Устройство для измерения спектров отражения в вакууме

(51)4 С 01 Х ИСАНИЕ ИЗОБРЕТ АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ СПЕКРОВ ОТРАЖЕНИЯ В ВАКУУМЕ(57) Изобретениекой оптике, а име отражательных с пытывающих жес ние, и мож осмической облу но в твердого тповышение и и достигаетс ого канала ел жного термояет ультрафиолета, применени подви измер элемента, к летовый пот о нием держаля его перек и под е об ыполн теля образмещения помирования южнымучения звакууя измерениятик материаента при изблучении е д полож ых х ктери моэле тражател ов. Поло ния те образц и мерениях с высокои етических позволяе дентичны, очностью араметрах удить об эн облучения,л 3 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ(7 1) Томский политехнический институт им. С.М.Кирова(56) Васильев В.Н., Козелкин В.ВМельник О.К. и др. Измерение коэффициентов излучения, поглощения солнечного излучения и спектрального отражения материалов в вакууме, - Измерительная техника, 1982, У 7, с,33-35.Маспп 11 ап Н.Р., БЬ 1 епя 1 су А,Г, Аррагагця Гог Бресгга 1 ЬЫгесг 1 опа 1гей 1 есгапсе веаяцгегепг.я Йцг 1 пд.ц 1 ггачо 1 ег гггай 1 аг 1 оп 1 п часццщ.ТЬеггпорЬуя. Ь Тетпрега. Сопгго 1 Брасесгайг Ь Епггу ЧеЬ 1 с 1 ея.Меч-гог 1 с 1.опйоп, Асад, Ргеяяе, 1966, р. 129141. относится к физичеснно к исследованиюйств материалов,исое ультрафиолетовоет быть использонатехнике, физике ила. Цель изобретеочности измерений,введением дополниакуумного ультрафио 132533Изобретение относится к приборам для измерения спектров отражения в вакууме и может быть использовано в космической технике для исследования отражательных свойств покрытий,испытывающих влияние различных спецфакторов космического пространства,например коротковолнового излучения,а также в Физике и химии твердого тела для исследования оптических (отража.- Я тельных) характеристик поверхности материалов.Цель изобретения - повышение точности измерения отражательных характеристик материалов после воздейст вия излучения.На Фиг, 1 изображена схема устройства; на фиг. 2 - разрез А-А на фиг, 1.Устройство содержит измерительн ую 20 камеру 1 с образцом 2, систему 3 вакуумирования, источники 4 и 5 ультрафиолетового и вакуумного ультрафиолетового излучения. Для измерения отражательных характеристик измери тельная камера имеет торцовое оптическоекварцевое окно 6, жестко состыкованное с оптической измерительной системой 7.Измерительная камера представляет собой вертикальный цилиндр снабженный кроме торцового оптического кварцевого окна двумя каналами 8 и 9 и оптическими окнами 10 и 11 для вво" да излучения из области ультрафиолетовой и области вакуумного ультрафиолета соответственно. Источником ультрафиолетового излучения является дуговая ксеноновая сферически шаровая лампа ДКСБ 1-1000, а в качестве 4 п источника вакуумного ультрафиолета применяется водородная лампа. Измерительная камера имеет также канал 12 для ввода подвижного термозлемента 13, предназначенного для иэмеренйя 45 интенсивности падающего на образец излучения с помощью датчика 14,соединенного с термоэлементоМ двумя токовводами 15. Термоэлемент размещается на направляющей спице 16, впа р янной в стенку измерительной камеры, перемещается по направляющей спице с помощью магнита 17 и может фиксироваться в точке пересечения осей оптических каналов 8 и 9. Исследуемый 55 образец размещается на подложке 18 подвижной оси 19 держателя образца 20, С помощью подвижной оси 19 держателя осуществляется поворот подлож 2 2ки с образцом под углом 90 ф. 11 еремещение держателя в вертикальном направлении вверх к торцовому оптическому кварцевому окну и вниз, где расположены каналы для ввода ультраФиолетового и вакуумного ультрафиолетового излучения осуществляется с помощью тросика 21, перекинутого через блок 22. Держатель с исследуемым образцом также может Фиксироваться в точке пересечения геометрических осей каналов 8 и 9 с помощью магнита 23.Устройство работает следующим образом.По достижении вакуума 110-Па необлученный образец 2, находящийся на подложке 18 в подвижном держателе 20, перемещается к торцовому оптическому кварцевому окну 6, где с помощью оптической системы 7 производят измерения спектров отражения.Одновременно термоэлемент 13 по направляющей спице 16 магнитом 17 устанавливают в точке пересечения геометрических осей каналов 8 и 9, где проводят измерение суммарной интенсивности потока источников 4 и 5 коротковолнового излучения датчиком 14.Далее термоэлемент 13 убирается, а в точке пересечения геометрических осей каналов 8 и 9 устанавливают образец 2, закрепленный в подвижном держателе 20. В данном положении образца проводят облучение его измеренной термоэлементом 13 суммарной интенсивностью светового потока источников 4 и 5 коротковолнового излучения.Формула изобретенияУстройство для измерения спектров отражения в вакууме, содержащее канал ввода ультрафиолетового излучения, измерительную камеру с держателем образца, системы освещения и регистрации отраженного от образца света, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности измерений, измерительная, камера снабжена дополнительным каналом для ввода вакуумного ультрафиолетового излучения и термоэлементом, выполненным с возможностью перемещения перпендикулярно оси камеры в точку пересечения оптических осей каналов ультраФиолетового излучения, а держательз 13253324 образца выполнен подвижным вдоль оси лов ультрафиолетового излучения и на камеры с возможностью фиксации в точ- выходе системы освещения в положении ке,пересечения оптических осей кана- для измерения спектров отражения. 2Фиг.71325332 ль И.НикулинСердюкова Корректор А.Тяско Состав Техред А.Козори едакт 776 о к Зак одписное ета СССРрытий и н ш Производственно-полиграфическое предприятие 3042/37 Тираж ВНИИПИ Государственног по делам изобретени 113035, Иосква, И, город, ул. Проектная, 4