Способ получения вакуумплотной алюмооксидной керамики “лидар

,8)027.002.ТУ.и Печенкина Аалюмооксиднойьтате обработ- "Электронная6, 1976, с. ен микираствника" тех 88-93 ШОТ НОЙлотнойформоваго обОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ ОПИСАНИЕ К АВТОРСКОМ,Ф С(54) СПОСОБ ПОЛУЧКНИЯ ВАКУУМ АЛЮМООКСИДНОЙ КЕРАМИКИ "ЛИДАР (57) Способ получения вакуум алюмооксидной керамики путем ния заготовок, предваритель(5 ц С 04 В 35 10 41 50 жига, пропитки в растворе М 8 Сй , сушки и окончательного обжига, о т л и - ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повьппения процента выхода годных изделий, пропитку осуществляют в ЗЗЖ-ном спиртовом растворе М 8 СЙ в течение 5-7 мин, сушку ведут со скоростью подъема температуры 35- 40 С/ч до 100+10 С, выдерживают при этой температуре 1,5-2 ч, затем нагревают со скоростью 55 С/ч до 550+ ф 10 С, а окончательный обжиг ведут по следующему режиму: подъем температуры со скоростью 415 ф 5 С/ч до 14501 +10 С, выдержка 25-35 мин, подъемтемпературы со скоростью 22015 С/ч, выдержка при максимальной температуре 50-60 мин.Изобретение относится к производству беспористых керамических изделий и заготовок и может быть использовано в электронной, электротехни-ческой, машиностроительной промышлен-ности, в частности при изготовлении заготовок на сварочный микроинструмент для распайки (разварки) интегральных схем.Известен способ получения вакуум плотной алюмооксидной керамики Я .Наиболее близким по техническому решению к предлагаемому является способ получения вакуумплотной алюмооксидной керамики путем формования заготовок, предварительногообжига при 1200 С, пропитки 107-ным водным раствором МрС в течение 60 мин, сушки при 80-100 С и окончательного обжига в водородной печи при 1700 ь 20 С 12, щНедостатком известного способа является невысокий процент выхода год-. ных изделий - 7-103.11 елью изобретения является повышение процента выхода годных изделий. 25Поставленная цель достигается тем, что согласно способу получения вакуумплотной алюмооксидной керамики путем формования заготовок, предварительного обжига, пропитки в растворе ЗО МяСЙ, сушки и окончательного обжига, пропитку осуществляют в ЗЗЕ-ном спиртовом растворе МдС 1 в течение 5-7 мин сушку ведут со скоростьюЭоподъема температуры 35-40 С/ч до 100+10 С, вьдерживают при этой температуре 1,5-2 ч, затем нагревают со скоростью 55 С/ч до 550+10 С, а окон. чательный обжиг ведут по следующему режиму: подъем температуры со скоростью 415-5 С/ч до 1450+10 С, вью + 4 О держка 25-35 мин, подъем температуры со скоростью 220+5 С/ч, выдержка при максимальной температуре 50-60 мин,Предлагаемый способосуществляют 45 следующим образом.Отформованные заготовки подвергают предварительному обжигу, затем их опускают в ЗЗЕ-ный спиртовый раствор МдС 1 на 5-7 мин. После пропитки за. готовки сушат и подвергают окончательному обжигу, При использовании раствора МдСК с концентрацией меньше 337. наблюдается повышение пористости конечных изделий. 55: Граничные параметры способа и характеристики полученной керамики представлены в табл.1Таблица 1 Операции способа и свойства загоПример 1 Пример 2 товок Время вьдержки в337.-ном растворе,мин Скорость нагревадо 100+10 С, С 40 35 Время выдержки при 100+10 С, ч Скорость подъематемпературы до500+10 С, С/ч Охлаждение вместе с печью соскоростью, С/ч Скорость подъематемпературы до1450+10 С, С/ч 420 410 Время вьдержкипри температуре1450+10 С, мин 35 Скорость подъема температуры до 1670+10 С, С/ч 225 215 Время вьдержкипри 1670+10 С, ч 50 60 Охлаждение вместе с печью со скоростью охлаждения, С/ч 325 325 0,006 0,007 ПористостьПроцент выходагодного микроинструмента 45 Как видно йз табл.1, предлагаемый способ обеспечивает более высокий процент выхода годных изделий, нежели известный, в котором получаемые изделия имеют пористость 0,2-0,47, а процент выхода годной керамики (для микроинструмента) составляет 7-107.1162770 4Таблица 4 При изменении параметров предлагаемого способа наблюдается повышение пористости керамики и уменьшение процента выхода годных изделий для микроинструмента (табл.2-7).Влияние выдержки при 100 ф 10 С во время сушки заготовок на их пористость и процент выхода годного микро 1430 инструмента приведены в табл.2.Т а б л и ц а 2 М 1440 Пористость,7Время выдержки, ч 50 45 1470 30 0,01 30 0,08 1,35 1,5 45 о,оа 50,004 Зависимость пористости и процентф выхода годного микроинструмента отвремени выдержки заготовок при1450+10 С представлены в табл.5. 50 П р и м е ч а н и е. Более длительная выдержка при 100+10 С теряет смысл по экономическим соображениям,Зависимость пористости и процент выхода годного микроинструмента от температуры сушки заготовок при 550+ 10 С даны в табл.3. Таблица 5 Время выдержки,мин25 45 30 50 40 530 0,01 4 О 40 35 0,01 45 540 550 50 Зависимость пористости и процент выхода годного микроинструмента от температуры 2-й выдержки (1670+10 С) при окончательном спекании заготовок даны в табл.6. 560 45 570 Т а блица 6 50 Температура Пористость, спекания,С Е Выход годного, Х 55 30 0,009 0,007 1650 1660 0,006 0,004 0,006 0,006 1П р и м е ч а н и е. Температура более 560 С нецелесообразна по экономическим соображениям..Зависимость пористости и процент выхода годных заготовок от температуры 1-й выдержки (1450 ф 10 С) при окончательном обжиге заготовок указаны в табл.4. 0,008 0,006 0,004 0,0071162770 Продолжение табл.6 Продолжение табл. 7 Время выдежки мин Пористость,%Время выдержки, мин Не изменились 40 0,008 0,006 45 2164 50 Составитель Р.МальковаРедактор Н.Егорова Техред М.Пароцай Корректор Е,Сирохман Заказ 4059/20 Тираж 605 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и.открытий 113035, Москва, Ж-.35, Раушская наб., д.4/5Филиал ППП "Патент", .г.ужгород, ул.Проектная, 4 Зависимость пористости и процентвыхода годного микроинструмента отвремени выдержки заготовок при 1670 ф