Устройство для определения координат участка объекта, исследуемого в электронном микроскопе

Соаа Советских Социалистических Республик( 1177434/26-25 явлено 27,М 1.19 ки М присоединением з ПК НОЦ риоритетпубликовано 22.1 Х,1969, Бюллетень2ата опубликования описания 24.11.1970 Комитет ло деламобретений и открытейри Сосете МнннстрсоСССР УДК 621.385.833. Игнатова менко Заявите кроскопов и электроавтоматики УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ КООР БЪЕКТА, ИССЛЕДУЕМОГО В ЭЛЕКТРОНН Т УЧАСТКАИКРОСКОПЕ ходима подсветка, что ведет к дополнительному усложнению конструкции, а также к нарушению адаптации глаз оператора.Предлагаемое устройство отличается от из 5 вестных тем, что для повышения точности определения координат оно содержит электроннолучевую трубку, потенциометры, с помощьюкоторых производится перемещение электронного луча на экране указанной электроннолу 10 чевой трубки синхронно с перемещением столика объектов, причем потенциометры связаны с приводами столика объектов редукторныными механизмами.На чертеже схематично изображено предла 15 гаемое устройство,Оно состоит из электроннолучевой трубки 1,потенциометров 2, редукторных механизмов 3.Электроннолучевая трубка 1, на экран которойнанесена координатная сетка, является инди 20 катором. Электронный луч, указывающий координаты исследуемого участка объекта, перемещается по экрану трубки синхронно с перемещением столика объекта 4, Синхронностьобеспечивается редукторными механизмами 3,25 передаточное отношение которых рассчитанотаким образом, что полное перемещение столика объектов 4 соответствует полному обороту ручек потенциометров 2 задающих потенциал на отклоняющих пластинках трубки 1, а30 следовательно, и перемещение луча от одногО Известные устройства для определения координат участка объекта, исследуемого в электронном микроскопе, полностью состоят из механических узлов. В таких устройствах механизмы индикации имеют непосредственную тесную связь с приводами столика объекта.Вследствие больших увеличений электронного микроскопа (до 200000 раз) к приводам столика объектов предъявляются очень жесткие требования: отступления от траектории перемещения столика объектов, рывки и толчки обекта не должны превышать 0,1 - 0,2 мк, Поэтому механическая связь приводов столика объектов с какими-либо дополнительными механизмами нежелательна, так как неизбежно возникающее трение, люфты и заедания между деталями механизма затрудняют задачу плавности перемещения столика объектов, могут привести к дрейфу столика объектов и тем самым снижают гарантируемую разрешающую способность прибора и точность отсчета координат.При чисто механической конструкции индикатора координат его расположение строго лимитировано из-за мощности механических передач, Кроме того, при эксплуатации элек;ронного микроскопа требуется затемпенное помещение и, следовательно, для отсчета координат участка исследуемого обьекта необ Зсесою" фтк и чбО252503 Составитель Т. М. ГорчаковаТехред Л. Я. Левина Корректор В. И. Жолудева Редактор Ц. ога каз 201/10 Тираж 480 ПодписноеНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква Ж, Раушская наб., д, 4/5 пография, пр. Сапунова, 2 конца экрана до другого. Спектр свечения экрана трубки 1 и микроскопа одинаков, вследствие чего не нарушается адаптация глаза оператора при работе на больших увеличениях.Предлагаемое устройство может быть использовано как один из элементов дистанционного контроля и управления электронным микроскопом, так как предусмотренное конструкцией преобразование механических перемещений в электрические сигналы позволяет размещать это устройство на любом расстоянии от электронного микроскопа. Преобразование механических перемещений в электрические сигналы освобождает приводы столика объектов от дополнительных нагрузок, возникающих при чисто механической конструкции устройства для определения координат участка объекта, В предлагаемой конструкции, например, возможно исключение даже редукторного механизма, если применить многозаходные потенциометры. Предмет изобретенияУстройство для определения координат участка объекта, исследуемого в электронном микроскопе, помещенного,на столике объектов, снабженном приводами для перемещения, от личающееся тем, что, с целью повышения точности определения координат, оно содержит электроннолучевую трубку, потенциометры, с помощью которых производится перемещение электронного луча на экране указанной элек троннолучевой трубки синхронно с перемещением столика объектов, причем потенциометры связаны с приводами столика объектов редукторными механизмами.