Устройство для напуска газа

(71) Заявител Усталой 1 Я НАПУСКА ГА происходит блреву.ого устройствость и в связи дозировки на являетсс этикаемоКр устройстве зат епловая мошп у,1 О ется повышеускаемого г вки я.я те то в предла к выполнен иштока обеспеч длины, выполнена из о материала, а к ее точки выв е ставлено и еже пре мое ус ший еиз двухчиваю Изобретение отн ным приборам, в ч ствам для получени пенного добавленияИзвестно также уска газа, включа ится к гаэоразряд стиости к устройввода или постеазов щн паров, тройство для нащее шток с твердо рая пришлифованаИспользуя микрожно вручную рег и и изменять вел Ы сплавной иглой, кото металл ичес кому седлу метрический винт, мо лировачь ширину щелчину газового потока Известное устройство не обеспечивает высокой точности дозировки из-за ограниченной точности микрометрического устройства и быстрого износа металли- . ческого седла. Большая инерционность связана с ручной регулировкой ширины шелк.Наиболее близким к предлагаемому техническому решению является устройство для напуска газа, содержашее седло, подвижный шток и источник электропитания 2). В известном устройстве ение длины штока тепловому разог остатком невест я его ийерпионн м низкая точность го газа. оме того в этом ется значительнаянось,Целью изобрел енние точности дозироза и быстродействиЦель достигаетсгаемом устройствечастей, причем частьшая, изменение егопъезоэлектрическогконцам подсоединеньпитания.На черт д роиство.йство содержит шток, состоастей, Часть 1 штока, обесизменение зазора 2 межд685374 15 3седлом Э и подвижной частью 4 штока,выполнена из пъезоэпектрического материала, а к ее концам от источника питания 5 через изолятор 6, электрическийконтакт 7, корпус 8, крышку 9, прокладку 10 и электрический контакт 11 приложено постоянное или импульсное напряжение. Трубопровод 12 предназначен алясоединения предлагаемого устройства спотребителем,1 ОПри подаче напряжения к концам пъезоэпектрической части 1 штока черезизолятор 6, электрический контакт 7,корпус 8, крышку 9, прокладку 10 иэлектрический контакт 11 изменяютсяее геометрические размеры, в результате чего между седлом 3 и подвижной частью 4 штока образуется зазор 2,Регулируя подаваемое напряжение, можноизменить величину зазора 2 и следовательно, газового потока, проходящегочерез зазор 2 и трубопровод 12. Приотключении напряжения шток безинерционно возврашается к исходным размерам,25и зазор 2 герметично перекрывается,Жесткая фиксация штока в корпусеприбора одновременно обеспечивает замыкание электрической цепи и точнуюцентровку штока относительно селла, что,зов свою очередь, обеспечивает точностьдозировки нвпускаемого газа.Было изготовлено устройство дпя напуска газа,пьезоэлектрическая частьштока которого выполнена из титвнвта35стронция. Диаметр штока равен 8 мм,алина 100 мм, алина конусной части30 мм, При приложении постоянного напряжения О - 200 В длина пъезоэлектрической части стержня меняется, что при Оводит к образованию между штоком иселлом зазора, позволяюшего при непрерывной откачке реципиента поддерживатьв нем требуемое двление, которое регулируется в зависимости от величины подаваемого напряжения,4Предлагаемое устройство позволяет по величине подаваемого напряжения точно определить и регулировать величину газового потока напускаемого газа, Применение штока, часть которого выполнена из пьезоэлектрического материала, обеспечивает безинерционную регулировку зазора между селлом и штоком, что, в свою очередь, повышает точность и вос производимость параметров газового потока, проходящего через регулируемый зазорПрименение электрического способа регулировки величины газового потока позволяет,осуществить дистанционное управление процессом, а цримененне программного устройства управления питающим напряжением обеспечить автоматическую регулировку газового потока. фор мула изобретения Устройство аля напуска газа, содержашее седло, подвижный шток и источник электропитания, о т л и ч а ю щ е ес ятем, что, с целью повышения точности дозировки напускаемого газа и быстродействия, шток выполнен иэ двух частей причем часть штока, обеспечивающая изменение его алины, выполнена из пъезоэлектрического материала, а к ее концам подсоединены выводы источника питания. Источники информации, принятые вовнимание при экспертизе 1. фролов Е., Русак ф. А. и др. Вакуумные еистемы и их элементы, Справочник-атлас под ред. д.т.н. Лубенца В.Д., ММашиностроение, 1968, с 117-118.2. Авторское свидетельство СССР Хо 412428, кл,У 16 К 49/001972, (прототип).Составитель А. Вишаевубина Техред С. Мигай Корректор М. По э 5437/ филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 39 Тираж 1139 БНИИПИ Государственного по делам иэобретений и 113035, Москва, Ж, Рвуш