Способ измерения отклонений от прямолинейности объекта

СОЮЗ СО 8 ЕТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ 14515 СПУБЛИ 1)4 СО 24 САНИЕ ИЗОБРЕТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ НИ 59/24-28(21) 3988 (22) 13. 1 (46) 15. О (71) Моск геодезии, графии (72) А.А. измерения, используют в качественепрозрачного препятствия щель, образованную двумя полуплоскостями,одна из которых сдвинута относительно другой в направлении распространения света и закреплена на контролируемом объекте, перемещают вторуюполуплоскость параллельно направлению распространения света и при совмещении одного из минимумов дифракционной картины с фиксированной точной плоскости анализа определяют величину отклонения от прямолинейностииз соотношения У 2итут инженероемки и картоН. Илюхин рометр дляъектов. ОИП ь = -ЛЬ с 2 Ь1 то 11моксвин и+1, + макси ели (длитвора); уплоскостямитролируемогощели;на перемещениоскостиованный угол ду и на к Ь - ши Н-ве оро ракции Ц - фикс д - длин олны света ГОСУДАРСТ 8 ЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР Арефьев, А.и Б.В.Старостенко(56) Голубкова В,П., Коронкевич В.Л,Двойной лазерный интерфеопределения положения об1971, Р 4, с. 29 - 31,Ямбаев Х.К. Высокоточные створныеизмерения, И.: Недра, 1978, сс. 129138, 170 - 171(54) (57) СПОСОБ ИЗИЕРЕНИЯ ОТКЛОНЕШП 1ОТ ПРЯИОЛИНЕЙНОСТИ ОБЪЕКТА, заключающийся в том, что направляют монохроматический когерентный пучок светавдоль объекта, размещают на его путинепрозрачное препятствие, формируютдифракционную картину в плоскостианализа, фиксируют положение экстремумов дифракционной картины и определяют величину отклонения от прямолинейности, о т л и ч а ю щ и й с ятем, что, с целью повышения точности145 1540щения одного из минимумов дифракционной картины с фиксированной точкой плоскости анализа. При этом расстояние между полуплоскостями 4 и 5 равно Ь.Для упрощения вывода условия минимумов дифракции света на щели с разнесенными полуплоскостями рассматривают условие только для возникновения первого минимума дифракции правой части дифракционной картины 10. Согласно теории Френеля Кирхгофа выражение для первого дифракционного минимума имеет видЬ ялп ч= Л,где Ь - ширина щели;Ц - фиксированный угол дифракции;1 - длина волны излучения.Следовательно, разность хода лучей, сходящихся в первом дифракционном минимуме, составляет 1, поэтомуЛК+КБ-Р 1,Ширина плоского фронта волны света для полуплоскости 5 равна Р 1 а следовательноРМ=ЛэЛК + КБ + РМ - В 1. = 2 ЛРМ+КМ= 2 Л,Учитывая, что РМ = Ь, яз.п У, аКИ = (Ь,-Ьс 84 ялп , получим условие первого минимума дифракции:2 Ъ, яхп г Ь, ялп Ф с 8 ц= 21.Б общем виде условие минимумов диФракции на щели с разнесенными полу- плоскостями определяют по формуле2 Ь ялпц - Ь ялпся= 2 шЛ,где ш =+1, +2, +3При поперечном смещении первойполуплоскости 4 щели, закрепленнойна измерительной марке 3, на, величину ДЬ в положение 4 произойдетизменение ширины дифракционной щели,что приведет к перераспределению.интенсивности дифракционной картины.Для того, чтобы измерить величинудЬ, плавно перемещают вторую полуплоскость 5 щели параллельно самойсебе на величину ДЬ, добиваясь пов -торного совмещения одного из минимумов новой дифракционной картины 10с фиксированной точкой плоскости ана20 ЬЬмакс з 145154 лиза. При этом расстояние между полуплоскостями 4 и 5 щели равно Ь., а ширина щели равна Ь.Условие минимумов в данном случае определяют по Формуле 2 Ьэапц- Ь з 1 пц,сд= 2 щ 1 где ш = +1, +2, +3,Учитывая, что Фиксированный угол дифракции постоянен, т.е, Ц= сопят, а Ь =Ь,-дЬ и Ь =Ь -Ю, получим выражение для расчета величины отклонения от прямолинейности в виде Отметим, что существование тп-го минимума правой части дифракционной картины обусловлено выполнением ус- ловия где Ь , - максимальное расстояниемежду полуплоскостями 4 и 5 щели или длина контролируемого створа. Это условие также вытекает из условия минимумов дифракции на щели с разнесенными полуплоскостями.фиксирование точки в плоскости анализа осуществляют при помощи фотоэлектрического анализатора, что в значительной мере упрощает измерение, так как уголпостоянен. Для вычисления йЬ необходимо измерить только величину дЬ, также изменяющую эффективную ширину щели, что приводйт к компенсационному смещению экстремальных точек дифракционнои картины в плоскости анализа, Учитывая, что первые минимумы дифракционной картины можно наблюдать под весьма малыми углами с(1 ф, то компенсационное перемещение Л Ь второй полуплоскости 5 значительно больше величины контролируемого перемещения дЬ первой полуплоскости, что позволяет проводить высокоточные измерения отклонении от прямолинейности.зводственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная 7070/39 Госуда Фи 8 ираж 683 Подписноем при ГКНТ С рственного комитета по изобретениям и открытия 113035, Москва, Ж, Раушская наб д. 4/5