Шиберный затвор

(72) Авторы изобретения Научно-исследовательский и экспериментальный институт автомобильного электрооборудования и;автоприборов(71) Заявитель 54) УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ,Изобретение относится к области нанесения покрытий, в частности к устройствам для нанесения покрытий осаждением из газовой фазы.Известна .установка для нанесения покрытий, содержащая рабочую камеру, камеру загрузки изделий, поворотное транспортное устройство и корпус с промежуточной камерой для перемещения изделий, причем укаэанные камеры снабжены автономными системами откачки.Установка позволяет производить смену изделий в камере нанесения покрытий без ее разгерметизации 1.1 .Однако конструкция указанной установки не обеспечивает оптимальных условий при осаждении покрытий из газовой фазы. Отсутствие шлюзовых устройств внутри промежуточной камеры ведет к ухудшению качества покрытия, так как детали, охлаждаемые в промежуточной камере, могут соприкасаться с парами исходного соединения и продуктами их разложения.Наиболее близкой к изобретению является установка для нанесения покрытий из газовои фазы, содержащая камеру металлиэации с входным отверстием, загрузочно-разгрузочную камеру с поворотным транспортером и толкателем для перемещения изделий в каме". ру металлизации, систему откачки, соединенную с камерой металлизации и загрузочно-разгрузочной камерой 23Однако известная установка при 1 осаждении покрытий из газовой фазыне обесйечивает требуемого качества, поскольку изделия, транспортируемые в загрузочно-разгрузочную камеру,могут соприкасаться с парами исходного госоединения и продуктами их разложения.Целью, изобретения является повышение качества покрытий.Установка работает следующим,образом.Через люк 13 изделия 6 загружают в кассеты транспортера 2. Затем люк 13 закрывают и производят вакуумирование загрузочно-разгрузочной камеры 1. дуктов разложения. 3 9 М 5Поставленная, цель достигается тем,что установка, содержащая камеру металлизации, загрузочно-разгрузочнуюкамеру с поворотным транспортером итолкателем для перемещения изделий вкамеру металлизации, систему откачки,соединенную с камерой металлизациии разгрузочно-загрузочной камерой,снабжен заслонкой, установленной между камерой металлизации и загрузочно-разгрузочной камерой, и нагревателем, установленным на толкателе, торцовая часть которого выполнена в виде заглушки для перекрытия входногоотверстия камеры металлизации.Такое конструктивное выполнениеустановки обеспечивает повышение качества покрытий за счет того, что вмомент металлиэации заглушка на торцовой части толкателя разобщает камеру металлизации и загрузочно-разгрузочную камеры. Пары исходного химического соединения при этом непроникают из камеры металлизации взагрузочно-разгрузочную камеру и непопадают на иэделия, Кроме того,толкатель выполняет функции держателя изделий, что исключает необходимость иметь держатель изделия в камере металлизации, для чего он снабжен нагревателем. Возврат металлизированных изделий в загрузочно-разгру- .зочную камеру исключает необходимостьиметь бункер для готовой продукции,что выгодно отличает предложенноеустройство от известного.Кроме того, при опущенном толкателе камеру металлизации и разгрузочно-загрузочную камеру разобщает заслонка, что имеет место при выходе на46режим, смене деталей и т,п. При этомтакже исключается попадание паров исходного соединения и продуктов ихраспада на изделия,На чертеже показана принципиальная схема установки.Установка содержит загрузочнораэгрузочную камеру 1 с транспортером 2 и толкателем 3, торцовая частькоторого выполнена в виде заглушки4 с реэистивным нагревателем 5,пред- фназначенным для перемещения изделия6, шлюзовое устройство 7 с заслонкой 8, камеру 9 металлиэации, помещенную в промежуточную камеру 10,причем камера 9 металлизации снабженаиспаряющим устройством 11, Промежуточная камера 10 соединена с шлюзовым устройством 7, снабженным зас 2 4лонкой 8 и установленным на верхнейчасти камеры 1, внутри которой смонтирован поворотный транспортер 2,предназначенный для перемещения кассет с изделиями 6.Компановка установки выполнена таким образом, что испаряющее устройство11, входное, отверстие 12 камеры 9 металлиэации, шлюзовое устройство 7 итолкатель 3 с заглушкой 1 расположенысоосно и вертикально, причем заглушка 1 толкателя 3 в верхнем положенииперекрывает входное отверстие 12 камеры 9 металлизации, Камера 1 имеетлюк 13 для загрузки и выгрузки изделий,Одновременно при закрытой заслонке 8шлюзового устройства 7 вакуумируюткамеру 9 металлизации и производят еетермостатирование до требуемой температуры. Затем открывают заслонку 8шлюзового устройства 7 и поднимают вверх толкатель 3, освобождая путьдля перемещения заглушки 1. В крайнем верхнем положении заглушка 1 упирает-ся в нижний фланец камеры 9 металлизации, полностью перекрывая ее входное отверстие 12, при атом обрабатываемое изделие 6 оказывается в камере 9 металлизации в зоне индукционного нагрева, в камеру подают пары исходного металлоорганического соединения(МОС), которые равномерно обтекают нагретую поверхность изделия 6 и разлагаются на этой поверхности с образованием покрытия и летучих проЧерез заданный промежуток бремени прекращают выход паров иэ испаряющего устройства 11 в камеру 9 металлизации. Затем толкатель 3 с заглушкой 1 и размещенным на ней изделием 6 опускают в крайнее нижнее положение. При выходе заглушки 4 с изделием 6 заслонку 8 закрывают, При опускании толкателя 3 изделие 6 с покрытием выводится из зоны действия толкателя 3 и остывает в находящейся под вакуумом камере 1 при отсутствии паров МОС, а другое изделие без покрытия оказывается над толкателем,Источники информации,принятые во внимание при экспертизе 1. Патент США М 3915117,хл. 118-49 1975р 2. Патент США М 3856654,кл. 204-298, 1971формула изобретения Установка для нанесения покрытий из газовой фазй, еодержащая камеру металлизации с входным отверстием, загрузочно-разгрузочную камеру с посно ИИПИ Заказ 5212/13 Тираж 1, ул. Проектная, 4 илиал ППП "Патент", г. У 5 944752 6После этого цикл повторяется. воротным транспортером и толкателем По окончании обработки всех изде- для перемещения изделий в камеру мелий закрывают заслонку 8 шлюзового таллизации, систему откачки, соедиустройства 7, производят разгермети- ненную с камерой металлизации и загзацию загрузочно"разгрузочной камерыРузочно-разгрузочной камерой, о т, выгрузку обработанных . изделий 6 л и ч а ю щ а я с я тем, что, с цен загрузку новых изделий. лью повышения качества покрытий, онаИспользование изобретения позволя- снабжена заслонкой установленной ет повысить качество покрытий и бе- между камерой металлизации и загрузочзопасность процесса, исключив кон- . 1 е но-разгрузочной камерой, и нагреватетакт персонала с исходными химически.- лем, установленным на толкателе, торми соединениями, и газообразными про- цовая часть которого выполнена в виде дуктами их разложения. заглушки для перекрытия входного отверстия камеры металлизации.