Устройство ввода газов в реакционную камеру

Союз Советских Социалиетичееких Республик(45) Дата ойблик Гаердаретеевеый ыеаетет Совета теенеетрее СССР ые оыеа еейретее 6 е етыратые(54) УСТРОЙСТВО ВВОДА.ГАЗОВ В РЕАКЦИОННУтО кАМБРу 4 етения ия н р 0 йом- т 5 н 1Изобретение относится к,устройствам ввода газов в реакционную камеру для процессов. газовой энитаксии,окис:ления и диффузии и может быть использовано в полупроводниковой технике.В.известных устройствах для эпитаксиального осаждения подачу газон в камеру осуществляют через трубки с отверстиями, кольцеобраэные каналы или капиллярные в корпусе реактора 11-3.выполненнце таким образом устро ства ввода газов, однако,. не обеспечивают необходимого смешивания к понентов, однородного поступления их к осаждаемойповерхности.Известно устройство ввода, газа в реакционную камеру, например, для процессов зпитаксии, окисления и диф Фузиисодержащее газовые вводы и распределители потоксв, выполненные в виде колец с отверстиями, которые произвольно расположены на рабочей стороне 14.В этом устройстве газовый поток на- . правляется в камеру параллельными пучками, что также не обеспечивает высокой степени смешивания газовых компоентов и их регулируемую подачу. 30 2Цель нзобр - повышение сте=пеки смешивая егулирования пода"чи потокон,для этого предложено кольца распределителей установить кокцентрично свозможностью перемещения одного относительно другого; кольца имеют прямоугольное сечение со скосом внутрен-"него угла внешнего кольца, отверстиякоторого выполнены на скосе.Скос выполнен под углом 40-45 кобщей оси колец.На.фиг 1 изображено устройство,общий вид; на фиг. 2 - то же, поперечный разрез; на фиг. 3 - внд пострелке А на фиг.1.Устройство включает в себя средства для подачи газов " газовые вводы 1и 2, соединенные с распределителямипотоков газа 3 и 4 в камеру . Распределители 3 и 4 выполнены в виде колец5 и б с отверстиями для впуска газовв камеру. Кольца распределителей ус-тановлены концентрично с возможностьйперемещения одного относительно другого и имеют прямоугольное сечение сОскосом 7 внутреннего угла внешнегокольца, отверстия которого выполненына скосе. Скос расположен код углом40-45 к общей оси колец (фиг.3)Один из газовых компонентов подают через распределитель 4, а другой через распределитель 3. Получаемый газовый поток, образуют два противолежащих телесных угла (см.фиг.2), что обеспечивает интенсивное и равномер" ное смешивание газовых компонентов. Перемещением распределителя 4 вдоль .оси относительно распределителя 3 обеспечивается смешивание газовых компонентов непосредственно в зоне осаж" дения и регулировка расстояния точки смешивания от обрабатываемой поверхности,Устройство может быть использовано в процессах, где требуется высокая степень смешивания компонентов и однородности состава вблизи обрабатываемой поверхности. В качестве примера рассмотрим осаждение слоев двуокиси кремния путем окисления, моносилана водородов в среде азота. Компоненты подают по распределителям 3 и 4 при расходе (л/мин): моносилана 1,2 кислорода 0,61 газоносителя 10,5 Л Смешанный поток газа поступает к под" ложкам, нагретым до 420 С в зоне осаж. дения. Полученные слои двуокиси кремния толщиной 04 мкм при скорости их осаждения 0,08 мкм/мил. Разброс по З 0 толщине в партии составляет 10,Таким образом, устройство,обеспечивает равномерную и регулируемую подачу газов при их хорошей смешиваемости. формула изобретения1. Устройство ввода газов в реак"ционную камеру, например, для процессов эпитаксии, окисления и диффузии,включающее средства для подачи газов,соединенные с распределителями потоков газа, выполненными в ниде колецс отверстиями для впуска газов в камеру, о т л и ч а ю щ е .е с я тем,что, с целью повышения степени смешивания и регулирования подачи потоков, кольца распределителей установлены концентрично с воэможностью перемещения одного относительно другогои имеют прямоугольное сечение со скосом внутреннего угла внешнего кольца,отверстия которого выполнены на скосе.2. Устройство по п.1, о т л ич а ю щ е е с я тем, что скос выполнен под углом 40-45 к общей оси колец,Источники информации, принятые вовнимание при экспертизе:1. Патент СЬЖ 93381114,кл.219-38.5,1968.2. Патент США 93745969,кл.118-48,1973.З.Патент Японии В 10175 кл.99/5/В 15,1972.4.фЭлектронная промышленностью,1973, М 2, с.78-79.,г Вид оставитель В.Безрейч ЗВИЗ а%я. енк ак Филиал ППП ффПатентф, г. Ужгород, ул. Проектная 1469/5 Тираж 964ИИПИ Государственного копо.делам изобре113035 Москва Еетийа родова Ко екто А.ВПодписноеСовета Министров СССР и открытийская наб. . 4 5