Интерферометр

) 238 ааударстаенна 1 й наиатеСената Мнннатраа ССРао делан нзабретеннаи вткрытнй соединением з601 В 9 Приорит(43) Опубликовано 25.04.78. Бюллетень %15 (45) Пата опубликования описания 29,03, 78 53) УДК 531;715,1(088,8) 2) Авторы . изобретен Я, Бубис и А. И. Кузнецов(54) ИНТЕРФЕРОМЕТР му, формирующую т, и выпопненки и микрообъекемент, выполненп ямоугопьных измерительной контроля качестваалей и можетком приборострое 5 нии.И чест щий эвестен интерфер ва оптических по источник монохр коническую сист ообъектив и апла з поверхностей к зования фронта с наблюдения интер ометр для коверхностей, соматическог оему, светоделнатический моторого служиравнения, иференционной троп ерж зпуче итель, писк, о т дляобъектив картины микр а и обра Я.Недостатком интер высокие требования к тов, а также бопьшое ков, снижающих контр картины, а следова рений. ферометра являются остировке его епеменчисло паразитных бли аст интерференционнойтельно и точность измепо технической сушачи к изобретению яв , содержащий источник зпучения, распопожендва концевых плоских Ю Наиболее близким и решаемой зад лятеся интерферометр монохроматическог о и ные по ходу его лучаности из 1Изобретение относится к технике, цреднаэначено для поверхностей оптических де найти применение в оптичес зеркала, оптическую систесферический волновой фронную в виде окупярной насадтива светоделительйый зпный в виде блока иэ двухпризм, и зталонный блок Однако сравнительно низкая точность измерений известного интерферометра, вызванная влиянием собственных погрешностей светодепительного элемента на интерференционную картину, сказывается при контроле высокоапертурных поверхностей, т. е. низкая светосила интерферометра, а также низкая производительность юстировочных операций при настройке интерферометра.Для увеличения светосилы интерферометра и повышении производительности юстиро,. вочных операций. интерферометр снабжен дополнительным светоделительным зпементом, расположенным между окулярной насадкой и микрообъективом так, что его передний корпус совмещен с предметной точкой микросбъектива, катет одной пр мы светоделительного апемента выпопненс изломом на угол, равный полуаиертуре интерферометра, и на меньшейчасти грани цо излома выпсанена сферическая полированная бунка, а эталонный блоквыполнен в виде плоско-выпуклой линзы,приклееной к другому катету той же призмы, прияем центры кривизны выпуклойповерхности линзы и поверхности лунки совке,"щены,На чертеже дана схема предлагаемогоинте рферометра.Он содержит источник 1 монохроматического излучения, два концевых зеркала 2, 3отражательную линзу 4, микрообъектив 5,светоделительный .элемент, выполненный ввиде прямоугольных призм 6, 7 и скпеенойс одним иэ них плосковьшуклой линзы 8, которая образует эталонный блок, телескопическую систему 9, дополнительныи светоделительный элемент 10, окуляр 11, а такжеплоское эеркапо 12, которое устанавливаютвместо допопнительного светоделительног оэлемента 10 при работе интерферометра,Работает интерферометр следующимобразом, 25Пучок света от монохроматического исзэчника 1 излучения после отражения от концевых плоских зеркал 2, 3 преобразуетсяотражательной линзой 4 в расходящийсяисходящий из задней предметной точки мик- ЗО.рообъектива 5, Микрообъектив создаетфточечноеизображение О источника светав. передней предметной точке, откуда лучипо нормалям падают на выпуклую поверхностьплоско выпуклой линзы 8. От выпуклой поверх-З 5ности свет частично отражается и, возвращаясь по нормалям, создает волновой фронтсравнения.с центром в точке О . Другая. часть света без преломления проходит выпуклую поверхность линзы и падает на ис"следуемую поверхность 13. Если радиускривизны исследуемой поверхности или фокус исследуемой автокоплимационной систе-.мы О совмещен с точкой О, пучок лучейвозврашается по тому же пути, искаженный45аберрациями поверхности или системы, и интерферирует с волновым фронтом сравнения.Наблюдениеинтерференционной картинй, и фотографирование ее осушествляется с помощью наблюдательной телескопической системы 9.Предварительная юстировка интерферометра и проверка сохранения юстировки в процессе работы проводится с помощью эпементов.1, 2, 3, 4, 5 светоджительного элемента 10 и окуляра 11 с сеткой, образующих автоколлимационный микроскоп, при наблюдении автоколлимационного изображе. ния источника света в окуляр 11. В процессе работы в целях уменьшения потерь световой энергии дополнительный светоделительный элемент 10 заменяется по плоское зеркало 12, установленное на общую со светоделительным элементом 10 оправу. Ф ормула изобоете ни яИнтерферометр, содержащий источник монохроматического излучения, расноложен- ные по ходу его луча два .концевых плоских зеркала, оптическую систему, формирующую сферический волновой фронт и выполненную в виде окулярной насадки и микрообъектива, светоделительный элемент, выполненный в виде блока иэ двух прямоугольных призм, и эталонный бпок, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью увеличения светосилы интерферометра и повышения производи тельности юстировочных операций он снабжен дополнительным светоделительным элементом, расположенным между окулярной насадкой и микрообъективом так, что его передний фронт совмещен с предметной точкой микрообъектива, катет одной призмы свет одел итель ног о элеме нта выполнен с изломом на угол, равный полу- апертуре интерферометра, и на меньшей часФ ти грани до излома выполнена сферическая полированная лунка, а эталонный блок выполнен в виде плоско-выпуклой линзы, приклеенной к другому катету той же призмы, причем центры кривизны выпуклой поверхности линзы и поверхности лунки совмещены,Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:1, Авторское свидетельство М СССР М 373519, кле - 01 3 9/02, 1971,2.Техническое описание интерферометра ИТф, Ленинград, ГОИ.в орректор М. Демчик Редактор Т. Шаг э 2055/32 Тираж 872 ЦНИИПИ Государственного комите по делам, изобретений и 113035, Москва, Ж-Зб, РаПоддисноета Совета Министров ССоткрытийушская наб., д. 4/б Эака филиал ППП фПатентф, г, Ужгород, ул. Проектная 4