Электромагнитное устройство для модуляции тока электронного пучка

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз СоветскихСоцналнстнческнхРеслублнк В.(22) Заявлено 120880 (21) 297 3783/18-21 51) М, КЛ. с поисоединением заявки Мо(23) Приоритет Н О 1 д 29/5 б Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытийОпубликовано 070882, Бюллетень М 9 29 Дата опубликования описания 070882 аявите(54) электРОИАГнитнОе устРОЙстВО для ТОКА ЭЛЕКТРОННОГО ПУЧКАЛЯЦИИ Изобретение относится к радиоэлек" тронике, а более конкретно к устройствам для модуляции величины тока электронного пучка в электроннолучевых устройствах, и может быть использовано в электроннолучевых трубках, электронных микроскопах, установках электроннолучевой литографии и размерной обработки материалов и других устройствах.Известны устройства, в которых модуляция тока электронного пучка осу ществляется путем йзменения потенциала управляющего электрода относительно катода 11.Недостаток таких устройств состоит в том,чтоони громоздки и сложны в эксплуатации, так как требуют гальванической развязки цепей постоянного напряжения на катоде и управляющем электроде и источника модулирующего сигнала. Указанные системы развязки обладают обычно недостаточной широкополосностью, в связи с чем ограничивают частотный диапазон модулирующего сигнала. Кроме того, изменение потенциала управляющего электрода приводит к изменению диаметра и положения кроссонера в электронно-оптической систем, в связи с чем происходит дефокусировка пучка вмодуляцииНаиболее близким к предлагаемомуявляется электромагнитное устройстводля модуляции тока электронного пучка, содержащее вырезывающую диафраг.му, управляющую обмотку и магнитопровод, выполненный в виде двух Шобразных сердечников с одинаковымизазорами между их обращенньваи другк другу полюсными наконечниками,расположенными в одной плоскости сосью электронно-оптической системы,причем управляющая обмотка размеще 15 на на средних наконечниках магнитопровода,В известном устройстве вырезывающая диафрагма размещена на путиэлектронного пучка между первым и2 О средним (считая от места входа пучка) магнитными зазорами сердечников(2).Недостаток известного устройствазаключается в низкой чувствительности(малой крутизне модуляции), т.е. втом, что из-за неоптимального расположения, вырезывающей диафрагвеа длямодуляции необходимы большие значе-ния модулирукщего сигнала.Цель изобретения - повьхаение чувЗО ствительности моделирующего устройства.Формула изобретения Указанная цель достигается тем,что в электромагнитном устройстведля модуляции тока пучка электроннолучевого прибора, содержащем вырезывающую диафрагму, управляющую обмотку и магнитопровод, выполненный ввиде двух сложенных Ш-образных сердечников с одинаковыми зазорами между обращенными друг к другу их,полюсными наконечниками, располо-.женными в одной плоскости с осью 10электронно-оптической системы, причем управляющая обмотка размещенана средних наконечниках магнитопровода, вырезывающая диафрагма расположена в середине среднего магнитного зазора.На фиг. 1 изображена конструктив"ная схема предлагаемого модулирующего устройства; на фиг. 2 показанход электронного пучка при его модуляции и расположение вырезывающейдиафрагмы относительно электронногопучка,Модулирующее устройство содержитмагнитопровод 1, состоящий из двухШ-образных сердечников 2 с тремя по"люсными наконечниками 3-5 в каждомсердечнике, сигнальную обмотку 6,размещенную на средних наконечниках 4сердечников 2, и диафрагмы 7, расположенной на пути электроиного пуч.ка 8 в середине средних сердечников4. Другие общеизвестные элементы ЭЛПздесь не приведены.Устройство работает следующимобразом.При подаче модулирующего сигналана сигнальную обмотку 6 в устройстве образуются магнитные потоки, причем каждый из потоков в крайних зазорах противоположен по направлению 40и равен половине магнитного потока всреднем зазоре. Вначалепучок 8 Отклоняется полем первого зазора (между наконечниками 3).на некоторыйугол, причем некоторая часть пучка, 45зависящая от величины линейного смещения пучка от оси системы, вырезается диафрагмой 7, В следующем зазоре (между наконечниками 4) оставшаяся часть пучка отклоняется к оси 50электронно-оптической системы (в противоположную сторону) на удвоенныйугол, так как поток в этом зазоревдвое больше. В последнем зазоре магнитное поле между наконечниками 5вновь направляют электронный пучоквдоль оси электронно-оптической системы. Так как наибольшее линейноеотклонение электронного пучка отоси системы достигается в среднем сечении среднего магнитного зазора,то расположение вырезывающей диафрагмы в этой плоскости (в серединесредних наконечников) обеспечиваетнаибольшую чувствительность модулирующего устройства,Среди выпускаемых промышленностьюустройств нет изделий, которые могутбыть приняты за базовый образец,вследствие чего сравнение может бытьпроведено только с прототипом, поотношению к которому чувствительностьпредлагаемого устройства выше в 2 раза. Поэтому предлагаемое устройствонайдет широкое применение в стробоскопической электронноймикроскопииимпульсной электроннолучевой литографии и других отраслях электроннолучевой техники,Электромагнитное устройство для модуляции тока электронного пучка электроннолучевого устройства, содержащее вырезывающую диафрагму, уп" равляющую обмстку и магнитопровод, выполненный в виде двух Ш-образных сердечников с одинаковыми зазорами между их обращенными друг к другу полюсными наконечниками, расположен. ными в одной плоскости с осью электронно-оптической системы, причем управляющая обмотка размещена на средних наконечниках магнитопровода, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью увеличения чувствительности модуляции, вырезывающая диафрагма расположена в середине среднего магнитного зазора. Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Милляр,В.А., Куракин Л.А. Приемные электроннолучевые трубки. М.,1 Энергия 11,. 1971, с. 46.2. Авторское свидетельство СССР9 333627, кл. Н 01 Ю 29/76, 1972949737 ВНИИПИ Заказ 5763 Тираа 761 Подписи Филиал ППП "Патент", г. Узгород, ул. Проектная,4