Способ изготовления электродов электровакуумных приборов

( 54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫ ЭЛЕКТРОЦ ПРИБОРОВ Иэоб к электронной особу нэготоввкуумных при- вольфрамовым тение относится частности к сп родов злектров имер ламелей с получаемым осолее ие щинодовиэгот технике, в ения элеоров, напрокрытиемазовой фаИзвес т ением эспособ вления электием, согласно т избирательно те, размеры оу покрытия изготопокрыте наносятрафареют контур одов с локальны оторомуереэ отворых соот покрыти рстия в Однако при изготовлении электродов с большой толщиной покрытия, например с толщяной более 0,2 мм, происходит срастание покрытю на электродах и трафарете, вследствие чего невозможно удаление последнего беэ повреждения покрытия. Поскольку электроды, применяемые в электронной технике, изготавливают с точностью не ниже пятого класса, а ширина поврежденной эоны,.йо контуру покрытия близка к его твйщине, этим способом невозможно изготовить электроды с торцевым покрыт м тол й б 0,04 от толщины электроИзвестен также способ овления электродов электровакуумных приборов, имеющих форму пластины и состоящих из матрицы с покрытием на одной из торцевых поверхностей, включающий операции сборки электродов с промежуточнымипластинами в пакет, нанесения покрытия на пакет, формообразования и последующую операцию разборки пакета.Электроды соединяют в пакет так, что онн выступают над торцевыми поверхностями промежуточных пластин, а незащищенные пластинами поверхности электродов покрывают слоем всюьфрама. Согласно этому способу при демонтаже электродов производят отсоединение последних от промежуточных пластин с разрывом покрытия, нанесенного на боковые поверхности электродов, а покрытие на торцевых поверхностях не повреждаетсяНедостатком этого способа является высокая трудоемкость, вызванная необ ходимостью шлифовальной обработки покрытия на боковых поверхностях электродов с целью удаления последнего.Цель изобретения - снижение трудоемкости пои изготовлении электропов с толшиной покрытия 0,05-1 от их толщины путем исключения обработки боковых поверхностей электродов.Эта цель достигается тем, что при изготовлении электродов, имеющих форму пластины и состоящих изМатрицы с покрытием на одной из торцевых поверхностей, способом, включающим операции сборки матриц с промежуточными пластинами в пакет, нанесения покрытия на пакет, формоббразования и последующую операцию разборки пакета, промежуточные пластины собирают в пакет так, что они выступают над поверхностью матрицы на высоту, превышающую толщину покрытия и не более,чем в 4 раза - толщину электрода. При изготовлении электродов с вольфрамовым покрытием, получаемым осаждением из газовой фазы, про. межуточные пластины должны выступать над поверхностью матрицы на высоту 1,1- 1,3 от толщины вольфрамового покрытия.Сущность способа поясняется чертежом.Согласно предлагаемому способу мат- рицы 1 и промежуточные пластины 2 собирают в пакет так, что последние выступают из него на высоту, превышающую толщину покрытия. На пакет одним из способов наносят покрытие 3 осаждением из газовой фазы или электролита, пульверизацией и,др, Затем пакет подвергают электроэрозионной или шлифовальной.обработке по плоскости 4 и разбирают накет, на отдельные электр роды 5. Промежуточные пластины 2 вы.полняют из материала, на котором покрытие 3 имеет слабую ддгезию, вследствие чего при разборке пакета электроды 5 отделяют от пластины без повреждения покрытия. Получают электроды, имеющие слой покрытия заданной ширины, равной толщине электродов, и, таким образом, исключают необходимость дополнительной обработки их боковых поверхностей.Скрытным путем было установлено, что высота, на которую промежуточные пластины выступают из пакета при его сборке; ив должна превышать 4-х толшин электрода, а толщина получаемого покрытия должна быть не более толщины электрода. При превышении этих величин происходит срастание покрытия у противоположных торцов выступающих пластин при не 9достаточной толщине покрытия на поверхности матриц,При изготовлении электродовнапримерламелей с вольфрамовым покрытием, дос"таточно, чтобы высота выстуцаюших час, тей промежуточных пластин составляла1,1-1,3 от толщины покрытия. Это позволяет снизить трудоемкость при шлифовальной обработке пакета,При величийе высоты меньше 1.,1толщины покрытия возможно образованиенеобработаннйх участков поверхности,вследствие шероховатости поверхности.Высоту выше 1,3 толщины покрытия использовать нецелесообразно из-ва резкого повышения трудоемкости при механической обработке пакета.Получают электроды с покрытием толщиной 0,05-1 от их толщины, нанесенным на плоскую или другой формы поверхность матрицы.П р и м е р, 20 медных матриц ламелей, имеющих размер 2 х 20 х 40 мм и поперечное сечение, как показано на чертеже; собирали в пакет с промежуточными пластинами, выполненными из хромированной меди с размерами 2 х 21 х 40 ммпричем промежуточные пластины выс -тупали над поверхностью матриц на высоту 1,5 мм, Собранный пакет устанавливали в камеру осаждения вольфрама, где закрепляли его между упорными винтами.Смесь водорода и гексафторида вольфрама при концентрации последнего 10% (объемных) пропускали в направлении, указанном стрелкой. При температуре 510 С производили осаждение на пакет вольфрамового слоя толщиной 0,8 мм, после чего извлекали пакет из камеры и производили его шлифовальную обработку и разборку. В результате получали ламели с вольфрамовым покрытием толщиной 1,2, измеренной по их боковой поверхности, с адгезионной прочностью покрытия 160- 180 Нlмм .Преимуществом предлагаемого способаявляется снижение трудоемкости изготовления в 6-8 раз по сравнению с известным за счет исключения шлифовальнойобработки боковых поверхностейФормула изобретении1. Опособ изготовления электродов электровакуумных приборов, имеюшнх форму пластины и состоящих из матрицы с покрытием на одной из торцевых поверхностей, включающий операции сборки мат.Тираж Подписное ВНИИПИ Госуда митета СССР по делам и открытий 113035, Москва ушская наб., д, 4/57260/87 ППП Патент"г. Ужгород, ул. Проектная риц с промежуточными пластинами в пакет, формообразования и последующую операцию рюборки пакета, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью снижения трудоемкости при изготовлении электродов с толщиной покрытия 0,05-1 от их толщины путем исключения обработки боковых поверхностей электродов, промежуточные пластины собирают в пакет так, что они выступают над поверхностью матрицы на высоту превышающую толщину покрытия и не более, чем в 4 раза толщину электрода.2. Способ по п. 1, о т л и ч а ющ и й с я тем, что йри изготовлении электродов с вольфрамовым покрытием, получаемым осаждением из газовой фазы,58139 бпромежуточные пластины выступают надповерхностью матрицы на высоту 1,11,3 от толщины вольфрамового покрытия.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Володин Ю. А. и др. Антиэмиссионные свойства пленок пластины и иридия наоксидном катоде. - Вопросы радиоэлектроники". Серия 1. Электроника, 1965,16 Ж 5, с. 196. 2. Турнер А. Х, и др. Защита резона- торных систем ЭВП вольфрамом, осажденным из газовой фазы, - Электронная техника". Серия 10. "Технология и организация производства, 1971, %7, с. 50(прототип).