Способ изготовления микросеток

Союз Советских Социалист ически а Республик(61) Дополнительное к авт. санд-ву(22) Заявлено 26. 12. 78 (21) 2703217/18-25с присоединением заявки Ио -(51)М. Кл.З Н 01 У 37/26 Государстаеииый комитет СССР ио аелам изобретений и открытий(088. 8),Опубликовано 23,02,81, Бюллетень ЙЯ 7 Дата опубликования описания 23, 02. 81 Е. М. Верещагин, Н. А. Власенко, В. . ГуринаМ И Л(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МИКРОСЕТОК Изобретение относится к электрон ной микроскопии и может быть использовано в приборостроительной промьааленности.Известны способы изготовления микросеток, которые содержат операции приготовления раствора коллодия в амилацетате, охлаждения дистиллированной воды или раствора коллодия, получения мельчайших капель воды, получения пленки с утоньшениями, получения сквозных отверстий в пленке, напыления угля на пленку и контроля качества получаемых пленок 11.Однако указанные способы требуют длительного времени (от 1 до 3 суток) для получения раствора коллодия с мельчайшими каплями воды, взвешенными в этом растворе, требуют изготовления специальных шайб .для снятия пленки, наличия дополнительно-. го оборудования (форнасоса) для откачки пленок, дают низкий процент выхода пригодных для использования пленок, так как отсутствует контроль за степенью влажности пленки перед операцией получения сквозных отверстий в пленке. Пересыхание пленки происходит очень быстро, так как капли воды, вкрапленные в нее, имеюточень маленькие размеры и высыханиепленки не контролируется, В результате пленка получается сплошной, без5 отверстий.Наиболее близким по техническойсущности к предлагаемому являетсяспособ изготовления микросеток путем приготовления коллодиевой пленки,10 расположения ее на опорной сетке ипрожигания отверстий. Этот способвключает следующие операции: приготовление раствора коллодия в амилацетате, охлаждение дистиллированной15 воды, нагрев дистиллированной воды,получение коллодиевой пленки на поверхности воды, осаждение частиц воды на пленку, нанесение опорной сетки, удаление излишка пленки, извле 20 чение сетки с пленкой, прожиганиеотверстий в пленке, напылениеугля Г 2,Однако способ дает также малыйпроцент выхода пригодных для исполь 25 зования пленок, так как пленки получаются многослойными, кроме того,при получении сквозных отверстий впленке способом прожигания ее в пламени спиртовки или над электричес 30 кой плиткой пленки сгорают полностью.Если же пленка получается со сквозными отверстиями, то нет возможности воспроизвести точно режим прожигания, так как нет никаких устройств, контролирующих процесс прожигания отверстий в пленке.Цель изобретения - уменьшение технологического брака, увеличение производительности труда, обеспечение контроля и возможности воспроизведения технологического процесса. 30Укаэанная цель достигается тем, что в способе изготовления микро- сеток путем приготовления коллодиевой пленки, расположения ее на опорной сетке и прожигания отверстий пригатавливают раствор коллодия в амила цетате концентрацией (0,5-1,0 вес.Ъ), наносят каплю этого раствора на поверхность охлажденной до 2-5 оС воды, на полученную при этом охлажденную до 2-5 С коллодиевую пленку на правляют среду, содержащую водяной пар, после чего приготовленную таким путем коллодиевую пленку наносят на опорную сетку и вместе с опорной сеткой помещают в печь, в кото рой выдерживают ее в течение 15 - 20 секунд при температуре 225 - 230 С.Предлагаемый способ выполняют следующим образом.Приготавливают раствор коллодия в амилацетате, концейтрацией 0,75 вес.%. Длительность приготовления раствора коллодия по известному способу составляет 1 - 3 суток потому, что в нем необходимо насыщение коллодия водой. В предлагаемом способе раствор коллодия водой не насыщается, и его приготовление занимает всего 30 . - 40 мин. За счет этого возрастает производительность труда. Концентрация раствора 40 коллодия 0,75 вес. определяется тем, что при более низкой концентрации (0,5 вес,Ъ и ниже) пленка полючается тонкой, из-за чего она разрушается при обработке паром, и при 45 концентрации раствора коллодия 1 вес.Ъ пленка получается толстой, многослойной, утоньшения в ней от капель воды плохо прогорают.Наливают в кристаллизатор ди стиллированную воду и охлаждают ее до температуры +2 - +5 С. Температура охлаждения выбрана потому, .чу,при о С на поверхности появляются кристаллы льда, которые затрудняют получение пленки на поверхности воды.При температуре воды. вышео+5 С ухудшаются условия конденсации водяного пара на поверхности пленки.На поверхность охлажденной дистиллированной воды наносят каплю раствора коллодия, который, растекаясь по поверхности воды, образует пленку, приобретающую температуру воды+2 ф- +5 С. 65 На образовавшуюся коллодиевуюпленку направляют среду, содержащуюводяной пар, который, конденсируясь,образует на пленке мельчайшие капливоды, после чего наносят опорнуюсетку, излишки пленки обрезают,поконтуру опорной сетки.Коллодиевую пленку на опорнойсетке помещают в печь и выдерживают при температуре 225 - 230 оС втечение 15 - 20 секунд. При этом теместа на пленке, где находились кап,ли воды, т.е. те места, где пленкаполучилась, тоньше, прогорают, и впленке образуются сквозные отверстия. Те места коллодиевой пленки,на которые не попали капли воды,не изменяют своей толщины, что обеспечивает сохранность пленки во время прожигания, т.е. она эа вре.)мя 15 - 20 секунд не успевает прогореть в местах утолщения. Следовательно, коллодиевая пленка послепрожигания в,печи превращается вмикросетку.,Температура и время выдержинанияйленки в печи выбраны потому, чтопри более высокой температуре время прожигания уменьшается до нескольких секунд, поэтому контролировать окончайие процесса прожиганияочень трудно. Если время выдержкипленки меньше, то не все отверстияуспевают прогореть, если же больше,:-о сгорает и пленка.Если выбрать более низкую температуру, Те необходимо намногоувеличить время прожигания, в результате чего одновременно с прогоранием отверстий происходит общеевысыхание пленки и она трескается.Поэтому указанные время и температура прожигания являются оптимальными для данного метода получениямикросетки.Таким образом, данное изобретениеоткрывает возможность контролировать и повторять условия образованиясквозных отверстий в пленке, чтоуменьшает количество бракованныхпленок, время приготовления раствораколлодия и увеличивает производительность труда.формула изобретенияСпособ,изготовления микросеток путем приготовления коллодиевой пленки, расположения ее на опорной сетке и прожигания отверстий, о т - л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью уменьшения технологического брака, увеличения производительности труда, обеспечения контроля и возможности воспроизведения технологического процесса, приготавливают раствор коллодия в амилацетате концентрацией (0,5 - 1,0) вес. Ф , на807405 Составитель А. ЛатайРедактор Н. Лазаренко Техред М.Рейвес Корректор О. Билак Заказ 303/80 Тираж 795 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5филиал ППП "Патентф, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 носят каплю этого раствора на поверх. ность охлажденной до 2 О С воды,на полученную при этом охлажденнуюдо 2 О С коллодиевую пленку направ,ляют среду, содержащую водяной пар,после чего приготовленную таким путем коллодиевую пленку наносят наопорную сетку и вместе с опорнойсеткой помещают в печь, в которойвыдерживают ее в течение 15 - 20 секунд при температуре 225 - 230 ОС. Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Техника электронной микроскопии, Под ред. Кая Д. М., фМир", 1965, с. 82. 2. Грицаенко Г. С. и др. Методы электронной микроскопии минералов. М., "Наукаф, 19 б 9, с. 20 - 22 (прототип) .