Устройство для транспортирования и подачи на рабочую позицию плоских деталей

СОЮЗ СОВЕТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИРЕСПУБЛИН А а) ) 65 С,47/00 ГОС ННЫЙ НОМИТЕТ СССЙ (ЛИР ЛЕЙ и ю щ е ПЛОСКИХ отли И 104 ем, что ти устр 177,я В 23.Н. Ком ючения за жду планками, едомые шкивы оно снабжетельст7/00,ами, устаесте разме 04 возможнос тупенвю с а меньшеи -2(54)(57) УСТРОЙСТВО ЛЛЯ ТРАНСПОРТИРОВАНИЯ И ПОДАЧИ НА РАБОЧУЮ ПОЗИЦИ 10 с целью повышения надеж ства в. работе путем иск пания плоских деталей м соединяющими ведущие и транспортирующих шнуров но двухступенчатыми рол новленными на планках в щения рабочей позиции с взаимодействия большей транспортирующими шнура с плоскими деталями, 1098876Изобретение относится к транспортирующим устройствам, используемым,в частности, в полупроводниковом производстве для подачи заготовок фотошаблонов прямоугольной формы на рабочую позицию,По основному авт. св, 9 1046177известно устройство для транспортирования и подачи на рабочую позициюплоских деталей, включающее основание1 Отранспортирующие шнуры, огибающие ведомые и ведущие шкивы, привод, механизм подъема и опускания транспортирующих шнуров, соединение ведомогои ведущего шкивов каждого транспортирующего шнура между собой планкой,механизм раздвижения транспортирующихшнуров, выполненный в виде смонтированной на основании приводной шестерни и взаимодействующих с ней цилиндрических реек, каждая из которыхжестко связана с одной из планок иустановлена на основании посредством.цилиндрической направляющей с возможностью поворота, причем цилиндрические направляющие расположены перпен. дикулярно планкам в горизонтальнойплоскости 1,Известное устройство позволяетосуществлять в автоматическом режимезагрузку изделий на рабочую позицию,расположенную как над конвейером,так и под ним, что делает его универ,сальным, пригодным для использованияв различном технологическом оборудовании. Однако в процессе выполнениятаких операций, как нанесение фоторезиста защитного покрытия, наносимый материал попадает на боковые поверхности обрабатываемых пластин, что 4 Оприводит к залипанию их между планками, соединяющими ведущие и ведомыешкивы транспортирующих шнуров,Это существенно снижает надежностьустройства в работе, ведет к непроизводительным затратам рабочего времении повреждению обрабатываемых йластин.Целью изобретения является повыше ние надежности в работе устройствапутем исключения залипания плоских 50деталей между планками, соединяющимиведущие и ведомые шкивы транспортирующих шнуров.Эта цель достигается тем, что устройство для транспортирования и пода 55 чи на рабочую позицию плоских дета.лей снабжено двухступенчатыми роликами, установленными на планках вФ месте размещения рабочей позиции свозможностью взаимодействия большейступенью с транспортирующими шнурами,а меньшей - с плоскими деталями.На фиг. 1 схематически изображенопредлагаемое устройство для транспортирования и подачи на рабочую позицию плоских деталей; на фиг. 2 - сечение А-А на фиг. 1; на фиг. 3 - сечение Б-Б на фиг. 1.УстройСтво для транспортированияи подачи на рабочую позицию плоскихдеталей содержит основание 1, рабочую позицию 2, ведомые 3 и ведущие 4ролики, попарно соединенные междусобой планками 5 и б, транспортирующие шнуры 7 и 8, расположенные вгоризонтальной плоскости перпендику-,лярно планкам, цилиндрические напран -ляющие 9 и 10, механизм раздвижениятранспортирующих шнуров в виде цилиндрических зубчатых реек 11 и 12(фиг. 2) и закрепленной на валуэлектродвигателя 13 шестерни 14,входящей в зацепление с цилиндрическими зубчатыми рейками, механизмом подъема и опускания транспортнышнуров в виде эксцентрика 15 с приводом 16, и привод транспортирующихшнуров, содержащий злектропривод 17,натяжные ролики 18 (фиг. 1), приводной ремень 19. Планка 5 посредствомкронштейна 20 (фиг. 2) жестко соединена с цилиндрической зубчатой рейкой 11. Планка 6 посредством кронштейна 21 жестко соединена с цилиндрической зубчатой рейкой 12. Эксцентрик 15 установлен с возможностью взаимодействия с ведомыми .роликами 3,На планках 5 и 6 симметрично рабочейпозиции 2 установлены двухступенчатыеролики 22 взаимодействующие большейступенью с транспортирующими шнурами7 и 8 (фиг. 3), а меньшей - с транспортируемыми деталями 23, причем таповерхность роликов, которой.они соприкасаются с обрабатываемыми деталями, покрыта материалом, которыйпрактически не смачивается фоторезистом, лаком .и другими подобными материалами. Конструктивно это покрытиевыполнено в виде кольца 24 из фторопласта,Устройство для транспортированияи подачи изделий на рабочую позициюработает следующим образом.В исходном положении эксцентрик 15обращен своим наибольшим радиусом, (относительно оси вращения) к ведомым роликам 3, при этом транспортирующие шнуры 7 и 8 располагаются выше плоскости рабочей позиции 2. В исходном положении расстояние между 5 внутренними ветвями транспортирующих шнуров несколько меньше соответствующего габаритного размера транспортируемого изделия. Иэделие, например полупроводниковая пластина или заго товка фотошаблона из кассеты (не показана), загружается на транспортирующие шнуры 7 и 8 и перемещается на них до совмещения с рабочей позицией 2, представляющей собой, напри мер, ротор центрифуги. При совмещении изделия с позицией обработки привод 17 отключают и включают привод 16. При этом эксцентрик 15 поворачивается вокруг своей оси на 180 , вследо ствие чего рейки 11 и 12 поворачиваются вокруг соответствующих осей направляющих 9 и 10, планки 5 и 6 с транспортирующими шнурами 7 и 8 опускаются ниже плоскости рабочей по зиции 2 и обрабатываемое изделие устанавливается на рабочую позицию. В этом положении включают электродвигатель 13. Шестерня 14, поворачиваясь вокруг своей оси, перемещает ЗО цилиндрические зубчатые рейки 11 и 12 по направляющим 9 и 10 во взаимно противоположных направлениях, При этом закрепленные на рейках 11 и 12 планки 5 и 6 вместе с ведомыми 3 и ведущими 4 роликами и транспортирующими шнурами 7 и 8 раздвигаются и транспортирующие шнуры 7 и 8 выходят из зоны обработки После этого рабочая позиция 2 накрывается специальным колпаком (не показан), под которым производится технологическая операция, например нанесение слоя фоторезиста на подложку или ее отмывка. По истечении определенного време ни колпак снимают и включают привод 13 Шестерня 14, поворачиваясь вокругсвоей оси, перемещает рейки 11 и 12 с закрепленными на них планками 5 и 6 и транспортирующими шнурами 7 и 8 на 50 встречу друг другу. При этом транспортирующие шнуры 7 и 8, сближаясь, оказываются под обрабатываемым изделием.Так как один из натяжных роликов18, кинематически связанный с приво 55 дом 17, не вращается (привод 17 отключен), то при сближении планок 5 и 6 вследствие изменения межцентрового расстояния между ведущими роликами 4 и натяжными роликами 18 ведущие ролики 4 начинают вращаться и сообщают вращательное движение посредством шнуров 7 и 8 двухступенчатым роликам 22, .В момент максимального сближения планок 5 и 6 включают привод 16 поворота эксцентрика 15, последний поворачивается на 80 , при этом транспоротирующие шнуры 7 и 8 поднимаются вверх и поднимают обрабатываемое изделие с рабочей позицииОдновременно включают привод 17, который через приводной ремень 19 приводит в движение транспортирующие шнуры 7 и 8. С этого момента времени вращательное движение двухступенчатым роликом 22 сообщается посредством транспортирующих шнуров 7 и 8. Вращающиеся двухступенчатые ролики 22 своими меньшими ступенями контактируют с обрабатываемой деталью 23 (фиг. 3).При этом обрабатываемое иэделие подается в приемную кассету, а очередное изделие из подающей кассеты поступает на транспортирующие шнуры (кассеты не показаны). Цикл повторяется. Так как в момент снятия с позиции обработки деталь 23 контактирует с вращающимися роликами, рабочие поверхности которых выполнены из фторопласта, то залипания детали не происходит несмотря на наличие на ее боковых поверхностях фоторезиста или лака, обладающих повышенной адгезией к контактирующим с ними предметам. Кроме того, двухступенчатые ролики 22, боковые поверхности которых выступают за пределы планок 5 и 6, дополнительно ориентируют образом, что при дальнейшем перемещении ее края не задевают планки 5 и 6.Таким образом, предлагаемое изобретение позволяет полностью исключить залипание обрабатываемых деталей между планками, вследствие чего повышается его надежность в работе, а за счет исключения простоев оборудования, возникающих вследствие устранения последствий залипания деталей между планками, возрастает его производительность.Составитель Б. Толчаноедактор Л, Гратилло Техред Т.Маточка ректор В. Синицкая Заказ 430 Подписи илиал ППП "Патент", г, Ужгород, ул. Проектная, 4 9/.18 Ти ВНИИПИ Государпо делам изо 13035, Москва,аж 843твенного комитета СССретений и открытий