Устройство для литья пленки

Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ и 722594чпо лелем нзюбретеннй н вткрытнйДата опубликования описания 28,03.80 К, И. Беспалов, А. Р. Завербный, Ю, В, Кодра и Б, А. Пальчевский(71) Заявитель Львовский ордена Ленина политехнический институт(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЛИТЬЯ ПЛЕНКИ Изобретение относится к конструкцииустройств для изготовления применяемыхв электронных приборах эмиссионных,металлизационных, изоляционных и т,- и.пленочных покрытий и может пспользоваться в радиоэлектронной промьппленности,Известно устройство для литья пленки, содержащее питьевую воронку, установленную над технологической подложкой Я,Однако это устройство не позволяетполучать стабильную толщину пленкивследствие того, что давление вытеснения образовано только гидростатическимдавлением шликера в воронке, котороезначительно изменяется по мере его расходования я.Наиболее близким к предлагаемомуявляется устройство для литья пленки,содержащее питьевую воронку, сообщавшуюся с резервуаоом для жидкости 2,Однако в воронке имеет место изменение давления вытеснения, что приво 2; дит к соответствующим изменениям толщины изготавливаемой пленки.Бель изобретения - стабилизация толщины пленки.Цель достигается тем, что в устройстве для литья пленки, содержащем литьевую воронку, сообщающуюся с резервуаром для жидкости, воронка подвешена наупругом элементе, соединяющем ее с резервуаром и выполненным в виде сильфона, трубки Бурдона или мембраны.На фиг. 1 схематически изображено устройство для литья пленки с упругим элементом в виде силъфон; на фиг. 2 - то же, упругий элемент в виде мембраный на фиг. 3 - то же, упругий элемент в виде трубки Бурдона.Устройство для литья пленки содержит стол 1, технологическую подложку 2. Над столом жестко закреплен резервуар 3. К резервуару 3 подвешена с помощью упругого элемента воронка 4, полость которой сообщается с полостью резервуара через упругий элемент, выполненный72в виде сильфона 5. Воронка 4 снабженадемпфирующим пружинным параллелограммом 7,Упругий элемент может быть выполнен в виде мембраны 6 или в виде изогнутой трубки - трубки Бурдона 8 (фиг. 3).Устройство работает следующим образом.В резервуар 3 заливают литейную жидкость (шликер) до заданного уровня. Одновременно заполняется и воронка 4, которая под действием гидростатическогодавления опускается, преодолевая сопротивление упругого элемента 5, 6 или 8,до рассчитанного на необходимый расходзазора между воронкой и подложкой. Приэтом упругий элемент 5, 6 или 8 накапливает потенциальную энергию за счетупругой деформации под действием нагрузки (гидростатического давления). Помере расхода жидкости из воронки надвижущуюся подложку 2 давление в системе резервуар-воронка падает, в результате чего постепенно снижается степеньвоздействия нагрузки на упругий элемент,который, используя накопленную энергию,постепенно восстанавливает свою форму,приподнимая при этом воронку:над подложкой и увеличивая тем самым зазор.Увеличение зазора компенсирует падениедавления, в результате чего расход жидкости остается постоянным, Это в своюочередь обеспечивает стабильность толпины пленки.Демпфирующий пружинный параллелограмм 7 устраняет качания литьевой во 2594ронки (может быть заменен на направляющие).Использование предлагаемого устройства позволяет получать высококачественную метшщоорганическую пленку, применяемую в гибридных интегральных схе - мах, электронных вакуумных приборах и тф д10 Формула изобретения1. Устройство для литья пленки, содержащее литьевую воронку, сообщающуюся с резервуаром для жидкости, о т л и - ч а ю щ е е с я тем, что, с целью ста- билизации толщины пленки, воронка подвешена на упругом элементе, соединяющем ее с резервуаром.2. Устройство по и. 1, о т л и - ч а ю щ е е с я тем, что упругий элемент выполнен в виде сильфона.3. Устройство по п. 1, о т л и - ч а ю щ е е с я тем, что упругий элемент выполнен в виде трубки Бурдона.4. Устройство по и. 1, о т л и -ч а ю щ е е с я тем, что упругий элемент выполнен в виде мембраны.ЗО Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Авторское свидетельство СССРМо 432935, кл. В 05 С 5/02, 1971.35 2, Патент США Мо 2974364,кл. 264-213, опублик. 1961 (прототип).722594 и ед 0 Подписноенного комитета СССРтений и открытий/3 Тираж 81 ПНИИПИ Государствпо делам изобре 113035, Москва, Ж аз 90