Солнечная печь для получения пленочных материалов

Союз Советск юкСоциалистическиеРеспублик ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВйдЕТВЛЬСТВУ866344(23) Приоритет -Опубликовано 23.09,81Бюллетень М З 5Дата опубликования описания 25,09.81 ва делам изобретений н открытий(72) А вторы изобретения га :д Ордена Трудового Красного Знамени инс тут проблем материаловедения АН Ук инской ССР "(54) СОЛНЕЧНАЯ ПЕЧЬ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ПЛЕНОЧН МАТЕРИАЛОВастности к солнечным печ ения пленочных материало нике,ля пол грев компонен- а уменьшаетает чисв свою оченство полу 16 зобретение относится к гелиотехИзвестна солнечная печь для получения пленочных материалов, содержащая концентратор, выполненный в виде параболоида и осесимметричнорасположенного относительно негоусеченного сфероида, и два приемника излучения в виде подложки и испарителя с внутренней полостью, причем подложка размещена в околофокальной зоне отраженных сфероидом лучейи установлена с возможностью геремешения вдоль оптической оси,В этой солнечной печи сфокусиро.ванные параболоидом лучи нагреваютзаднюю стенку испарителя, вызывая,соответственно испарение компонентов пленочного материала, а лучи,сфокусированные сфероидом, нагреваютподложку, улучшая качество получаемого пленочного материала. Причемеперемещая подложку вдоль оптическои оси, можно регулировать темпера.туру ее нагрева, проводить предварительную очистку и активацию поверхности и регулировать величину прогрева растущего слоя и скорость остывания нанесенного слоя 111. Однако косвенный натов пленочного материалскорость испарения и сниж тоту компонентов, что,редь, влияет на совершечаемых пленок.Качество пленок особенно ухудшается для сложных стехиометрических составов, в которые входят компоненты с различными температурами испаренияеКроме того, в такой оптической схеме, нагрев поверхности подложки неравномерен, что также существенно влияет на однородность и структуру получаемого пленочного материала.Цель изобретения - повышение качества получаемых пленочных материалов.Поставленная цель достигается тем,что печь снабжена контротражателем,выполненным в виде усеченного гиперболоида и установленным осесимметрич.но концентратору в околофокальнойзоне сфероида с воэможностью перемещения вдоль оптической оси, а внут Оренняя полость испарителя выполненаоткрытой со стороны параболоида иее стенки имеют ступенчатую форму.На чертеже представлена оптическая печь для получения пленочных материалов.Печь содержит концентратор, выполненный в виде параболоида 1 и осесимметрично расположенного относительнонего усеченного сфероида 2 и два приемника излучения в виде подложки 3 ииспарителя 4 с внутренней полостью5, причем подложка 3 размещена воколофокальной зоне отраженных сфероидом 2 лучей и установлена с возможностью перемещения вдоль оптичес 23кой оси 6,Печь снабжена контротражателем,выполненным в виде усеченного гиперболоида 7 и установленным осесимметрично концентратору в околофокальной зоне сфероида 2 с возможностьюперемещения вдоль оптической оси 6,а внутренняя полость 5 испарителя 4выполнена открытой со стороны параболоида 1 и ее стенки имеют ступенчатук 35Форму,Солнечная печь работает следующимобразом.Сфокусированные параболоидом 1солнечные лучи падают непосредственно в полость 5 на компоненты пленочного материала и испаряют их, причем компоненты расположены на ступенчатых стенках полости 5 в соответствии с их температурой испарения. 4Нагрев подложки 3 происходит лучами, сфокусированными сфероидом 2 и, затем отраженными на нее, гиперболоидом .Введение контротражателя, выполненного в виде гиперболоида 7, позволило разместить подложку 3 междупараболоидом 1 и обращенным к немуоткрытой полостью 5 испарителем 4,что обеспечило непосредственное воздействие солнечных лучей на поверхность испаряемых компонентов, расположенных в полости 5 на ее ступенчатых стенках вдоль оптической оси 6.Это позволило повысить скорость испарения, чистоту компонентов и установило испарение каждого компонентапри характерной для него температуре.Кроме того, оптическая схема нагре.ва подложки 3, содержащая сфероид2 и гиперболоид 7, улучшает равномерность прогрева,Это, в свою очередь, повышаеткачество получаемых пленочных материалов.Формула изобретенияСолнечная печь для получения пленочных материалов, содержащая концентратор, выполненный в виде параболоида и осесимметрично расположенного относительно него усеченного сфероида, и два приемника излучения в виде подложки и испарителя с внутренней полостью, причем подложка размещена в околофокальной зоне отраженных сфероидом лучей и установлена с возможностью перемещения вдоль оптической оси, о т л и ч а ю щ а яс я тем, что, с целью повышения качества получаемых материалов, печь снабжена контротражателем, выполненным в виде усеченного гиперболоида и установленным осесимметрично концентратору в околофокальной зоне сфероида с возможностью перемещения вдоль оптической оси, а внутренняя полость испарителя выполнена открытой со стороны параболоида и ее стенки имеют ступенчатую форму.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Авторское свидетельство СССРпо заявке В 283178124-06,кл. Г 23 1 3/02, 23,10.79.П. ШендероАч Составитор Техред 8049/60 Тирак 82 ПодлыНИИПИ Государственного кпо делам изобретений и13035 Москва ЖРауас д 4лиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проект Редактор А. ШаЗаказВ1 7оиитета СССРоткрытийкая наб. ич директор Г. Назарова сиое