Устройство для измерения удельного сопротивления

Союз Советских Социалистических РеспубликОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ нц 729514(5)М, Кл.2 6 01 Н 1/06Н 01 Ь 21/66 Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ УДЕЛЬНОГО СОПРОТИВЛЕНИЯИзобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано в полупроводниковой промышленности для контроля злектрофиэических параметров полупроводнико вых материалов, например, удельного сопротивления слитка полупроводникового материала четырехзондовым методом.Известно устройство для измерения 10 удельного сопротивления полупровод" никовых пластин четырехэондовым методом, включающее неподвижно закрепленную эондовую головку и предметный столик с возможностью перемещений 15 образца в двух взаимно перпендикулярных направлениях и поворота вокруг оси его симметрии в горизонтальнойплоскости (1) .К его недостаткам относится невозможность использования для измерения по торцу слитка длиной один метр и более.Известно также устройство для из- мерения удельного сопротивления слитков, содержащее механизм перемещения эондовой головки и держатель слитков, размещенные на общем основании (2).Однако, это устройство позволяет проводить измерения только вдоль об разующей и непригодно для измеренийпо торцу слитка.Цель изобретения - повышение производительности,Это достигается тем, что в устройстве для измерения удельного сопротивления, преимущественно полупроводниковых материалов, содержащем основание, зондовую головку с механизмом ееперемещения и держатель слитка полупроводникового материала, механизмперемещения эондовой головки выполненв виде турели, на которой размещеназондовая головка с возможностью ееперемещения по радиусу турели, а ос"нование снабжено направляющей с подвижными упорами для перемещения держателя слитка полупроводникового ма"териала, выполненного в виде двухпар пластин с воэможностью нх взаимного возвратно-поступательного перемещения,На чертеже изображена.схемапредложенного устройства,Устройство для измерения удельногосопротивления имеет основание 1, механизм 2 перемещения эондовой головки в виде турели 3, выполненной своэможностью угловых перемещениЯ вокруг своей осн 4 в неподвижной стойке 5 на равные углы за счет упругого шарикового фиксатора 6, на которой установлен привод для перемещения эондовой головки вдоль радиуса турели, содержащей реечно-зубчатую пере. дачу 7 и жестко соединенную с корпусом зондовой головки направляющую 8.Основание 1 снабжено направляющей 9 в виде рельса, на которой установлен держатель слитка полупроводникового материала,.выполненный в виде двух пар пластйн 10 и 11, установленных под углом одна к другой, имеющих воэможность взаимного возвратно-поступательного перемещения посредством винтовых пар с левой 12 и .правой 13 направлениями резьбы и направляющей 14.Направляющая 9 снабжена подвижными упорами 15 и 16, причем упор 15 размещен на пластинах.10 и служит для базирования торца слитка, а упор 16 - . для поджатия торца слитка к упору 15. Винтовой зажим 17 предназначен для фиксации пластин 10 и 11 и упора 16 в любом положении направляющей 9.Устройство для измерения удельно- го сопротивления по торцу слитка работает следующим образом.Предварительно измеряют диаметр слитка и по шкале (ра чертеже не показана) с помощью винтовых пар 12 и 13 и направляющих 14 устанавливают пластины 10 и 11 держателя слитка в положение, соответствующее диаметруслитка, при этом автоматически совмещается ось симметрии слитка с осью 4 вращения турели 3.С помощью подвижного упора 16 поджимают контролируемый торец слитка к базовому упору 15, и приводом с реечно-зубчатой передачей 7 по шкале(н 1 а чертеже не показана) устанавливают зондовую головку на нужный радиус вращения на турели 3. Поворотомтурели 3 на необходимый угол подводят зонды к точкам контактировання,лежащим на одной окружности, и проводят измерения,Изменяя радиус вращения зондовойголовки 2 на турели 3, последовательно измеряют удельное сопротивление0 по всему сечению.формула изобретенияУстройство для измерения удельно 1 э го сопротивления, преимущественнополупроводниковых материалов, содер"жащее основание, зондовую головку смеханизмом ее перемещения и держательслитка полупроводникового материала,20 о т л и ч а ю щ е е с я тем, что,с целью повышения производительности,механизм перемещения зондовой головки выполнен в виде турели, на которой размещена эондовая головка с воэ"2 можностью ее перемещения по Радиусутурели, а основание снабжено направляющей с подвижными упорами для перемещения держателя слитка полупроводникового материала, выполненного вЗ 0 виде двух пар пластин с возможностьюиз взаимного возвратно-поступательного перемещения.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1, Батавии В.В. Контроль параметров полупроводниковых материалов иэнитаксиальных слов. М., Советскоерадио, 1976, стр. 13, рис8.2. Патент США В 3312893,кл. 324-64, 1967 (прототип),40729514 1 еСоставитель П. ПрокопенкоТехред, А,щепанская Корректор О, Ковинска дактлр Н. Катамани аз 1254/3 Тираж 1019И Государственногоо делам изобретениМосква, Ж, Рауас Подписноекомитета СССРи открытийкая наб., д, 4/ И 113035 лиал ППП фПатентфф, г, ужгород, ул, Проектная,