Интеференционное устройство для измерения угловых перемещений

и 702239 Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ,51)М, Кл. З 01 В 9/00 с присоединением заявки М Ьвудврстввиай квнктвт СССР ав делам кэобретеиий н вткрытв 1/Опубликовано 05,12,79. Бюллетень РЙ 45 Дата опубликования описания 08. 1 2,79(54) ИНТЕРфЕРЕНБИОННОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ УГЛОВЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙИзобретение относится к измеритель.ной технике и может быть использовано для высокоточного измерения угловых ." перемещенийразличных объектов.Известно. интерференпионное устройство для измерения угловых перемещений, содержащее,источник излучения, двухлучевой интерферометр, включающий отклоняющие .зеркала; отражатель, устанавливаемый на объекте, и регистрирующий блок, включающий определитель реверса и счез чик и оптически связанныйс выходом ингерферометра 11. Недостатком устройства является ограниченный диапазон измеряемых углов,связанный с вьйолнением отражателя иотклоняющих зеркал,Белью изобретения является расширениедиапазона измеряемых углов и повышениеточности устройства, 6 Для достижения указанной пели устройство снабжено светоделителем, установленным на выходе светового.потока отидточника, вторым интерферометром,идентичным первому и раемешенным навыходе одного из световых потоков изсветоделителя, на другом выходе которого установлен первый интерферометр,вторым регистрирующим блоком, идентичным первому и оптически связаннымс выходом второго интерферометра, и схемой фИф, и сумматором, соединеннымивходами с выходом соответственно определителей реверса и счетчиков, а выход схемы И" соединен с управляющимвходом счетчика, отражатель выполненобщим для обоих интерферометров в видеплоского зеркала, нанесенного на гипотенузную граньпрямоугольной пирамддыа отклоняющие зеркала выполнены в виде усеченных конусов с внутренней отра,жающей поверхностью и пентральным от, верстием и устанавливаются во взаимноперпендикулярных .плоскостях таким обра.зом, что их оси симметрии параллельныи симметричны оси вращения объекта,3 70223На чертеже схематично изображено. интерференционное устройство для измерения угловых перемещений,Интерференционное устройство содержит источник 1 излучения, светоделитель2, первый двухлучевой интерферометр,включающий светоделитель 3, поворотные зеркала 4 и 5, отклоняющие зеркала6 и 7, отражатель 8, второй двухлучевой интерферометр, включающий светоде Олитель 9, поворотные зеркала 10 и 11,отклоняющие зеркала 12 и 1 3, дополнительные зеркала 14 и 1 5, Отражатель.8 жестко закреплен на валу 1,6, уголповорота которого измеряется. Счет интерференционных полоспроизводится ре, гистрирующими блоками 17 и 18, которые в числе своих фотоэлектронных узлов имеют определители 19 и 20 ревер. са, подключенные к схеме фИф 21, и 2 Осчетчики 22 и 23, управляющие входыкоторых подключены к выходу схемы, Интерференционное устройство работает.следующим образом.Параллельный пучок света от источника 1 излучения делится светоделителем2 на два потока. Первый из них делит, ся светоделителем 3 на две ветвикоторые с помощью зеркал 4 и 5 направляют-Ося на отражатель 8. Затем, отразившисьот зеркал 6 и 7, лучи возвращаютсяпо первоначальному пути на светоделительЗйнтерферируя между собой.Входной пучок второго интерферометра З 5делщся светоцелителем У.на два потока,которые с помощью зеркал 10 и 11 нап-,равляются на отражатель 8. Зеркала 12и 13 возвращают эти лучи на светоде 40литель 9 и далее инферферирующие лучинаправляются на зеркала 14 и 15.При повороте вала 16 на измеряемыйугол меняется разность хода лучей обоихинтерферометров: первого - по синусои 45дальной, второго - по косинусоидальнойзавидимости от этого угла, что привоцитк смещению интерференционных полос.Процесс регистрируется блоками 17 и18.5 ОИспользование схемы И 21 не позволяет определителям 19 и 20 реверсавыдавать на свои счетчики сигналыбложного" реверса в точках 90 и 270для счетчика 22 и в точках 0 и 180для счетчика 23, При этом чувствитель 9 4ность обоих интерферометров остаетсяположительной на всем диапазоне 360,Таким образом, данное интерференционное устройство за счет использования предложенных форм отражателя иотклоняющих зеркал обеспечивает диапазон измерения до 360 и высокую точоность,Формула изобретения Интерференционное устройство для измерения угловых перемещений, содержащее источник излучения, двухлучевой интерферометр, включающий отклоняющие зеркала; отражатель, устанавливаемый на объекте, и регистрирующий блок, включающий определитель реверса и счетчик и оптически связанный с выходом иитерферометра, о т л и ч а ю щ е е с ятем, что, с целью расширения диапазона измеряемых углов и повышения точности устройства, оно снабжено светоделителем, установленным на выходе светового потока от источника, вторым интерфероМетром, идентичным первому и разме щенным на выходе одного из световых потоков из светоделителя, на другом выходе которого установлен первый интерферометр, вторый,регистрирующим блоком, идентичным первому и оптичес-ки связанным с выходом второго интерферометра,и схемой "И", и сумматором, соединенными входами с выходами соответственно определителей реверса и счетчиков, а выход схемы "И" соединен с управляющим входом счетчика, отражатель выполнен общим для обоих интерферометров в виде плоского зеркала, нанесенного на гипотенуэную грань прямоугольной пирамиды, а отклоняющие зеркала выполнены в виде усеченных конусов с внуч ренней отражающей поверхностью и цент-, ральным отверстием и устанавливаюгя ,во взаимно перпендикулярных плоскостях таким образом, что их оси симметрии параллельны и симметричны оси вращедия объекта. Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1,ТЭЕ КЬЧЯЬ о 1 бС 1 Е 1 тИВС ЮЬЬ.цпе,ось,ч. Ъ 5,йф 95 е,р 1 ЮПЬЮ.49 ЬФ,р 1212- -415/5 Патент", г. Ужгород, ул. Проектная,фйлиа 38 Тираж 844 ПодписноеЦНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб., д