Установка для сварки давлением

и 910382 Союз Советски кСоциапистическииреспубпик ОП ИСАИ ИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТ%ЛЬСТВУ(51)М. Кд. В 23 К 2016 Ьвударстюиый комитет СССР ио делам иэабретеиий и вткрытий) УСТАНОВКА ДЛЯ СВАРКИ ДАВЛЕНИЕМ передачи да тали, состо и верхнего Недостат невозможнос сварки крем ческом поле Целью из чение возмо стеклом в э нап яжения..Изобретение относится к сварке давлением, в частности к оборудованию для ее выполнения.Известна установка для сварки давлением., содержащая вакуумную камеру с крышкой для загрузки и выгрузки деталей, имеющую возможность вертикального перемещения, и столом для свариваемых деталей, нагреватель,систему передачи давления на свариваемые детали состоящую из привода давления и двух штоков 13.НедОстатком установки является невозможность получения качественного соединения кремния со стеклом при температуре 400 С.Наиболее близкой к изобретению по технической сущности и достигаемо му эффекту является установка для сварки давлением, содержащая вакуумную камеру с крышкой для загрузки и выгрузки деталей, тепловыми экранами и столом для свариваемых деталей, электрический нагреватель, систему ления на свариваемые дв. щую из привода давления и нижнего штоков Г 21, ом установки является ь ее использования для ия со стеклом в злектри" высокого напряжения.бретения является обеспежности сварки кремния со ектрическом поле высокого РПоставленная цель достигаетсяблагодаря тому, что установка для сварки давлением, содержащая вакуумную камеру с крышкой для загрузки и выгрузки деталей, тепловыми экранами и столом для свариваемых деталей, .электрический нагреватель, систему передачи давления на свариваемые детали, состоящую иэ привода давления и верхнего и нижнего штоков, снабжена изолятором и токоведущими шинами, причем кр а камеры выполнена иэ изоляцион о материала, изолятор9103 Формула изобретения Эвведен в дно камеры, верхнии штокзакреплен в крышке, нижний штокустановлен в изоляторе с возможностьюперемещения вдоль его продольнойоси, а токоведущие шины подключенык штокам.Для обеспечения равномерного нагревасвариваемых деталей в столе длядеталей выполнено центральное коническое отверстие, а на конце нижнегоштока - соответствующий ему конический выступ, а для удобства проведениязагрузочно-разгрузочных работ столдля свариваемых деталей жестко соединен с крышкой.На чертеже показана схема устройства.Установка для сварки давлениемсодержит вакуумную камеру 1,с крышкой 2 для загрузки и выгрузки деталей о3 из кремния и стекла, тепловыми эк-.ранами 4.и столом 5 для свариваемыхдеталей 3, электрический нагреватель6, систему передачи давления на.свариваемых деталей 3, состоящую из привода давления, выполненного в видепружины 7 и верхнего 8 и нижнего9 штоков, Установка снабжена такжеизолятором 10, введенным в дно камеры 1, и токоведущими шинами 11, Верхний шток 8 закреплен в крышке 2,нижний шток 9 установлен в изоляторе1 О с возможностью перемещения вдольего продольной .оси а токоведущиешины 11 подключены к штокам 8 и 9винтами 12. В столе 5 для деталей 335выполнено центральное коническоеотверстие .13, а на конце нижнего штока 9 - соответствующий ему коническийвыступ 14, Стол 5 .для свариваемых деоталей 3 жестко соединен с крышкой2 при помощи консоли 15, опирающейсяна изолирующую втулку 16. Верхняяпружина 7, установленная на верхнемштоке 8, со стороны крышки 2 опирается в муфту 17 с винтом 18, а с проти 45воположной стороны - на пуансон 19,Введение изолятора с тковедущейшиной и выполнение крышки из диэлектрического материала позволяет обеспечить возможность сварки кремния состеклом в электрическом поле высокогонапряжения, и снизить температуру общего подогрева деталей до 400 ф,Выполнение в столе конического от верстия, а в нижнем штоке соответствующего ему конического выступа позволяет осуществить центровку свари 82 4ваемых деталей относительно нагревателя.Жесткое соединение стола для свариваемых деталей с крышкой позволяетосуществить загрузку и разгрузкусвариваемых деталей вне камеры,Работа установки заключается вследующем.Крышку 2 с деталями 3, установленными на столе 5,.вставляют в камеруи. герметизируют ее. Затем черезтрубопроводы 20 или 21 создают в камере установки необходимую атмосферу(вакуум, нейтральную или слабоокислительную атмосферу), включают электродвигатель 6, По достижении необходимой температуры (350-450 С) на детали3 через токоведущие шины 11 подаютвысокое напряжение (1,0-3,0 кВ) отисточника постоянного тока, По истечении определенного времени выдержки(5-40 мин) подачу напряжения прекращают, а также отключают электронагреватель 6. Детали остывают в камгре1 до температуры 100-150 С, а затемих извлекают,Установка позволяет получить качественные соединения кремния состеклом при изготовлении полупроводниковых приборов в электрическомполе высокого напряжения при температуре 350-450 ОС. 1,. Установка для сварки давлением, содержащая вакуумную камеру с крышкой для загрузки и выгрузки деталей, с тепловыми экранами и столом для сва риваемых деталей, электрический наг" реватель, систему передачи давления на свариваемые детали, состоящую из привода давления и верхнего и нижнего штоков, о т л и ч а ю щ а я с я тем, что, с целью обеспечения возможности, сварки кремния со стеклом в электрическом поле высокого напряжения, она снабжена изолятором и токоведущими шинами, причем крышка камеры выполнена из изоляционного материала, изолятор введен в дно камеры верхний шток закреплен в крышке, а нижний шток установлен в изоляторе с возможностью перемещения вдоль его продольной оси, а токоведущие шины подключены к штокам.2, Установка по и, 1, о т л и ч а ю щ а я с я тем, что, с целью5 910382б обеспечения равномерного нагрева сваИсточники информации,ч риваемых деталеи, в столе для дета- принятые во внимание при экспертизе лей выполнено центральное коническое отверстие, а на конце нижнего штока "1, Конюшков Г. В., Копылов Ю.Н. соответствующий ему конический выступ.д ф 3. Установка по и. 1Диффузионная сварка в электронике",Установка по и. 1, о т л и - М., "Энергия", 1974, с. 141-143 ч а ю щ а я с я тем, что, с целью удобства проведения загрузочно-разгру. Казаков Н.ф. "ДифФузионная сварзочных работ, стол для свариваемых ка в вакууме". М., нМашиностроениеф, деталей жестко соединен с крышкой. 10 1968, с. 116-118 (прототип).аказ 979/13 Тираж151 Подписнлиал ППП "Патент", г,Ужгород, ул.Проектная,4