Плазменный течеискатель

ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Сфветскнх Сфцналнстнческнк Уеееублнк(51)М. Кл.з6 01 М 3/40 Н 01,3 9/42 с присоединением заявки й 9 Государственный комитет СССР ао делам изобретений я открытий(54) ПЛАЗМЕННЫЙ ТЕЧЕИСКАТЕЛЬ Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к приборам для обнаружения вакуумных течей, и предназначено для контроля герметичности электровакуумных приборов (ЭВП) малых размеров.Известен течеискатель, принцип действия которого основан на измене, нии скорости рекомбинации плазмы газового разряда в зависимости от концентрации молекул электроотрицательного газа 11.Известен также плазменный течеискатель, содержащий натекатель и газораэрядную трубку, соединенные с откачной системой, высокочастотный генератор, подключенный к системе электродов, расположенных на оболочке газоразрядной трубки. В газоразрядной трубке данного прибора с помощьв откачной системы, откачивакцей поотудаощий из натекателя воздух, поддерживается давление на уровне нескольких торр, что создает условия для возникновения газового разряда при подаче на электроды высокочастотного напряжения 2.Жраэование газоразрядной плазмы вызывает изменение параметров межэлектродного зазора, приводящее к срыву высокочастотной генерации ипогасанию разряда. Возобновление генерации становится возможным после распада плазмы в результате рекомбинацииносителей заряда. Процесс возобновле-.ния и срыва высокочастотной генерацииносит периодический характер. Частотапроцесса фиксируется регистрирующимприбором. Попадание в зону разрядаэлектроотрицательного газа, которымпредварительно заполняют контролируемый вакуумный прибор, приводит к увеличению скорости рекомбинации плазмы и, следовательно, к увеличению 15 частоты указанного процесса. Данныйтечеискатель предназначен для поискаместонахождения стационарных течейи не позволяет ввиду трудоемкостипроцесса быстро удостовериться в 20 герметичности прибора в целом. Крометого, чувствительность такого течеискателя невелика, так как в зонуразряда попадает только часть молекулэлектроотрицательного гаэа, поступающих из контролируемого прибора в атмосферу.Цель изобретения - повышение чувствительности течеискателя и контрольинтегральной герметичности электровакуумных приборов, исключение вли 830171яния емкости электровакуумного прибора на емкость межэлектродного зазора.Поставленная цель достигается тем, что в плазменном течеискателе, содержащем натекатель и газоразряд 1 ную трубку, соединенные с откачной системой, высокочастотный генератор, подключенный к системе электродов, расположенных на оболочке газораз-" .рядной трубки, между .натекателем и гаэоразрядной трубкой расположена герметичная полость, предназначенная для размацения электровакуумного прибора.Кроме того, с целью исключения влияния емкости электровакуумного прибора на .емкость межэлектродного зазора в плазменном течеискателе расстояние между герметичной полостью и электродами превышает удвоенный зазор между электродами.На чертеже представлена схема течеискателя.Течеискатель содержит натекатель, 1, газораэрядную трубку 2, высоночастотный генератор 3, регистрирующий прибор 4 н откачную систему 5. На стенках газоразрядной трубки, выполненной из стекла, размещены электроды б. Между натекателем и газоразрядной трубкой Расположена герметичная полость 7, .предназначенная для установки ЭВП 8. Расстояние между герметичной полостью и электродами газораэрядной трубки превышает удвоенный зазор "аф между электродами.Перед Началом испытаний ЭВП на герметичность течеискатель калибруют по чистому воздуху, Затем ЭВП 8, заполненный контролМым газом, размещают в полости 7,производят откачку внутренних объемов течеискателя и подают высокочастотное напряжение на электроды б.В случае негерметичности ЭВП практически все молекулы электроотрицательного газа, выделившиеся из объема ЭВП, поступают в зону разряда, что приводит к увеличению скорости рекомбинации плазмы и повышению частоты периодического процесса срыва и возобновления высокочастотной генерации. Изменение сигнала, Фиксируемого рагистрирующим прибором, по сравнению с калиброванным сигналом свидетельствует о негерметичности ЭВП.Применение данного течеискателяпозволяет повысить чувствительность контроля герметичности ЭВП малых раз меров 11;- 2;10"л мкм.рт.ст./с,значительно увеличить надежность контроля и существенно сократить время испытаний.5Формула изобретения1Плазменный течеискатель, содержащий натекатель и газоразряднующ трубку, соединенные с откачной системой, высокочастотный генератор,подключенный к системе электродов,расположенных на оболочке газоразрядной трубки, о т л и ч а ю щ и ис я тем, что, с целью повышениячувствительности течеискателя и контроля интегральной герметичности электровакуумных приборов, между натекателем и газоразрядной трубкой расположена герметичная полость, предназначенная для размещения электровакуумного прибора,2. Течеискатель по и1, о т л ич а ю щ и й с я тем, что, с цельюИсключения влияния емкости электровакуумного прибора на емкость межэлектродного зазора, расстояние между герметичной полостью и электродами превышает удвоенный зазор междуэлектродами.40 Источники инФормации,принятые во внимание прн экспертизе1; Патент Швейцарии Р 558936,кл. О 01 И 3/40, О 01 й 27/62опублик. 1975.2. Авторское свидетельство СССРпо заявке М 264693/25-28,кл. 6 01 й 27/62, 1972 (прототип).830171 оставитель В. Ми ехред А.Бабинец ков орректор М. Демч Заказ 3632/ Тираж 907 П ВНИИПИ Государственного комитетапо делам изобретениИ и открыт 13035, Москва, Ж, Раушская наб дписноеСССР П фПатент или едактор М, Келемеш ужгород, ул. Проектная, 4