Способ определения шероховатости

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСНИХРЕСПУБЛИК(19) (И) И 4 С 01 В 11 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУовы оне- шеро чный политех Терехов ство ССС /30, 198 вярстПр о по ся к иэмери(57) Изобрет тельной техн определения ти поверхнос является пов нос о ен-.шаг,значено дляероховатос ке и пре параметр тей. Цел ппение и ью изобретения акмативности определяе тоа счет увелич числ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР)х параметров шероховатости и ения точности за счет устране влияния макрогеометрических отк ний поверхности при определении ховатости, имеющей периодическую составляющую в виде борозд. Для этого освещают контролируемую и верхность 5 пучком 4 монохромат кого излучения от источника 1 и плоскости освещения, перпендикул ной бороздам шероховатости, рег рируют экстремальные значения р деления интенсивности рассеянно верхностью 5 излучения. По получ ным данным рассчитывают средний среднее квадратичное отклонение длину корреляции неровностей, а же средний угол наклона боковых рон неровностей. 1 ил.14552 И - плотность распределения тангенса угла наклона боковыхсторон микронеровностей: 34 Е(С) соя(и ь ) ехр ) - (С/1) ,(4) где И=Т 10 Т средний период микронеровностеи,длина корреляции;расстояние между двумяточками рассеивающейповерхности в направлении оси Х,15 2 = 2(х),(3) 20 если ось 2 направлена перпендикулярно бороздам шероховатости, В этих х +2соэ(2 п -" епО) ехр ( -4 и (1+созО) ( - -)(5)Т Г г г Ко гЯ 1снегде 1 блить средний период микронеронностей Т,Из соотношения (5) видно, чтоесли по оси ординат откладывать 35 1 п(1 соя 6 /2),2(где 1 - максимальные значения 40интенсивности) как функцию Тр 6/2, то должна получиться прямая линия.Второе слагаемое4С- -(С 8 912/саБ ) ( - -)45 24 КЯ (1+соед)в показателе экспоненты намного меньше первого, поэтому им в дальнейшем пренебрегают. Из тангенса угла наклона йркривой 1 п(1) как 50 функции С 6/2, можно определитьсреднее значение величины(8) то, используя зависимости (6) .(7 т ( О Кфвеличина проекции векторана нормаль к поверхности 8ц - проекиця вектора и на по 1верхность ЯПосле операции точения, доводки, шлифования и строгания обработанная поверхность имеет ярко выраженную аниэотропию, т.е. уравнение рассеивающей поверхности описывается функ-. цией- длина корреляции;- среднеквадратическая высота микронеровностей.Слагаемые под знаком суммы в (5) быстро уменьшаются с ростом числа и, Из зависимости (5) видно, что распределение интенсивности рассеянного света по направлениям должно получить осциллирующий характер. Действительно, при целых значенияхТз 1 п 9 = шЪвсе члены суммы в (5) имеют одну и ту же фазу, что приводит к появлению максимумов и минимумов на индикатриссе рассеяния при определенных углах 9 = 9 . Индикатрисса рассеяния в этом случае аналогична спектру рассеяния на периодической поверхности. Направления максимумов определяются соотношением Таким образом, зная длину Ъ волны падающего света по измерению углового расстояния 9 между двумя соседними максимумами, можно опредеслучаях рассеивающая поверхность описывается нормальной случайной функцией с корреляционной функцией, имеющей периодическую составляющую вида При условииЯ 1 ) 1, т.е, при нормальном падении (чтобы исключить затенение), зависимость (2) для корреляционной функции (4) принимает вид;Заказ 7446/49 Тираж 683 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 сПроизводственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная,5 14552 и (8), можно определить среднеквадратическую высоту 5 неровностей исследуемой поверхности.Для оценки параметра 1 - длины кор 5 реляции, необходимо сопоставить теоретические зависимости, построенные согласно соотношению (5) с экспериментальными индикатриссами.Из сопоставления расчетов с инди катриссами рассеяния шероховатости поверхностей (7-11)-го классов чис тоты следует, что,, а следовательно, и2 ТК)9Т, определенным иэ опыта по,формуле(6), и 5 , определенным из опыта поформуле (8 с конкретной индикатрис-.сой позволяет найти точное значение 1 либо пользоваться оценкой (9) для (7"11)-го классов чистоты.Таким образом, предлагаемый способ позволяет измерить четыре параСоставитель В.БахтинРедактор А.Ревин Техред М.Ходанич 34 6метра шероховатости: Я , Т,и 1, а также повысить точность за счет исключения влияния макрогеометрических отклонений контролируемой поверхности.Формула изобретенияСпособ определения шероховатости, заключающийся в том, что освещают пучком монохроматического излучения контролируемую поверхность и анализируют распределение интенсивности рассеянного этой поверхностью излучения, по которому судят о параметрах шероховатости, о т л и - ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения информативности и точности при определении параметров шероховатости, имеющей периодическую составляющую в виде борозд, освещение осуществляют нормально к контролируемой поверхности, а анализ распределения интенсивности осуществляют в плоскости освещения, перпендикулярной бороздам шероховатости путем регистрации величины и угловых положений экстремальных значений распределения рассеянного поверхностью излучения.