Электростатический электронный микроскоп

Номер патента: 79645

Автор: Фетисов

ZIP архив

Текст

М. 7645 Класс 21 о, 35 СССР В, Фетисов ОННЫЙ МИКРОСКО евраля 194(1 года в Ко)Ит(т К иаопретеи 5 г) и от(р(т 5 х(ри Совете Мииистров СССР а .6 311734 5 и).(но 12 Л ЕКТРОСТАТИ Ч ЕСКИ Й ЭЛ Няс 051 пРм изобретением предла гастся электростатический электронный микроскоп, имеющий одно вакуумное соединение. Оптика микроскопа монтирует(.я на металлическом тубусс и точно центрируется при помощи оптических методов. Тубус смещен в колонне; это позвол 5)(1 Подвести питяние Внут 1)и ко ,Онь и пол"П 1 ть И 1)сдельны 1 Вакуум во всем сс обьсме.1 СтОстеТкох Суп(ествъОцих элек" тронных микроскопов 5 вляется необходимость многих вводов высокоо пяпр 51 жения и с 1)явнитсльно низкий предельный вакуум с истемы. Последнее 00 ь 51 спяет(я П 1)с)кдс всего с)ольшим сопро)ивтепием колонны с ес сложными внутренним профилем, то юдтверждено просчстом этих систем. Кроме того, имеет значспис большое количество вакуумных вводов.Г)тличи гсльной собеппостью предлагаемого микроскопа является эксцентричное расположение тубуса с электронной оптикой в колонне, возволгпощее получить предельный вакуум во всем объеме колонны и ОСУЩССТ 1)ИЬ ООПИИ ПОДВОД НЯП)51- )ксппя внутри колонны.Описываемый микроскоп изобряжсп пя при.пи ясмом чертеже.Злсктроны, выделяемые накаленпыъ КятОдох 1, форми 1)чютс 51 В пучок и уск 01)5 ютс 5 Ири помощи уп р я вля к) щего электрода 2 и анод- но 11;гия(Ь)Ягмы .). Перед обьекто)л 10 установлена осветительная диафря ма 4, вырезаюп 1 яя тонкий пу 0 К эс(1) ОНОВ, КОтОР ы 11 и Я- дясг чя объект, частично рас(СгИВЯСТС 5 Б ПЕЛ П, фИКСИ 1)751 СЬ Л ИП- замп ), 6 и 7, дает изображение па экря)с 8 или фотопластинкс. Все электронно-,1 учевые элементы установлсн и На мет;пличсском тубу-9. При работе прибора необходимо регулировать только положение нпгп катода винтом 1 и перемсИЯть 00 ьект 10 через,пок 11) дг 1 я В 1 б 01)(1 и жнОГО " 1 с(ткя ряссмО- рспия.Тубус устанавливается эксцентрично в мста,пический кожух 11, представляощий собой корпус микро;копя. Зазор между тубусом и корпусом может быть легко доведен до ссчсния, у;говлетворяющсговыбранной скорости откачки насг)- са. Экснснтрц шое располо)кение тубуса позволяет получить необходим)с ест) д,151 )Зыси 1 сни 51 11 ро. водов Высокого наи)яжеиия к осВстительно) систе)с и а,)скор)дам лшгз 1), Такм )бр 1:)м, Все провод) Высокого и и 1) 5 жспи я ) асполас 01 с 51 В 5 мтри ъ)ст)1,Г)иеског) КИИ ВВОД 51 ТСИ и ОЛ 110 М МССТС. ,1 НКР)СКОИ, И)М)С 5 ОЛИН ВВОД ЫСОКО- г О 1а и р 51 ж си 51, ъ1) ж с т б) 1 1 т ь с м о нтиров;и иа стенде простейшего типа (н и)ример, стол 1, при зтол 1 ввод В ыс О и10 и 11) 5 же и н я 1 ) з О ж н р)сио, Ожиь пол с голом7 черезфоОкацср), 11Предмет изобретения Элект)ост)тически)п злсктронныи микроскоп, о тл и ч и к) щ и й с я тем, ЧТО С ИЛЬ 10 ИОЛУЧС)И 51 1)СДСЛЬНОГО вакуъма ВО Всем Объе)мс кол 01 ны н осуществления подвода папряже ия внутри колонны, тубус с электронной оптикой смещен относительно Оси колонны, олагода)я )с - му откачка колонны может ироизВод)ться ири одном Вакуумно)м Вво"е

Смотреть

Заявка

391734, 12.02.1949

Фетисов Д. В

МПК / Метки

МПК: H01J 37/12, H01J 37/26

Метки: микроскоп, электронный, электростатический

Опубликовано: 01.01.1949

Код ссылки

<a href="https://patents.su/3-79645-ehlektrostaticheskijj-ehlektronnyjj-mikroskop.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Электростатический электронный микроскоп</a>

Похожие патенты