Диффузионный дозатор

(23) ПриоритетГооудоротввннвй ковопвт Вовата втевотроа СИР оо дохам озоорвтввов а открытка(72) Авторы изобретевнИ. Одиноков, О. Ф. Огурцов, В. Н. Кокни и А. И. Воробь 1) Заяв 54) ДИФФУЗИОННЫЙ ДОЗАТОР что затрудняет использование устройстваособенно в процессах дозирования, имеощнх небольшую длительность,Цель изобретения - повышение точностии стабильности работы.Зта цель достигается тем, что дозаторснабжен термостатированным клапаном, установленным в смесительной камере на вьаходе испарительной камеры и связанным ссистемой управления.На чертеже показано предлагаемое устройство.Устройство содержит клапан 1, нагреватель 2, резьбовую пробку 3, мембрану 4,штуцеры 5, теплоизоляционнуто прокладку 6,нспарительную камеру 7 с дозируемым :веществом 8, термосопротивление О, электрораэъем 10, нагреватель 11. радиатор 12,кожух 1 3, теплонзоляционный корпус 14втулку 15, фланец 16,крышку 17, смеситепьную камеру 18, блок 19, стабилизции темературыблок управления 20 и блок питания 21Теплов дф"кой 6 сл и Изобретение относится к дозированию материалов и может применяться в технолог гнческих процессах производства интеграль ных схем, химической промышленности,Известны дозаторы, содержащие испаря в тельную и смесительную камеры, отрубки подвода и отвода газа носителя)Щ 2,Наиболее близким по технической сущнос ти к предложенному является дозатор, содержащий термостатируемый корпус с ис- т 9 парительной и смесительной камерами, со единенными диффузионным сопротивлением, патрубки подвода и отвода газоносителя и систему:управления) 3)Недостатком йзвестттого дозатора явлю- тб ются малая точность и нестабильность ра боты, связанные с тем, что перед вкаоче ннем дозатора на стенках испарительной к смесительной камер образуется конденсат дозируемого вещества. Испарение конден ЯО сата приводит к увеличенному и нестабиль ному расходу дозируемого вещества в на чальный период дозированяя, Начальный пик .расходной характеристики может длить оя в известноМ устройстве десятки минут, И золяционный корпус 14 с проклаужит для устранения влияния температуры окружающей среды на процес ис парения доэируемого вещества, Нужная тем. пература в испарнтельной камере 7 устанав ливается при помощи Нагревателя,11 и радиэ тора 12. Последний охватывает весь пери метр камеры 7. Контроль за температурой Осуществляется с помощмО термосопротиВфф лений 9. фланеа 16 и втулка 15 служат для удобства заливки доэируемого вещестьва в камеру 7, 9Открывание и закрывание диффузионногв сопротивлении производртси клапаном 1. На пробке 3 клапана у таиовпей нагреватель 2,.который задает повышенную по отношению к испарительной камере температуры, что исключает конденсапщо паров дбзируемоь вещества на запорном органе клапана.При вкпючении дозатора при помощи блока управления 20 вдается напряжение с блока питания 21 на клайан 1. При этом клапан открывается и щиййаодит подача паров дознруемОГО в смеснтельную камеру 18 е При синтии с клапана напряжения ка-ф меры 7 и 18 раздеыаотсн им.ВО вреМИ работы доватора производится р йЖтоиииая пойача газа-воситепа в сме- сительнув камеру 18, что значительно уп рощает схему доэатора, так как отпадает необходимость в системе клапанов, обеспечивающих коммутацию газа-носителя.Формула изобретенияЙиффузионный дозатор, содержащий термостатируемый корпус с испарительной и смесительной камерами, соединенными диффузионным сопротивлением, патрубки подвода и отвода газаффноитющ и снстефф му управления, О т л и ч а ю а и й с я тЕМ, чт С ЕМИао ПОВЬИНЕНПИ тОЧНОСтн И стабильности работы, ааевтор снабжен термостатированным Рованом, установленным в смесительйОЙ кайере на выходе испарнтельной камеры и связанным с системой управления еИсточники информации, принятые во Вни мание при экспертизе:1. Патент США М 3510369 кл 222 211, 1969.2. Патент Японии Х 49-22781кп. 99 (Б) 15, 1965,3. Авторское свидетельство М 231148, кл. Я 01 Р 13/00, 1968.Составитель А. РогозоваРедактор Е. Полионова Техрей Н, Бабурка Корректор Н. КовалеватЗаказ 4562/33 Тираж ОО 7 Подписное ВИИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушскан наб., и. 4/5 филиал ППП Патент", г. Ужгород, ул, Проектная, 4