Способ защиты высоковакуумных систем и устройство для его осуществления

(45) Дата опубликования описания 07.11.81(51) М Кл,зГ 04 Г 9/06 Восудерстеенный комнтот ао лелем изобретеннй н открытей(72) Автор изобретения Г, Х. Чеджемов Кемеровский государс яви(54) СПОСОБ ЗАЩИТЫ ВЫСОКОВАКУУМНЫ СИСТЕМ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯтцого спо. систем це 1Изобретение относится к области вакуумной техники, а именно к технике получения высокого вакуума при помощи диффузионных насосов.Известен способ зашиты высоковакуум. цых систем от паров рабочей жидкости насосов. включающий разделение потоков откачиваемого газа и паров, охлаждение последних и их конденсацию.Устройства, реализуюшие этот способ, содержат корпус с впускным и выпускным патрубками и установленный в корпусе резервуар для хладагента с расположенным в нем сосудом, причем впускной патрубок герметично введен внутрь сосуда через его дно и образует с внутренней поверхностью сосуда кольцевой зазоо, а выпускной расположен тангенциально и герметично сое. динен с цилиндрической поверхностью сосуда в зоне присоединения к нему впускного патрубка Ц.Защитное действие устройства основано ца том, что молекулы пара рабочей жидкости насоса, сталкиваясь с охлаждаемой поверхность,о устройства, охлаждаются и конденсируются на ней, а молекулы газа проходят через устровство без конденсации.Однако при реализации извессоба защиты высоковакуумных 4ф;г Гщ х эу 1 аранный университет -"МО 1т. достаточное замедление потока паров приводит к снижению эффективности защиты.В то же время поток газов, проходящийчерез устройство, не ускоряется, что сни 5 жает пропускную способность ловушки.Целью изобретения является повышение эффективности защиты высоковакуумных систем от паров рабочей жидкостинасосов,10 Указанная цель достигается тем, чтопоток паров замедляют одновременно с ихохлаждением, а поток газов ускоряют перед разделением потоков.Для этого в устройстве внутри впускно 15 го патрубка с зазором относительно последнего расположена гильза со сферическим отражателем, присоединенная с тепловым контактом к входному торцу впускного патрубка, а ца последнем установлен2 О нагреватель, расположенный вце корпуса,кроме того внутри выпускного патрубкапараллельно его оси установлен ряд тонкостенных перегородок, а на внутреннейповерхности сосуда в зоне расположения25 впускного патрубка и перпендикулярнок его оси закреплен ряд тонкостенныхшайб. На фиг. 1 изображено предлагаемое устройство разрез; на фиг. 2 - то же, разрез по оси выпускного патрубка.3Устройство для защиты высоковакуумных систем содержит корпус 1 с впускным и выпускным патрубками 2 и 3 и установленный в корпусе 1 резервуар 4 для хлад- агента с расположенным в нем сосудом 5, причем впускной патрубок 2 герметично введен внутрь сосуда 5 через его дно и образует с внутренней поверхностью сосуда 5 кольцевой зазор, а выпускной патрубок 3 расположен тангенциально и герметично соединен с цилиндрической поверхностью сосуда 5 в зоне присоединения к нему впускного патрубка 2, Внутри впускного патрубка 2 с зазором относительно последнего расположена гильза 6 со сфсическим отражателем 7, присоединенная с тепло. вым контактом к входному торцу впускного патрубка 2, а на последнем установлен нагреватель 8, расположенный вие корпуса 1, Внутри выпускного патрубка 3 параллельно его оси установлен ряд тонкостенных перегородок 9, а на внутренней поверхности сосуда 5 в зоне расположения впускного патрубка 2 и перпендикулярно к его оси закреплен ряд тонкостенных шайб 10,Устройство для защиты высоковакуумных систем работает следующим образом,Молекулы откачиваемого газа по гильзе 6 поступают на отражатель 7, составляющий единое целое с гильзой 6 и имеющий температуру окружающей среды или более высокую температуру прои включенном нагревателе. 8, Отразившись от него, молекулы газа поступают в выпускной патруоок 3 и откачиваются насосом,Молекулы паров рабочей жидкости диффузионного насоса попадают в выпускной патрубок 3. В этом патрубке, разделенном тонкостенными перегородками 9 на ряд каналов, молекулам пара задается однонаправленное движение. Поток паров тангенциально поступает в кольцевой зазор между внутренней поверхностью сосуда 5 и впускным патрубком 2. Тонкостенные шайбы 10 препятствуют движению молекул пара вдоль оси сосуда и замедляют движение последних, что позволяет обеспечить более полную их конденсацию.Предлагаемый способ защиты высоко- вакуумных систем от паров рабочей жид 4кости насосов и устройство для защиты высоковакуумных систем позволяют практически полностью конденсировать пары рабочей жидкости насосов и исключить их 5 попадание в вакуумируемый объем, приэтом скорость откачки газов из объема в 1,5 - 2 раза увеличивается,Формула изобретения101. Способ защиты высоковакуумных систем от паров рабочей жидкости насосов, включающий разделение потоков откачиваемого газа и паров, охлаждение послед них и нх конденсацию, отл и ч а ющи йсятем, что с целью повышения эффективности защиты, поток паров замедляют одновременно с их охлаждением, а поток газов ускоряют перед разделением потоков.20 2. Устройство для защиты высоковакуумных систем, содержащее корпус с впускным и выпускным патрубками и установленный в корпусе резервуар для хладагента с расположенным в нем сосудом, причем 25 впускной патрубок герметично введенвнутрь сосуда через его дно и образует с внутренней поверхностью сосуда кольцевой зазор, а выпускной расположен тангенци ально и герметйчно соединен с цилиндри ческой поверхностью сосуда в зоне присоединения к нему впускного патрубка, о т л ич а ю щ е е с я тем, что внутри впускного патрубка с зазором относительно последнего располокена гильза со сферическим от ражателем, присоединенная с тепловымконтактом к входному торцу впускного патрубка, а на последнем установлен нагреватель, расположенный вне корпуса.3. Устройство по п. 2, отличаюшее с я тем, что внутри выпускного патрубкапараллельно его оси установлен ряд тонкостенных перегородок, а на внутренней поверхности сосуда в зоне расположения впускного патрубка и перпендикулярно к 45 его оси закреплен ряд тонкостенных шайб.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе 1. Авторское свидетельство СССР 50 по заявке М 247658425-06, кл. Р 04 Г 9/06,1977.гс Составитель Н. ЮшинТехред А. Камышникова Корректор Т, Добровольская Редактор М. Кузне каз 7139 дпис полиграфиздата Мособлисполкогиа горская типографи Изд.558 НИИПИ Государстве по делаги изобрет 3035, Москва, Ж, Тиоа 19ного комитета СССРний и открытийРаушская наб., д, 45