Установка для литья пленки

Союз СветскихСоциалистическихРеспублик Ой ИВАНКЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВ 7"1-.;,"О 4 У ГЗИДЕУЕЯЬСТЮУМЬ 722 Я 5к(23) ПриоритетОпубликовано 25.03.80. Бюллетень11Дата опубликования описания 28.03.80 В 05 С 502 Ъсударстненный камнтет пв денни щееретеннй н втрытнй(72) Автори изобретения Б. А, Пальчевский и Ю. В. Кодра Львовский ордена Ленина политехнический институт(54) устАнОВкА Для литья пленки Изобретение относится к устройствам для изготовления эмиссионных, металлизационных, изоляционных и т. п. пленочных покрытий и может быть использовано в радиоэлектронной промышленности,5Известна установка для литья плен - ки, содержащая питьевую воронку для жидкой пасты,. установленную над подвижной технологической подложкой Ц ,Однако эта установка не обеспечивает получения пленки стабильной толщины.Более близкой к предлагаемому изобретению является установка для литья пленки, содержащая питьевую воронку для шликера, сосготпую из корпуса и днища с выполненной в нем литьевой щелью, и систему автоматического регулирования расхода шликера, включающую пневмодатчик контроля толщины пленки и исполнительный механизм 2.26Однако в таком устройстве изменение гипростатического давления литейной жидкости в воронке по мере ее расходования приводит к изменению расходе шликера и, соответственно, нестабильности па" раметров пленки.Бель изобретения - повышение ста бильности толщины пленки за счет автоматического регулирования расхода шлп кера.Бель достигается тем, что в устапове для литья пленки, содержащей питьевую воронку для шликера, состоящую из корпуса и днища с выполненной в нем литьевой щелью, и систему автоматического регулирования расхода шликерв, включающую пневмодатчик контроля толщины плен-. ки и исполнительный механизм, исполнительный механизм выполнен в виде смонтированных между корпусом и днищем воронки пары коаксиальных сильфонов, полость между которыми связана с пневмодатчиком, причем подвижные торцы силь- фонов прикреплены к днищу,На чертеже изображена схема установки для литья пленки.Установка для литья пленки содержит стол 1, подвижную технологическуюЗО 3 72 подложку 2. Над поверхностью стола (технологической подложки) установлена литьевая воронка, имеющая корпус 3 и подвижное днище 4, в котором выполнена литейная щель 5, Кроме, того, установка содержит систему автоматического регулирования расхода шликера, включающую пневмодатчик и сильфонный исполнительный механизм.Пневмодатчик выполнен в виде недифференциального пневмоизмерительного устройства монометрического типа, содержащего входной дроссель 6, измерительную камеру 7 (условно показанной на чертеже одной линией) и измерительное сопло 8, установленное над поверхностью стола (подложки) за воронкойо ходу движения подложки. К датчику подведена пневмосистема (на чертеже не показана).Исполнительный механизм выполнен в виде пары коаксиально расположенных сильфонов 9 и 10. Сильфоны встроены в воронку таким образом, что верхние их торцы герметично прикреплены к корпусу 3, а к нижним прикреплено подвижное днище 4, При этом днище 4 также закреплено на пружинном параллелограмме 11. Полость между сильфонами 9 и 10 пневматически связана с помощью трубопровода 1 2 с измерительной камерой 7.Устройство работает следующим обраВоронку заполняют металлоорганической литейной пастой (шликером), При этом заполняется полость сильфона 9 и он под действием гилростатического давления, преодолевая сопротивление силь- фона 10, растягивается, приближая днище 4 к поверхности технологической подложки 2, Через литейную щель шликер поступает на движущуюся подложку, причем, по мере расхода шликера, гидростатическое давление в воронке падает и сильфоны 9 и 10 сжимаются, поднимая днище 4 и увеличивая литейный зазор между днищем и подложкой,вследствие чего расход остается неизменным.Металлоорганический слой, полимеризуясь на подложке, превращается в пленку, которая вместе с подложкой проходит под измерительным соплом 8, установлен 2595ным нал столом с заданным зазором, (ринесоответствии толщины пленки заданному размеру изменяется зазор междупленкой и соплом, что приводит к изменению расхода воздуха, поступающего изпневмосистемы, к изменению давления визмерительной камере 7. Соответственноизменяется давление в полости междусильфонами 9 и 10. Возлействие пневмо О лавления накладывается на действие гидростатического давления, в результате чего днище удерживается сильфонами в.состоянии динамического равновесия на оптимальной для данных условий высоте над 15 подложкой, задавая тем самым необходимый расход шликера. Пружинный параллелограмм 11 играет роль демпфера, служащего для гашения колебаний днища приизменении его положения, Таким обра зом получают пленку стабильной толщины.Использование предлагаемой установки позволяет получить высококачественнуюметаллоорганическую пленку, применяемую в гибридных интегральных схемах,электронных вакуумных приборах и т, и,Формула изобретения Установка для литья пленки, содержащая литьевую воронку для шликера, состоящую из корпуса и днища с выполненной в нем литьевой щелью, и системуавтоматического регулирования расходаЗБ шликера, включающую пневмодатчик контроля толщины пленки и исполни тельный механизм, о т л и ч а ю щ а я с я тем, что, сцелью повышения стабильности толщиныпленки за счет автоматического регулирования расхода шликера, исполнительныймеханизм выполнен в виде смонтированныхмежду корпусом и днищем воронки парыкоаксиальных сильфонов, полость междукоторыми связана с пневмодатчиком, при -чем подвижные торцы сильфонов прикреплены к днищу.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Авторское свилетельство СССРфо % 432935, кл. В 05 С 5/02, 1971.2. Авторское свидетельство позаявке % 2506059, кл. В 05 С 5/02,1977 (прототип).Составитель С. ЛеонтьеваРедактор 3. 1 Пубенко Техред Н, Ковалева Корректор М. Иемчик3 аквз 907/3 Тираж 810 Подписное 11 НИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Филиал ППП Патент", г. Ужгород, ул. Проектнан 4