Вакуумная установка

ОП ИСАКИЙ ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскмкСоцмалистмческмкреспублик ц 901356(51)М. Кд. С 23 С 13/О с нрисоелмнением заявки,тв1 Вкуллрстюе каетвт СИР ао аелам азебретвввВ н етвумтай(54) ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано для загрузки и выгрузки изделий в вакуумных установках со шлюзовыми системами и устройствами нанесения покрытий.Известна вакуумная установка, содержащая шлюзовую камеру и корпус с размещенными в нем подложкодержателями, закрепленными на карусели с воэможностью герметизации в шлюзовой камере 1В установке ненадежная система откачки шлюзовой камеры относительно карусели с подложкодержателями.Наиболее близкой к предлагаемой по технической сущности является вакуумная установка, содержащая корпус с размещенными в нем цилиндрическими подложкодержателями, эакрепленныьет на карусели, фланец, расположенный между одним из цилиндрических подложкодержателей и основанием корпуса и кинематически соединенный 2со штоком возвратно-поступательногоперемещения и, откачной патрубок 121 .Недостатком этого устройства является обязательное наличие в шлюзовой камере или в системе его отф качки клапана, имензцего отдельный,например, электромагнитный привод, на который необходимо подавать управляющий сигнал (команду) после герметизации шлюза для откачки и сниматьэтот сигнал перед разгерметизациейшлюза для загрузки-выгрузки изделий. Это снижает надежность работы тбустановки, так как в случае отсутствия управляющего сигнала или выхода иэ строя привода клапана давление в шлюзовой камере не будет понижено до необходимого уровня и присоединении с корпусом резко повыситдавление в нем, что приведет к браку при обработке изделий.Цель изобретения - повышение надежности рабаты установки.1 20 23 ЭО Яф Я Ю 55 Указанная цель достигается тем,что вакуумная установка, содержащая корпус с размещенными в нем цилиндрическими подложкодержателями,закрепленными на карусели, фланец,расположенный между одним из цилиндрических подложкодержателей и основанием корпуса и кинематически сое.днненный со штоком возвратно-поступательного перемещения, и откачнойпатрубок, снабжена сильфоном и пруяинами, размещенными коаксиальнофланцу, выполненному У-образнойФормы, закрепленными на откачномпатрубке и фланце, н двумя параллельными клапанами, жестко закрепленными на штоке, один из которыхрасположен в лолости фланца, а дру.гой - в полости откачного патрубка,причем в основаниях фланца и корпуса выполнены отверстия, соосные осиштока.В установке управление откачнойшлюзовой камеры осуществляется двумя параллельными клапанами, жесткозакрепленными на штоке, При этом отпадает необходимость в отдельномприводе клапанов, что повьппает надежность работы установки.На Фиг. 1 изображена установкапри загрузке-выгрузке изделий; наФиг. 2 - то же, после. окончаниязагрузки изделий,Установка содержит корпус 1 скрышкой 2, на которой размещенакрышка 3 шлюза. На карусели 4, расположенной в корпусе 1, установленына пружинах 5 цилиндрические подложкодержатели 6, которые могут герметизировать шлюз при помощи Фланца 717-образной формы и прокладок 8и 9. На днище корпуса 1 герметичнозакреплен откачной натрубок 10, Воткачном патрубке 1 О посредствомсильфона 11 установлен фланец 7.Для подъема Фланца 7 в откачном патрубке 1 О смонтированы пружины 12.Через центральные отверстия фланца7 и откачного патрубка 10 проходитшток 13 привода, на котором закреппены два параллельных клапана14 и 15. Установка работает следующим образом.Для загрузки-выгрузки изделий шток 13 перемещается вверх и Фланец 7 под действием пружин 2 поднимает цилиндрический подложкодержатель 6 и герметизирует при помощи прокладок 8 и 9 отверстие в крышке 2, при этом в верхнем крайнем положении штока 13 клапан 15 перекрывает отверстие в откачном патрубке 10 и прекращает откачку, шлюза, Затеи напус" кается воздух и крышка 3 шлюза откры. вается. После загрузки-выгрузки изделий крышка 3 шлюза закрывается и подается сигнал (команда) на опускание штока 13, при этом скорость перемещения штока 13 и скорость откачки шлюза выбираются так, чтобы при перекрытии клапаном. 14 отверстия во Фланце 7 давление снизилось до уровня, при котором возможно шлюзование. Продолжая движение, шток 13 через клапан 14 перемещает фланец 7 в крайнее нижнее положение, а цилиндрический подложкодержатель 6 под действием пружин 5 устанавливается на карусель 4, которая поворачивается и устанавливает под отверстием в крышке 2 цилиндрический подложкодержатель 6 с изделием, прошедшим обработку. Затем цикл шлюзования повторяется.Надежность работы предлагаемого устройства выше, так как в его конструкции отсутствует отдельный привод клапана, коммутирующего систему откачки шлюза, а следовательно, и количество сигналов команц в системе управления меньше. формула изобретенияВакуумная установка, содержащаякорпус с размещенными в нем цилиндрическими подложкодержателями,закрепленными на карусели, фланец,расположенный между одним из цилиндрических подложкодержателей и основанием корпуса и кинематическисоединенный со штоком возвратно-поступательного перемещения, и откачной патрубок, о т л и ч а ю щ а я "с я тем, что, с целью повьппения надежности работы установки, она снабжена снльфоиом и пружинами, размещенными коаксиально фланцу, выполненному 1 -образной Формя, закрепленными на откачном патрубке и фланце, и двумя параллельными клапанами, жестко закрепленными на штоке,один иэ которых расположен в. полостифланца, а другой в полости откачного патрубка, причем в основаниях флан.-,.г. ГС 1 ,й; 19;7 1 пъозгнп 1,ираж 1 О Заказ 12309/ одписное Проектная ал ППП "Патент", г, Ужгород ца и корпуса выполнены отвеостия, соосиые оси штока,Источники информации, принятые во внимание при экспев 1 зе3 2 Т- -"1 ,:" "7Ъ Ф Х 1гл3 Т;".;, / 1 еУ