Сканирующий интерферометр фабри-перо

ОПИСАНИЕИ 3 О БР ЕТЕН И ЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик 987408(И) М. Кп.з с присоединением заявки Мо(23) Приоритет -ь 01 3 3/26 Государственный комитет СССР но делам изобретений и открытий(54) СКАНИРУЮЩИЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР ФАБРИ-ПЕРО Изобретение относится к спектраль. ному приборостроению и может быть использовано в интерференционных приборах.Известны сканирующие интерферометры Фабри-Перо (ФП),в которых сканирование происходит эа счет изменения давления между пластинами ФП 11 2.В этих устройствах для точного оп.ределения расстояния между пластинами ФП используется достаточно сложная методика измерения фактического промежутка между пластинами ФП, которая не позволяет производить эти измерения при малых промежутках и в ИК-области спектра ввиду малого изменения показателя преломления рабочего газа и наличия в нем полос поглощения.Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности является сканирующий интерферометр Фабри-Перо, содержащий пластины с покрытиями на отражающих поверхностях и систему контроля 21.Недостатками известного интерферометра являются низкие точность регистрации и скорость сканирования. Он также не позволяет производить быструю и точную настройку на промежуток вблизи нулевой разности хода и произвести ее непрерывный точный отсчет. Поэто му невозможно создать сканирующий интерферометр ФП высокого качества, а именно многолучевой Фурье-титрометр.Целью изобретения является повышение точности регистрации и скорости сканирования..Эта цель достигается тем, что в о сканирующем интерферометре Фабри-Перо, содержащем клиновидные пластиныс покрытиями на отражающих поверхностях и систему контроля, одна из пластин выполнена с расположенным на задней поверхности участком, параллельным отражающей поверхности пластины, на котором установлены на оптическом контакте светоделительный улемент и плоскопараллельный столбик с наружным зеркальным покрытием на его торцовой грани, изготовленные иэ материала пластины, причем сторона пластины, противоположная месту установки светоделительного элемента, выполнена беэ покрытия на половине светового диаметра светоделительного элемента.На чертеже представлена схемасканирующего интерферометра ФП.Интерферометр содержит пластины ФП ЗО 1 и 2, систему 3 сканирования, свето 987408целительный кубик 4, плоскопараллельный столбик 5 с наружным зеркальным покрытием, (контрольные) источники б и 7,приемники радиации с усилителями и блоками 8 и 9 для выхода на ЭВМ и светоделитель 10, 5устройство работает следующим об- .)азом оСветовые, потоки (контрольных) источников б и 7, один из которых может иметь сплошной спектр, отражаются от 10 светоделителя 10, падают на светоделительный кубик 4 и делятся на два световых потока. Один из них проходит з светоделительный столбик 5, отражается в нем от торца и снова падает на светоделительный слой кубика. Второй поток проходит внутрь пластины ФП 1, частично отражается от наружного ее слоя и снова падает на светоделительный слой кубика 4. Другая часть 20 потока входит внутрь интерферометра ФП между пластинами ФП 1 и 2, Он отражается от пластины 2 и снова входит внутрь пластины 1 и далее соединяется на светоделительном кубике 4-ранее пришедшими световыми потоками. В результате образуются две интерференционные картины, одна из которых практически постоянна и откликается лишь на температурные изменения показателей преломления используемых деталей (1, 4, 5). Вторая интерференционная картина непрерывно следит за фактическим изменением разности хода в интерферометре ФП. При равенстве интерференционных кар- З 5 тин пластины ФП имеют промежуток, равный нулю. Для регистрации двухлучевых интерференционных картин служит приемный блок 8 с выходом на ЭВМ. Сигнал, поступающий на ЭВМ, дает 40 непрерывную информацию о том, насколько пластины ФП 1 и 2 раздвинуты при работе системы 3 сканирования. При работе рассматриваемой системы значительно повышается скорость и точ-. ность определения нулевой разности ,хода по фактической разности между двумя интерферограммами регистрируемыми блоками 8 и 9 одновременно. При использовании монохроматического кон трольного источника 7 разность хо; определяется непрерывно с помощью блока 8, так как нет порядков, присущих интерферометру ФП, В этом случае происходит косинусоидальная модуляция выходного потока, а не модуляция по закону Функции Эри.Предлагаемая система,.по сравнению с электрической емкостной системой контроля, может работать как при малой (нулевой) разности хода, так и при любом расстоянии между пластинами ФП. В результате, в предлагаемом устройстве имеются только положительные свойства двухлучевой. и много- лучевой. интерференции без недостатков, присущих каждому из методов в отдельности. Тем самымсоздается прибор принципиально нового типа,Формула изобретенияСканирующий интерферометр ФабриПеро, содержащий клиновидные пластины с покрытиями на отражающих поверхностях и систему контроля, о т л ич а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения точности регистрации и скорости сканирования, одна из пластин выполнена с расположенным на задней поверхности участком, параллельным отражающей поверхности пластины, на котором установлены на оптическом контакте светоделительный элемент и плоскопараллельный столбик с наружным зеркальным покрытием на его торцовой грани, изготовленные из материала пластины, причем сторона пластины, противоположная месту установки светоделительного элемента, выполнена без покрытия на половине светового диаметра светоделительного элемента.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Миберн, Д. Обнаружение и спектроМетрия слабых источников света.М.,.Составитель А.вкачаноРедактор Н.Лазаренко Техред О.Неце Корре Заказ 10280/26 Тираж 871 ВНИИПИ Государственного комитет по делам изобретений и открыти 113035, Москва, Ж, Раушская