Способ изготовления стеклометаллических планшайб

Союз Советских Социалистических Республик(Я)М. Кл. Н 01 Х 9/20 с присоединением заявки МР Государственный омнтет СССР но хееввм нзобретеннй н отвмтнй(54) СПОСОБ ИЗЮТОВЛЕНИЯ СТЕКЛОМЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛАНШАЙБ Изобретение относится к технологии изготовления фотоэлектронных и электронно-оптических приборов.Известен, способ изготовления ме талловолоконных планшайб, снабженных изолированными объемными проводящими сетками, заключающийся в нанесении проводящей оболочки на остеклованный микропровод, разрезкеего10 на отрезки заданной длинй, сборке отрезков в пучок, спекании пучка в блок с последующей разрезкой блока на планшайбы,полировке и шлифовке торцов планшайб. Такой способ не мо жет обеспечить получение качественных стеклометаллических планшайб, так как практически трудно добиться идентичности геометрических и электрических параметров всех элемейтов структуры.Известен также другой способ из готовления стеклометаллических план- шайб с изолированными объемными проводящими сетками, включающий спека" 25 ние отдельных элементов в блок, разрезание его на планшайбы, шлифовку и полировку торцов планшайб, формирование углублений для сеток на торцах травлением и заполнение их прово-ЗО дящим материалом. НедостаткоМ этогьспособа является малая механическая прочность планшайб и сложностьтехнологии. Целью изобретения является увеличение механической прочности и упрощение технологии.указанная цель достигается тем, что спекание отдельных элементов проводят из бинарных капилляров с наружной оболочкой из стекла, обладаю" щего меньшей химической стойкостью, чем стекло внутреннего капилляра, перед разрезанием заполняют каналы капилляров проводящим материалом, а формирование углублений проводят травлением наружной оболочки капиллярсв с обеих сторон планшайбы.Ширина углублений определяется толщиной химически нестойкой составляющей наружной оболочки капилляров и одинакова по всему углублению.Варьируя временем травления углублений для сеток с разных сторон план- шайбы, можно получать сетки неодинаковой высоты.На фиг, 1 изображен общий вид структуры стеклометаллической планшайбы, йа фиг. 2 - разрез А-А нафиг. 1.Планшайба .содержит стеклянные элементы 1, центральные электроды 2 элементов, проводящий материал 3 сетки,Изменение последовательности технологических операций изготовлениястеклометаллической основы позволя.ет изготовить планшайбы с высокой механической прочностЬю.Если в известных способах сначалаформируется каждый элемент планшайбы,.а затем они соединяются в блокэлементов, то в предлагаемом способе сначала создается прочная стеклянная основа - блок стеклоэлементов, а затем формируются централь.ные и сеточные электроды.Способ дает возможность варьирования геометрическими размерамисеток (по высоте и толщине проводящего материала), что позволяет регулировать параметры электрическойсхемы элементов на разных торцахпланшайбы.Сетки в планшайбах, полученныхтаким способом, являются объемнымис обоих торцов. Кроме того, приме-нение бинарного капилляра с оболочкой из химически нестойкого стекла обеспечивает сохранностьгеометрии элементов планшайбы на операциях формирования сеток,Примером осуществления способаявляется изготовление в лабораторныхусловиях стеклометаллических планшайб, используемых в качестве осно. -вы для мишени видикона.Исходными материалами для получения бинарных капилляров являлисьтрубка из стекла С 87-2 диаметром20 мм при толщине стенки 6-6,5 мм,трубка для наружного слоя из растворимого стекла СН 78-1 диаметром25 мм при толщине стенкй 1,5-2,0 мм.Бинарные капилляры предварительнорассортированные по номинальнымзначениям с точностью, например,1(2-5)Ъ собирали в пучок с плотнойгексогональной упаковкой шестигранной формы. Затем известным методомпучок геретягивали в мультикапилляр,в которсм "все капилляры сплавляютсядругс другом, образуя монолитнуюматрицуиз стекла, пронизанную регулярно расположенными микроканалами,с сохранением шестигранной формыпоперечного сечения, ио уменьшеннуюв 20-50 раз.Мультикапилляры нарезали на отрезки длиной 50-100 мм, рассортировывали о длине с точностью до0,005 мй и собирали в пучки приплотной упаковке в виде правильнойшестигранной формы.Собранные пучки помещались в стекляниую ампулу и спекались в единыйблокоткачке из ампулы воздухаи"нагреве до температуры 530 фС с последующей выдержкой при этой температуре в течение 0,5-1,0 ч (в зависимости от размеров поперечного сече"ния пучка).Микроканалы блока заполнялись расплавленным металлом (сплав оловомедь, Тпд =480 С) при температуре500 ОС под давлением 5 атм.Далее спеченный блок с заполненными металлом каналами разрезалсяна планшайбы толщиной 2,0-4,0 мм,которые затем шлифовались и полировались.Полированные пластины подвергалисьтравлению в 1-нормальном раствореНСР,в течение 2-6 ч для получения уг лублений на обоих торцах глубинойдо 0,3-0,5 мм.Полученные углубления заполнялисьпроводящим материалом (сплавом: германия с алюминием, Т=42 ООС) при тем- Я пературе 450 дС под давлением10-15 атм (в зависимости от шириныуглублений 6-4 мкм).Предложенный .способ позволяетизготовить механическипрочнуюстеклометаллическую планшайбу, сосхоящую иэ регулярно расположенныхэлементов, снабженную двумя объемными проводящими сетками, геометрические размеры которых можно изменятьи тем самым варьировать параметрамиэлектрической схемы элементов.Способ обеспечивает возможностьполучения планшайб с размерами элементов до 30 мкм, Благодаря этомупредлагаемый способ найдет широкоеприменение при производстве различных приборов, требукщих высокой разрешающей способности. Например, прииспользовании стеклометаллическихпланшайб с двумя сетками в качест ве основы для мишени видикона егоконтрастная чувствительность повышается в 10-12 раз, а также появляется возможность в качестве фотослояприменять низкоомные материалы.45 За счет повышения технических параметров и технологичности изготовления планшайб увеличивается про"цент выхода годных изделий.50Формула изобретенияСпособ изготовления стеклометаллических планшайб с изолированными объемными проводящими сетками, включающий спекание отдельных элементов в блок, разрезание его на планшайбы, шлифовку и полировку торцов план- шайб, формирование углублений для сеток на торцах травлением и заполнение 6 рих проводящим материалом, о т л ич ающи"й с я тем, что, с целью увеличения Механической прочности и упрощения технологии, спекание отдельных элементов проводят из бид нарных капилляров с наружной оболоч. 767860 кой иэ стекла, обладающего меньшейхимической стойкостью, чем стекловнутреннего капилляра, перед разрезанием заполняют каналй капилляров проводящим материалом, а формированиеуглублений проводят травлением наружной оболочки капилляров .с обеихсторон планшайбы ФСоставитель В.БелОконьедактор Н,Коляда Техред Н, Граб Корректо ска Тираж 844твенного комитбретений и отк Ж, Раушска Зака ал ППП "Патентф, г. Ужгород, ул. Проектйая,213/49ВНИИПИ Госудапо делам и113035, Москв ПодписиСССРийаб., д, 4/