Кассета для диффузии

Номер патента: 322814

Опубликовано: 01.01.1971

Автор: Милонов

МПК: H01L 21/22

Метки: диффузии, дозирования, источника, примеси

...число 20 долей пластины с диффузантом.Примером технического осуществления спо.соба является дозирование селена, являющегося основной донорной примесью для арсенида галлия. Подвергаемые легировапию пла стины из арсенида галлия иМеют диаметрпорядка 20 лтлк Объем диффузионной ампулы составляет 30 см. Для обеспечения легирования арсенида галлия селеном до концентрации доноров порядка 10" слг в концентрац З 0 атомов селена в объеме ампулы должна быДпорядка 10" см-. Такая концентрация селена в объеме ампулы создается навеской диффузанта 0,39 мг. Отбор столь малых количеств измельченного материала при взвешивании по известному способу связан со значительными трудностями. Получение селена, равно как и целого ряда других диффузантов, таких...

Номер патента: 1029270

Опубликовано: 15.07.1983

Авторы: Мясищева, Окованцев, Пирогов

МПК: H01L 21/68

Метки: диффузии, кассета

...к области то же, вид сбоку, разрез Б-Б; на изготовления полупроводниковых при- фиг.5 - разрез А-А, установка пласборов и может быть использовано для тины.проведения процессов диффузии в по- Кассета содержит держатель для лупроводниковые пластины, в частнос источника диффузии - рамку 1, накоторой выполнены выступы 2 с паза- в потоке газа-носителя. ми 3 для пластин источника диффузииНаиболее близкой к предложенной и Фиксаторы 4. Держатель для полупроводниковых пластин рамка 5 имеет10 выступы 6 с пазами 7 для полупроводниковых пластин, Пласты нарезаныпод углом 45 О к плоскости кассеты.Рамка 5 выполнена съемной и устаНедостатком известной конструкции навливается на рамку 1, при этомее выступы попадают в промежуткимежду выступами рамки...

Номер патента: 1780457

Опубликовано: 20.10.1995

Авторы: Денисюк, Левицкая

МПК: H01L 21/225

Метки: диффузии, источников, кремния, основе, пирофосфата, планарных, твердых, фосфора

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТВЕРДЫХ ПЛАНАРНЫХ ИСТОЧНИКОВ ДИФФУЗИИ ФОСФОРА НА ОСНОВЕ ПИРОФОСФАТА КРЕМНИЯ, включающий приготовление смеси из порошков пирофосфата кремния, кремния и пирофосфата циркония, нанесение диффузанта в виде блоков на термостойкую подложку из кремния и спекание источника диффузии фосфора в инертной или окислительной среде при 1010 1050oС, отличающийся тем, что, с целью повышения выхода годных источников при изготовлении и увеличения срока их службы при эксплуатации при температурах не выше 1050oС за счет повышения термомеханических свойств источников и снижения отслаивания блоков диффузанта и выкрашивания частиц диффузанта, перед нанесением диффузанта на термостойкую подложку из кремния приготавливают...

Номер патента: 838842

Опубликовано: 15.06.1981

Автор: Бессмертный

МПК: H01R 43/06

Метки: автомат, коллек-topob, машин, обойму, пластин, сборки, технологи-ческую, электрических

...пластин, а на транспортное средство 29 - полу- кассеты 18 с технологической обоймой 47 для изоляционных пластин. Включается привод 2 и через кулачки 4 - 6 распределительного вала 3 соответственно включаются бункер 8 с токоведущими пластинами, толкатель 9, шпиндель 10, магазин 19 с изоляционными пластинами, механизм 20 подачи изоляционных пластин, толкатель 21, вырубной штамп 22, шпиндель 23 и пуансоны 31 и 32. Кулачок 41 через систему рычагов (не показаны) отводит шпиндель 10 в крайнее положение, Включается отсека- тель 17 и полукассета 7 по транспортному средству 16 скатывается в зону укладки токоведущих пластин. Шпиндель 10 входит в центральное отверстие полукассеты 7. Включается пневмоцилиндр (не показан) и через рейку 14 и...

Номер патента: 288278

Опубликовано: 01.01.1970

Авторы: Андрианов, Журиков, Кучкина, Матвеева

МПК: B27B 3/02, B27B 3/10

Метки: 288278

...в кривошипных механизмах резания и может быть использовано при распиловке бревен в дорожном строительстве, при постройке переправ и там, где требуется получение пиломатериалов заданных размеров непосредственно на месте работьг.Известна пильная рамка кривошипного механизма резания, включающего кривошипные валы и раму с поставом пил.Целью изобретения является сокращение времени на замену постава пил, Достигается это тем, что пильная рамка выполнена в вид сменной кассеты с возможностью установки ее в соединенную с кривошипными валами раму и закрепления в ней с помощью закимных приспособлений, например болтов.На чертеже схематически изображена предлагаемая пильпая рамка и механизм резания.Кривошипный механизм резания в сборе с описываемой...