоповоротного рычага 10 шарнирно соединен со штоком пневматического цилиндра 2. Каждый пневматический цилиндр 12 посредством кронштейна 13закреплен также на нертикальной стен:.е блока 4 химической обработки,В нижней части корпуса 1 расположеныраспределительное устройство 14,ванны 15 с рабочими реагентами, сливные 16 и напорные 17 трубопроводы,последние соединяют каждую ванну 15с блоком форсунок 18Блок 4 хими 1ческой обработки подвижно соединенслинным патрубком с распределительнымустройством 14В цилиндрическое отверстие 19 корпуса 1 с возможностью понорота ивертикального перемещения установленповоротный ротор 20, который имеетвнутреннюю конусно-цилиндрическуюповерхноСть, причем цилиндрическойповерхностью он подвижно соединен спатрубком 21 блока 4 химической обработки, а нижняя его конусная поверхность переходит в эксцентричнорасположенный и выступающий эа нижний торец патрубок 22. На верхнемторце поворотного ротора 20 неподвижно установлено зубчатое колесо 23,которое находится одновременно в зацеплении с двумя шестернями 24 редукторон 25, На шестерне 24 неподвижноустановлены кронштейны 26 с опорнымирамками 27, находящимися в контактес торцовым кулачком 28 у неподвижнозакрепленным на верхнем торце корпуса 29На боковых поверхностях корпуса 29 установлены конечные выключатели 30 с возможностью взаимодействия с кронштейном 31, который неподвижно закреплен на зубчатом колесе 23, Подъемная плита 8 выполненас отверстиями 32, а загрузочный лоток 6 с отверстиями, которые не совпадают по расположению с отнерстиями 32.5 1504289 6Установка р,збатает следующим об- нае устройство 14 переключают на вторую ванну 15, включают пневматическиеЗагрузочный лоток 6 выдвигают иэ цилиндры 12, подъемную плиту 8 подниблока 4 химической обработки и номе- мают в верхнее положение и начинае5икаетсящают в него кассету 7 с обрабатывае- обработка новым реагентомЦикл повмыми изделиями, Загрузочный лоток 6, таряетсяПри необходимости промежуточной промывки распределительноев блок 4 химической аб абатки На устраиство 14 переключают после абралицевой панели блока 3 электрапнев- О батки каждым реагентом на слив и каматики нажимают кнопку 1 Пуск , При нализацию, и промывные воды подают1этом пневматические цилиндры 12 па- через блок Форсунок 18 от централиварачивают кронштейны 11 и пасредстУстановка позволяет производитьзочный лоток 6. Так как отверстие 32 5 химическую обработку изделий, чаприв подъемной плите Я и отве стия вд Я и отверстия в мер отрезков л, нт интегральных схем,днище загрузочного латка 6 имеют раз- в одной установке последовательноные расположения в го изонтальнайР горизонтальной различнымп реа ген тами с прамежуточоск ти ными и Финишными промывками. Прилотка 9 пи по ъеме плить, 8д е плить, 8 перекры этом конструктивные особенности усваются. Одновременно со срабатыванием тановки обеспечивают снижение металпневматического цилиндров 12 вклкча- лоемкасти и габаритов устанавк". вется один и 1 электродвигателей прива-6 раэ,да насосов (не показан) п 1 р,ачп реагентов из ванн 15, рабочий реагент 25 Ф о р м у л а ии э о б р е ; е н и яиз ванны 15 по трубопроводу 17 посту 1, Усзанавка для химической обра( узагруэочныи лоток 6. 1 ак как подъем- ботки изделий, содержащая корпус счнаи плитои 8 перекрыты спинные атвер- блоком химической обработки подложра,аткистия в днище загрузочного латка б, ЗО кадержателем, установленным на напто рабочии реагент заполняет э агру- равляющих с возможностью горизонта. ьзачный лоток 6 и пе еливам ч наго перемещения, рзспределительнь,устройством, соединенным через слическай обработки и через распредели- пые трубопроводы с ваннами для р бо 1 /тельное у тро тва 4, сливноп патру- З 5 чих реагентов, и блоком Форсунок,бок 16 возвращается в ваннсоединенным, через напорные трубопрапроцессе обработки подачу реагента водь 1 с каждой ванной для рабочих реосуществляют непрерывна и в эагрузоч- агеавотличающаясянам лотке 6 по це живают неп е ывдд р а н прерывный тем, чта, с целью повышения эФфективид , о обеспечивает рав 40 ности абработкп за счет совмещенияномерную обработку издезий любой фор- процессов струйной и погружной сбрамы с любым расположением изделии в батки в непрерывном потоке жидкости,кассете 7 и с любои плотностью уста- она снабжена плитой с отверстиями ичпавки изделии, После окончания про- механизмом ее вертикального перемецесса обработки первым реагентом 45 щения при этом подло кощения, при этом подложкодержатель выпневматические цилиндры 12 поворачи- полнея в виде загрузочного лотка свают кронштеины 11 в исходные положе- отверстиями в дне, не совпадающиминия, тяги 9 опускаются и опускают с отверстиями в плите, причем плитаподъемную плиту 8, Загрузочный лоток установлена под загрузочным лотком,6 опускают на направляющие при этом 5 Оодновременно отключают насос подачи 2. Установка по и, 1, о т л иреагента, Раствор из загрузочного ч а ю щ а я с я тем, что механизмлотка 6 через отверстия, распредели- вертикального перемещения плиты вытельное устройство 14 и сливной тру- полнен в виде пневматических цилиндбопровод 16 попадает в ванну 15, Та рав штоки которых кинематическиким образом заканчивается перзый цикл связаны посредством поворотных рычаобработки. После чего распределитель- гов и вертикальных тяг с плитой,1504289и 8,Составитель В,Трегубов Редактор Н.Киштулинец Техред М.Моргентал Корректор М.ВасильеваЗаказ 5218/30 Тираж 942 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская наб д. 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Узгород, ул. Гагарина, 101