C30B 31/14 — держатели или приемники подложек
Кассета для диффузии
Номер патента: 1318618
Опубликовано: 23.06.1987
Авторы: Борщев, Клембек, Меньшиков, Старков
МПК: C30B 31/14
...6 источника и 9 полупроводника установлены в рамках 1 и 2 вдоль их 3 О продольной оси. Кассета работает следующим образом.Рамку 1 загружают пластинами 6 ис точника и помещают в рабочую зону реактора. Затем загружают рамку 2 пластинами 9 полупроводника и с помощью толкателя 11 устанавливают в 8 2реактор. При этом скоба 10 рамки 2 скользит по направляющей штанге 4 рамки 1, обеспечивая тем самым устойчивость и направление движения рамки 2 в рабочую зону. После установки рамок 1 и 2 в рабочую зону начинают процесс диффузии, После завершения процесса рамку 2 с пластинами 9 извлекают из реактора, а рамку 1 с пластинами 6 источника оставляют вреакторе.С помощью кассеты проводят операцию термической диффузии фосфора в кремний для создания...