Многозондовое устройство

ГОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ пщ 73 620 Савв Оеаатеких Сею идиотических Реснублик(45) Дата опубликования описания 30.04.8 51) М, Кл.-Н 05 К 1/ Государственный комитет СССР(72) Авторы изобретения убцов, А. И, Степан Болдырев, М М. Резник, В, и В, В. Сити Всесоюзного ого институт(71) Заявитель ензенскии филиал технологичес(54) МНОГОЗО Е УСТРОИСТВ Изобретение относится к области радиотехники и может быть использовано в установках для контроля и подгонки электрических параметров элементов микросхем.Известна зондовая головка, состоящая из прозрачного диэлектрического корпуса, металлических зондов, имеющих форму пирамиды или конуса, жестко скрепленных с металлическими полосами, нанесенными на плоскую поверхность корпуса, которые в свою очередь соединяются с измерительным блоком 11.Однако при использовании такой зондовой головки в установках для контроля и подгонки электрических параметров элементов микросхем увеличивается возможность повреждения контактных площадок зондами при контактировании ввиду жесткой связи зондов с металлическими дорожками корпуса. Известно многозондовое устроиство, содержащее диэлектрическое основание с закрепленными в нем капиллярными трубками, в каждой из которых размещен упругий стержневой зонд, Кроме того, на цилиндрической поверхности каждой капиллярной трубки выполнен паз, а часть зонда, размещенная в пазу, выполнена плоской, причем пазы смещены в радиальном направлении один относительно другого 2. учно-исследовательскогоприборостроения Такое зондовое устройство не можетбыть применено для подгонки электрических параметров микросхем, так как диэлектрическое основание н капиллярные 5 трубки являются преградой, мешающейпроизводить подгонку и не обеспечивают свободного доступа луча лазера к подгоняемым элементам микросхем с одновременным контактированием всех площадок лю- О бой топологии микросхемы, т. е. одновременной подгонки и контроля электрических параметров микросхем.Цель изобретения - повышение производительности подгонки микросхем, 5 Цель достигается тем, что многозондовоеустройство, содержащее корпус, стержневые зонды с упругой частгно н механизм перемещения зондов, снабжено оптически прозрачным диэлектрическим основанием О и печатной платой, размещенной над основанием н соединенной с механизмом перемещения зондов, Причем упругая часть каждого зонда расположена в зазоре между печатной платой и основанием, а хвосто вик жестко закреплен в печатной платс,снабженной окнами, форма и расположение которых соотвстствует форме и расположению подгоняемых элементов микросхемы.На фиг. 1 изображено описываемое мно- ЗО гозондовое устройство в разрезе; на фнг.2 - то же, вид сверху.Многозондовое устройство содержит оптически прозрачное диэлектрическое основание 1, печатную плату 2, упругие стержневые зонды 3 и плиту 4 механизма перемещения зондов. 5Основание 1 выполнено из оптически прозрачного диэлектрического материала, например из органического стекла, что обеспечивает свободный доступ луча лазера кподгоняемым элементам микросхемы, Для 10этого в печатной плате 2 выполнены окна5, расположение и форма которых соответствует расположению и форме подгоняемыхэлементов микросхемы, В основании 1 и псчатной плате 2, соединенных между собой 15так, что плата 2 находится над основанием 1, образуя определенный зазор, вертикально закреплены упругие стержневыезонды 3, хвостовики которых жестко связаны с металлизированными дорожками 6 20печатной платы 2, а, нижние, находясь в напряженном состоянии под действием упругих плоских частей зондов 3, расположеныв направляющих отверстиях основания 1,причем острия их расположены в плоскости, совпадающей с плоскостью расположения контактных площадок микросхемы.Зонды 3 смещены в радиальном направлении один относительно другого так, что ихплоские упругие части не пересекают поля 30подгоняемых элементов,Плита 4, выполненная из магнитомягкогоматериала и жестко связанная с печатнойплатой 2, действует как внешний якорь,притягиваемый к сердечникам электромагнитов, расположенных на установке подгонки.Для совмещения зондов 3 с зондируемыми точками микросхемы на основании 1наносят метку, контуры которой совпадают 40с контурами соответствующей метки наконтролируемой микросхеме, а в печатнойплате 2 выполняют отверстие 7, расположенное так, чтобы метки основания 1 и контролируемой подложки находились в поле зрения микроскопа.Работает описываемое устройство следующим образом.После того, как многозондовое устройство выставлено относительно определенной топологии микросхемы, включаются электромагниты, которые находятся на установке подгонки, притягивая плиту 4 механизма перемещения зондов, и в результате соприкосновения контактных площадок микросхемы с упругими зондами 3 создается надежный омический контакт с контактными площадками элементов микросхемы, Одновременно с этим начинается подгонка микросхемы,Использование изобретения позволяет автоматизировать процесс подгонки и, таким образом, повысить произьодительность подгонки при надежной рабогс устроиства,Ю о р м ул а изобретения.1 ногозондовое устройство, содержащее корпус, стержневые зонды с упругои частью и механизм перемещения зондов, о т л и ч аю щ е е с я тем, что, с целью повышения производительности подгонки микросхем, оно снабжено оптически прозрачным диэлектрическим основанием и пеатнои платой, размещенной над основанием и соединенной с механизмом перемещения зондов, причем упругая часть каждоо зонда расположена в зазоре между печатной платон и основанием, а хвоставик жестко закреплен в печатной плате, снабженной окнам, форма и расположение которых соответствует форме и расположению подгоняемых элементов микросхемы.Источники информации,принятые Во Внимание прп экспертизе 1, Авторское свидетельство СССР М 317133, кл. Н 011. 21/66, 1970,2. Авторское свидетельство СССР Кю 514457, кл, Н 05 К 1/04, 1974 (прототип).731620 ив. 1фиа.Составитель Л, Прокопенко Редактор Е, Караулова Техред В. Серякова Корректор Л. Орлова аказ 763/9 Изд.296 Тираж 889 Подписно 1 ПО Поиск Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытиГ 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Типография, пр. Сапуно