Патенты с меткой «многозондовое»

Многозондовое устройство

Загрузка...

Номер патента: 364049

Опубликовано: 01.01.1973

МПК: H01L 21/66

Метки: многозондовое

...гстаиовки веско.ких зоидОВ ия Одиу коиттктиую площадку и обеспечение возможности измсреиия дицамических парямстрои ИС.Цел дости 1 ястс 51 Гсм, что полижиые Зоиды с несколькими колецообразцыми изгибами, иекоитактирующие концы которых выступают В виде упоров, располокецы в пазах корпуса и поджаты к фиксирующим плащ ям пружинами, причем корпус имеет неподвижные упоры, служащие В совокупцости с иодвижцыми упорами зондов для регулировки последцих.Ня фиг, 1 изображено предлагаемое много зоидовое устройство в двух проекциях с разрезами; ца фиГ. 2 изООря 51 кеи В рязре 30 кл 10 д,15 регулировки зонда ио плоскости.Миогозоцдовое устройство содержит корпус 1, зонды 2. Волиооорязиую иружицу 5, упо 1 с ры 4, и,1 яики 5, ссктйря 1, иижимиыс пииты7,...

Многозондовое устройство

Загрузка...

Номер патента: 731620

Опубликовано: 30.04.1980

Авторы: Болдырев, Резник, Рубцов, Ситников, Степанов

МПК: H05K 1/04

Метки: многозондовое

...содержит оптически прозрачное диэлектрическое основание 1, печатную плату 2, упругие стержневые зонды 3 и плиту 4 механизма перемещения зондов. 5Основание 1 выполнено из оптически прозрачного диэлектрического материала, например из органического стекла, что обеспечивает свободный доступ луча лазера кподгоняемым элементам микросхемы, Для 10этого в печатной плате 2 выполнены окна5, расположение и форма которых соответствует расположению и форме подгоняемыхэлементов микросхемы, В основании 1 и псчатной плате 2, соединенных между собой 15так, что плата 2 находится над основанием 1, образуя определенный зазор, вертикально закреплены упругие стержневыезонды 3, хвостовики которых жестко связаны с металлизированными дорожками 6...