Микроскоп

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 4(51) ИСАНИЕ ЕТ АВТОРСКОМУ ЕТЕЛЬСТ о; содержащийусе проекционносветитель ся, включающимло и формирова ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ(54)(57) микроскоп,расположенные в. корпоптическую систему иузлом смены освещениполупрозрачное зерка тель кольцевого светового потока, отличающийся тем, чт с целью упрощения управления, узел смены освещения выполнен в виде установленной в корпусе с возможностью перемещения параллельно оптической оси осветителя каретки, со-. держащей кронштейн с полупрозрачным зеркалом и зубчатую рейку, кинематически связанную с зубчатым колесом, расположенным с возможностью вращения на коленообразном валу, жестко,связанном с формиромвателем кольцевого светового потока и с водилом, входящим в секторный паз, выполненный на торце зубца- того колеса.1 1136094 2Изобретение относится к оптико-ме полнея в виде устанханическим приборам и может быть се с возможностью ииспользовано для контроля дефектив- лельно оптической оности кристаллов полупроводниковых каретки, содержащейприборов. полупрозрачным зеркИзвестен микроскоп металлогра- . рейку, кинематическфический, содержащий проекционную зубчатым колесом, рсистему и осветитель, который ши- возможностью вращенроко используется для контроля ном валу, жестко свАдефектности кристаллов,полупровод- . 1 О рователем крльцевогниковых приборов 11, тока и с водилом вНедостатком данного микроскопа торный паз, выполнеявляется низкая производительность зубчатого колеса.работы с ним. На чертеже схемаИзвестен микроскоп, содержащий 15 предлагаемый микросрасположенные в корпусе оптическую Микроскоп содержпроекционную систему, состоящую из тительную систему,объектива, тубусной линзы, призм . пы 2, коллектора 3,бинокулярной головки и окуляров, и ческого зеркала. 4,осветительную систему, обеспечиваю- ческого зеркала (фощую освещение по методу темного и цевого светового посветлого полей, состоящую из лам-сорной линзы 6, полпы, коллектора, зеркала полупроз- . кала 7, кольцевогорачнога, зеркала кольцевого, .пара- раболического зеркболического отражателя, формирова- ную систему, состоятеля кольцевого светового потока 10, трубной линзы 1кольцевой диафрагмы с непрозрач- .панкратической систной центральной зоной), причем ме, окуляра 15, уст.ханизмы ввода-вывода полупрозрач- ния типа освещения,ного зеркала и вывода-ввода Форми- ручки 16, связаннойрователя выполнены независимыми 2зубчатой рейки 18,Недостатком известного микроско- . ной на каретке 17,.ьпа является сложность и неудобство 19 с секторным пазо.управления, так как смена освещения посаженного на колев светлом поле на освещение в тем, водила 22, кронном поле производится доочередным закрепленного на кавыведением полупрозрачного зеркала штейнов 24 и 25, .заи введением формирователя кольцево- валу 21,. упоров 26го потока (кольцевой диаФрагмы) с Микроскоп в режпомощью индивидуальных рукояток 4 поля работает следууправления, Неудобное управление Источник светазначительно снижает производитель- коллектора 3 изобрность, так как оператору приходитсяности, а затем конднесколько сотен раз в смену манипу- и полупрозрачным зелировать рукоятками смены освеще кости выходного зра5.ния, фокусировки и перемещения Световые лучи, про"кристаллов. концентрируются в и 20 25 ЗО 35 50 Цель изобретения - упрощение управления и увеличение удобства работы.Поставленная цель достигается тем, что. в микроскопе, содержащем расположенные в корпусе проекционную оптическую систему и осветитель с узлом смены освещения, включающим полупрозрачное зеркало и формирователь кольцевого светового потока, узел смены освещения выовленной в кордуеремещения паралси осветителякронштейн салом и зубчатуюи связанную сасположенным сия.на коленообразязанном.с формио светового походящим в секнный на торц,етично показанкоп.ит корпус 1, освесостоящую из. лам-,.кольцевого кониподвижного конирмирователя коль-тока) 5, конденупрозрачного зерзеркала 8 и па-ала 9, проекционщую из объектива1, призмы 12,емы 13, зеркаларойство переключесостоящее изс кареткой 17,жестко закреплензубчатого колесам 20, свободноноо 6 азный вал .штейна 23, жесткоретке 17, кронкрепленных наи 27 и пружины 28.име световогоощим образом.лампа 2 с помощьюажается в бесконеченсорной линзой 6ркалом 7 - в плосчка объектива .10идя объектив 10,лоскости предме, та 29, отразившись от плоскостипредмета, лучи снова проходят объектив 10, полупрозрачное зеркало 7,тубусную линзу 11, призму 12, панкратическую систему 13, зеркало 14и дают изображение предмета в фокальной плоскости окуляра 15 через.который производится наблюдениекристалла или предмета 29. При работе в темном поле световыелучи от лампы 2 через коллектор 31136094 4а полупрозрачное зеркала 7 выйдет нззоны световых лучей, Согласованиедлины хода каретки 17 и угля поворота коленаабразнага вала 21 производится с помощью секторного паза 20и всдила 22,Угол секторного паза 8 рассчитывается по формуле при условии, чтас -Япу, 4 7 от подвижного конического зеркала 5 и кольцевого конического зеркала 4, которые формируют (преобразуют) поток лучей с сечением в виде круга в лоток с сечением в виде кольца, попадают на кольцевое зеркало 8, которое направляет на параболическое зеркало 9, которое концен,трирует,пучок лучей на поверхность предмета 29. Лучи, диффузна отражен О ные на границах структурных состав-, ляющих, проходят объектив 10, тубус ную линзу 11, призму 12, панкратическую систему 13, зеркало 14 и дают изображение в фокальной плоскости окуляра 15, Полупрозрачное зеркало 7 выведено из хода лучей;Устройство переключения типа освещения работает следующим образом.Для перевода освещения микроскопа из режима светового поля в режимЮ1 темного поля необходимо ручкой 16 управления отвести каретку 17 с полупрозрачным зеркалом 7, закрепленным на кронштейне 22, зубчатая, рейка 18, 25 закрепленная на каретке 17, поворачивает зубчатое колесо 19, свободно посаженное на валу.21; до упора секторного паза 13 в водило 22, и при дальнейшем перемещении каретки 17 зубчатая рейка 18 поворачивает зубча" тое колесо .19 вместе с валом 21, кронштейном 24 и закрепленным на нем коническим зеркалом 5 и кронштейном 25 с прижимной пружиной 28 до. техЯ пор пока коническое зеркало 5 из положения А не перейдет в положение Б,где 90: - угол поворота коленообразного вала,"- длина хода каретки, мм,М - модуль зубчатого колеса;2 - число зубьев зубчатого колеса.Пазициациравание конического 5 иполупрозрачного 7 зеркал обеспечивается упорами 26 и 27.Использование предлагаемсч а микроскопа повышает удобства рабатыи уменьшает время на переключениеосвещения с темного поля на светлоеи са светлого на темное, что павышает производительность труда на операциях визуальцога контроля кристаллов палуправадцикавых приборов на6-87,1136094 Составитель Л.МухинРедактор Р.11 ицика Техред А.Бабинец яж 526твенного к Подпимитета СССРоткрытии е Зак бретении и 35, Раушск 4/ я н тент ПП Ужгород, ул. Проектн ил 0280/33 ТирВНИИПИ Государспо делам изс 13035, Москва, Л(орректор М.Максимишин