Способ изготовления масок для нанесения на подложку
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВМДЕТЕЛЬСТВУ оц 901355 Соеэ СоаетснинСоцнаннстнчеснннреспублик(И)М. Кл. С 23 С 13/06 РВуларсжввй квинтет СССР аф делен нмбрвтвннВ н етнрнтнй(54) СНОСОВ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КАСОК ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ НА ПОДЛОЖКУИзобретение относится к способам производства радиоаппаратуры, в частности масок для изготовления печатных схем иэлектронных деталей.Известен способ изготовления масок для нанесения на подложку, например вакуумным испарением, рисунка электронных элементов и печатных проводников, включающий выполнение методами фотолитографии рисунка иэ Фоторезиста на металлической основе маски 111 .Однако известный способ изготовления масок не позволяет получить. сложный рисунок тонкопленочных элементов за один цикл нанесения, так как необходимо применять последова" тельно несколько масок.Цель изобретения - получение слоаного рисунка за один цикл нанесения.Укаэанная цель достигается тем, что е способе изготовления масок для нанесения на подложку, например вакуумным испарением, рисунка электронных элементов и печатных проводников, включающем выпоннение методами Фотолитографии рисунка из Фоторезиста на металлической основемаски, рисунок из фоторезиста выл полнявт на металлической основе маски в виде сетки, на рисунок из фоторезиста и на пробельные местасетки наносят маскирующее защитноепокрытие, стойкое к травильным растворам, после чего удалением Фотореэиста с нанесенным на него маскиРующим защитным покрытием получают рисунок маски. На чертеже схематически изобраае" ио осуществление предлагаемого способа.На подложку 1, изготовленную из фенольной смолы, для улучшения сцепления нанесенного, например вакуумным испарением, рисунка структурного слоя 2 наносится сцепляющее вещество 3.901355 Плотно прилегающая к сцепляющему веществу 3 маска 4 состоит из металлической основы в виде сетки 5 . на стали, настолько тонкой, чтобы не было теней рисунка из фоторезиста 6 и нанесенного испарением защитного .слоя 7 из хрома, который предохраняет фоторезист 6 от нагрузок во время процессов испарения и восстановления. Предназначенный для испарения материала, например медь, при испарении в виде струи через маску 4 поступает на подложку . 15 Изменение направления испаряемых или напыляемых частиц материала, возникающее при столкновении их друг с другом или молекулами газа, влечет за собой проникновение испаряемого материала на сетку 5, за счет чего образуется замкнутый структурный слой 2.1 20 9/27 Тираж 1048 Подписно В Зака Патент", г.ужгород,ул.Проектная,Филиал При изготовлении тонкопленочных интегральных схем применяется сетка с шириной ячейки 60-100 мк и толщиной проволоки 30-50 мк,Чем меньше проволока сетки, тем точнее могут быть выполнены структуры. Формула изобретенияСпособ изготовления масок для нанесения на подложку, например вакуумным испарением, рисунка электронных элементов и печатных проводников, включающий выполнение методами фотолитографии рисунка из фоторезиста на металлической основе маски, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью получения сложного рисунка за один цикл нанесения, рисунок из фоторезиста выполняют на металлической основе маски в виде сетки, на рисунок из фоторезиста и на пробельные места сетки наносят маскирующее защитное покрытие, после чего удалением фоторезиста с нанесенным на него маскирующим защитным покрытием получают рисунок маски.Источники информации, принятые во внимание при экспертизе1. Труды института инженеров по электронике и радиоэлектронике.1966, У 3, с. 23-26.
СмотретьЗаявка
1845753, 01.11.1972
ФЕБ ХОХВАКУУМ ДРЕЗДЕН
ХЕЛЬМУТ БОЛЛИНГЕР, ХАНС-ДИТЕР КОРНЕЛИУС, ДЕТЛЕФ ЭЛЬБЕ, ВЕРНЕР ФЛЯЙШЕР, ЭЛИМАР ГЕРИНГ, ЛОТАР НАУМАН, КЛАУС ПЕТЦОЛЬД, ВОЛЬФГАНГ ШВЕНКЕ
МПК / Метки
МПК: C23C 13/06
Метки: масок, нанесения, подложку
Опубликовано: 30.01.1982
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-901355-sposob-izgotovleniya-masok-dlya-naneseniya-na-podlozhku.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления масок для нанесения на подложку</a>
Способ нанесения печатного рисунка на изделия из термореактивных смол
Номер патента: 200147
Опубликовано: 01.01.1967
МПК: B29C 43/18, B29C 43/20
Метки: изделия, нанесения, печатного, рисунка, смол, термореактивных
...оборудовании при обыч ных режимах горячего прессования, применяемых для данного изделия. Переносят рисунок с подложки под воздействием повышенной температуры и давления, непосредственно в процессе поликонденсации смолы.10 П р едм ет изобретени Способ нанесенияделия из термореакт 5 комании, отличающивышеия адгезии к верхности изделия, деколи и закреплент изделии осуществля 0 иия изделия путем г Известны способы декорирования пластмассовых изделийнапример облицовка бумагой или тканью, на которые заранее нанесен печатный рисунок, нанесение лакокрасочного рисунка по трафарету, получение рельефных изображений с граверного рисунка, находящегося в прессформе. Для декорирования пригодны лишь ровные плоскости, технологический цикл...
Раствор для нанесения подсмазочного покрытия на металлическую поверхность
Номер патента: 1807086
Опубликовано: 07.04.1993
Авторы: Балагланова, Бейлинова, Долженков, Коваленко, Крутикова, Острик, Рудомино, Сигалов, Яковлева
МПК: C23C 22/07
Метки: металлическую, нанесения, поверхность, подсмазочного, покрытия, раствор
...залечивают поры в латунном (медноцин- ми экранирующими свойствами.ковом) покрытии, 45 При соотношении, например, 1:0,69Структурные формулы солей на приме- резко ухудшаются экранирующие свойстваре цинкового комплекса; медного покрытия. При этом ухудшаютсяусловия волочения, растет обрывность проЦ 0 1 0 волоки,0 ц- - Р 50 Пример конкретного выполнения. 8Н - 0 И,г 0 идентичных условиях отраслевой лаборатосР-СН -й рии защиты металлов от коррозии и порош,0ковой металлургии был проведенСН - Р .сопоставительный анализ предлагаемого1155 подсмазочного покрытия и покрытия-прото 0 типа,Натриевые соли нитрилотриметилен- Испытывали проволоку из стали 70 диа-фосфонатов меди и цинка синтезированы метром 1,0 мм, покрытую латунью (послеИнститутом...
Способ нанесения рельефного рисунка на поверхность органического стекла
Номер патента: 109451
Опубликовано: 01.01.1957
МПК: B29C 59/04
Метки: нанесения, органического, поверхность, рельефного, рисунка, стекла
...поверхности оргстекла с помощью специально обогреваемого валика с нанесенным иа него рельефным рисунком,На чертеже представлен общий вид обогреваемого валика.На раме 1 с рукояткой 2 вращается металлический с рельефным рисунком валик 3, внутри которого вмонтирован нагревательный элемент, состоящий из электроспирали 4 и изоляции из фарфоровых бус 5. Перед нанесением рисунка лист оргстекла протирается с помощьюБРЕТЕНИЯДЕТЕЛЬСТВУ мягкой ткани ся на метал. женкой листоПлавным д 500 в 6 ва оргстекла выж нанесении р новения рель костью стекл нс бо,чее 55 -от пыли и закрепической плите,вым асбестом.ижением нагреточика по поверхигается рисуноксунка угол сопрфа валика с поа должен состав Способ нанесения рельефного рисунка на поверхность...
Способ нанесения краски, рисунка, печатии других изображений на поверхность изделияиз полиолефина
Номер патента: 434091
Опубликовано: 30.06.1974
Авторы: Белорусский, Бочаров
МПК: C08J 3/20
Метки: других, изделияиз, изображений, краски, нанесения, печатиi, поверхность, полиолефина, рисунка
...вулкапизованная резина, но лучше использовать сырую.Штамп из резины готовят известными приемами, например вырезанием или вырубкой соответствующей формы и размеров, и контактируют с поверхностью окрашиваемого изделия от 30 сек до 30 мин при нагревании.Контактирующую поверхность резины или одновременно резины и полиолефина нагревают до температуры не выше температуры плавления кристаллической фазы полиолефина, например до 80 - 100 С.Интенсивность окрашивания зависит от содержания красителя в резине, температуры нагревания контактирующих поверхностей и времени контактирования.П р и м е р. Резиновую смесь состава, вес. ч,:Каучук марки СКМС АРКМ(бутадиенметакрилатстирольный) 100Стеарин 2 Цинковые белила 5434091 Составитель Г. Маркова Текред...
Ручная машинка для нанесения многоцветного рисунка
Номер патента: 184884
Опубликовано: 01.01.1966
Автор: Поль
Метки: машинка, многоцветного, нанесения, рисунка, ручная
...рисунка. Совокупность нескольких таких штампов создает единый рисунок, нана симый на изделие. По направляющим пере. мещается кожух б, связанный со штангами посредством захватывающего рычага б, В кожухе смонтирован распределительный б рабанчик 7 с профилированными зубьями взаимодеиствующими пр 1 рычагов 9 со штангами.При движении кожуха вниз по направляющим захватывающий рычаг поворачивает барабанчик на 90, При этом каждый зуб барабанчика нажимает на соответствующую штангу, которая опускается вместе с прикрепленным к ней штампом. Выдвинутый штамп набирает растертую на палитре краску требуемого цвета. При движении для набора краски каждого последующего штампа предыдущий возвращается в исходное положение пружиной 10.После того как все...
Предыдущий патент: Способ газового азотирования деталей из инструментальных сталей
Следующий патент: Вакуумная установка
Случайный патент: Способ изготовления рулонного многослойного кинофотоматериала