Устройство для дозирования жидких диффузантов в поток газа носителя

Заяилеио 08.07.76 (21) 2381783/18-10 е присоединением заявкиГосударствепиый емпо6 свтв Меюра ИРе сваи нзс 5 росейя стсуытюй) Опубликовано 25,11.77,бюллетень 43 5) Дата опубликования описания 07.13.77 И. В. Сербии, Г. К. Васильев и(7) Заявитель ектронной техники 54) устройство для дозировАиия жил,киВ ПОТОК ГАЗА НОСИТЕЛЯ Изобретение относится к дозированиюматериалов, в частности к устройствам длядоэирования жидких диффуэантов и потокгаза-носителяИзвестно устройство длядозированияжидких диффузантов выполненное в видепоршневого доэатора Щ,Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является устройсяво для дозрования жидких днффузвнтов впоток; газа-аоситепя, сопержвщве установ .ленные в тврмостатирувмом корпусе дозерувший сосуд и смесительнув камеру, совдинениые диффузионной трубкой ),2.16Недостатком этого устройства являет-.ся сложность управления концентрациейдиффузантов в потоке,Цель изобретения - улучшение управленияконцентрацией днффузантов в потоке . я,Вщ достижения этой цели в предлагаемом устройстве диффузионная трубка снабжена клапаном регулятором, выполненнымв виде конуса с вершиной, обращаемой внаправлении диффузионного потока. 2На чертаже показана принципиальнаясхема устройства.Устройство состоит иэ дозирующвго сосуда 1,.смвситвльиой камеры 2, соединенных мвящу собой, диффузионной трубкой Э,нижняя часть которой служит селлом дляклапана регулятора 4, вежливого и виде койуса 5 смушиной, обращенной поиаправленшо диффузионного потока, и обтекателем 6 со сферической поверхностно,сопряженной с основанием иаиуса ЖавйаМрегулятор 4 соединен с. приводным штоком7 и снабжен налравливщей втулкой 8, прокедищвй через сосуй иитатель.е, Герметизация штока в сосуде.-питатьле асущвствпФ.ется сиаьфоном О, Для наполнения диффузантом сосуде питателен служит штуцер 11с герметичной крышкой. Гаэ носитель всмесительиую камеру производится черезштуцер 12, а отвод образовавшейся и нейнаро-газовой смеси поштуцвру 13; Сесуд-пятатель 9 сообщен с доэирующим сосудом двуми трубками 14 и 15,Корпус 18 доватора снабжен теплоизощщией 17, и температурный уровень дифной камеры 2 через штуцер 13 в реаеци Онную камеру.Управление концентрацией паро-газовой смеси в предлагаемом дозаторе осушествлеется клапаноье регулятором 4 за счет изменения зазора между корпусом 5 и поверхностью. дифч узионной трубки 3, приводящего к измененив величины диффузионного со противления. Увеличение етого зазора при водит к уменьшеншо диффузионного сопротивления и повышеншю уровня концентрации перо-газовой смеси в потоке газа-носителя, а с уменьшением зазора увеличивается диф фузионное сопр Явление, и уровень концентрации наро-газовой смеси уменьшается.Йозатор жидких диффузантов в потОе га за носителя может быть использован в диффузионных системах автоматизированных поточных линий с управлением технологичео ким процессом от злеетронно.вычислитель иых машин при производстве микроприборов.Предлагаемое устройство позволит управ лять концентрацией наро-газовой смеси в широком диапазоне при непрерывном пози ровании и тем самим повысить качество диффузионных слоев по электрофизическнм свойствам, воспроизводимость их параметров и выход годных микроприборов. 5813783фузанта в дозирувщем сосуде задается и поддерживается нагревательным устройсъвом, 18По мере испарения жидкого диффузантаФв дозирувщем сосуде 1 уровень 1 его уменьшается, и при неизменной темпера туре диффузанта увеличивается интенсивность: парообразования чтО влечет е отф клоненао в сторону увеличения концентрации даро-газовой смеси от заданного уров 1 О ня, Для прецизионного поддержания уровняв дозирувщем сосуде последний сообщен с сосудоьепитателем 9 двумя патруб кеми 14 и 15, одна из которых (трубка 14) соединена с сосудом-питателем через его 15 дно, а другой ее конец опущен в дозирую )ций сосуд ниже уровня двфузанта вери ний конец трубки 15 соединец с верхней полостью сосудапитателя, а ее нижний ко нец Опущенный в доэирующий сосуд имеет Я с торца срез, плоскостькоторого расноло жена под углом е горизонтальной плоскости что уменьшает разнодействчошув сил пофверхностного натяжения жидкого диффузанта во входном сечении етой трубки и уменьшает инерционность при подпитиэ диффузанщ тОМ дозирувщего сосудапри уменьшении уровня диффузанта в дР зируюшем сосуде Образуется свободное иром странство между поверхностьв диффузанта и торцом трубки 15, в которое поступает пар и, поднимаясь вверх по трубке, направ ляется в верхню 30 полость сосудйффпитателя 9, а зто время из, сосуда-питателя диф фузант перетекает по Трубке 14 и заполняет дозиячОщий сосуд )э уровняу. Определяещ мого полным перекрытием сечения среза трубки 15, в результате чего выравнивает ся давление паров аиффузанта в сосуще-пи тателе и дозирувщем сосуде и прекращаетч ся подпитка последнего, Йри последующем уменьшении уровня В в дозирувшем со суде операция его подпитки повторяется.Таким образом в дозирувщем сосуде авт оматичесен поддеркивается заданный уровень днффузанта и тем самым обеспечи вается жесткая стабилизация концентрации наро газовой смеси отводимой из смеситель Формула изобретенияУстройство для дозирования жидких диффузантов и поток газа-носители, содержащее установленные в термостатируемомкорпусе дозирующий сосуд и смеснтельнувкамеру, соединенные диффузионной трубкой,о т л и ч а в щ е е с я тем, что, с целыэулучшения управления концентрацией .диффузантов в потоке, диффузионная трубка снабжена клапаном-регулятором, выполненнымв виде конуса с вершиной, обращаемой виащавлении диффузионного потока,Источники информации, принятые во виимание при экспертизе:1. Авторское свидетельство СССР%186217 елф О 01 Р 13/00, 1962.2. Авторское свидетельство СССРЗаказ 4562/33 Ш 1 ИИ 1 И Гос Подписноеуд Совета Мицистрои открытий113 Рауиская наб.дФилиал ППП "11 атент, г, Ужгород, ул. Г 1 роектная, 4 ССР