Классификатор полупроводниковых приборов

Союз Советских Социалистических Республик(22) Заявле 1 1.75 (21) 2693818(2 011. 21/66 исоединением заяв асударственный камит Совета Министров ССС но делам изооретенийи открытийДата опубликования описания 31.08,7(71) Заявите,КЛАССИ ТОР ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХПРИБОРОВ Изобретение относится к радиоэлектронной промышленности и может быть использовано при производстве, полупроводниковых приборов, преимущественно бескорпусных, для автоматического измерения электрических параметров, классификации с последующей раздельной раскладкой измеренных приборов.Известны классификаторы,полупроводниковых приборов, содержащие измерительное устройство, контактное устройство для подключения прибора к измерительному устройству, логическое устройство, обрабатывающее результаты измерений и через запоминающее- устройство, подающее сигнал на устройство раскладки приборов в тару. 1.Указанные, классификаторы в основанном предназначены для измерения полупроводниковых приборов в корпусе с и(есткими выводами и не позволяют измерять и классифицировать приборы в бескорпусном исполнении в частности с клейким покрытием (1(ристалл, покрытый компаундом),Полупроводниковые приборы, конструктивно выполненные в бескорпусном исполнении, имеют следующие особенности: выводы прибора имеют малый диаметр, относительно большую длину и большое соотношение длины .к диаметру, не допускают большого усилия на растяжение, не допу.окают большого (Онтактного давления (Рлоп ф 20 Гвывод),имеют клеикое покрытие кристалла и выполнены без теплоотвода,Вышеперечисленные особенности бескорпуспых:приборов не допускают гранопорти 5 розку и выгрузку приборов навалом и приводят к тому, что при измерении электрических,нарамепров и классификации с,последующей разгрузн(ой приборов не обеспечи 1 ваегсяточное месторасположение выводов приборов10 в контактном устройспве, исключение прилипания прибора к устройству раскладки, чтозатрудняет выгрузку приборовпостоянсгвотемпературы переходов при подаче предельных режимов измерения, а следовательно и15 значения измеряемых параметров.Наиболее близким по технической сущности к запвляемаму является устройство 12,которые содери(ит измерительное усгройство,блок памяти, коордвнатный столик, контакт 20 ное устройсгво для подключения прибора кизмерительному устройству, включающее кассету с пнездами, прижпм-захват с прижиапнымкольцом и контактную головку с контактамии праводом, устройспво раскладки измерен 25 ных приборов в пранспортные кассеты, механизм перемещения транопор пных кассет,включающий кареткупривод, электромагниты и программный датчик, усгройстео выгрузки,зо Недостатки этого усгройства еледующие:50 55 низкая производительность;закрепление,приборэв,на кассете,вооком вызывает попадание воска на выводы,во время измерения, что ухудшает условия электричеакого контакта, а раоплавление воска,по. вышает температуру измеряемых приборов;перенос приборов до измерения от кассеты к измерителвному устройству является дополлителыной аперацией;устройство нвпригодно для работы с приборами малото веса и клейким покрытием кристалла, так как происюдит прилипание приборов к присосной голодовке, а выгрувка под действием собственного веса и сжатого воздуха затруднена;1 классификация приборов проводится в режиме брак - годен, а:поэтому устройство не позволяет производить раздельную раскладку приборов,при наличии более двух групп клаасификан 1 ии;выбранная кассета и метод фиисании,пр 1 ибора,воаиом на кассете не позваляют проводить любую технологическую обработку приборов,Целью изобретения является повышение надежности и производительности клаасификатора, упрощение его конструкции.Это,достигается тем, что в предлагаемом классификаторе каждое гнездо кассеты контактного устройспва выполнено с опверстием, соединенным с направляющими пазами, которые заканчиваются аивозными отверспиями для прохода,контактов контактной голодовки к прижим-захвату, в который возведены пруиинный компенсатор и подпружиненный абрасыватель со сквозным отверстием, причем кантактная головка связана с неподвижньим упором во время измерения прибора, а прижим- захват закреплен на каретке устройства рас. кладки и перемещается к транспортным кас. сетам, на каретке механизма перемещения которых закраплены электромагниты, лодключеиные к блоку,памяти, привод каретки соединен с пропраммным датчиком, выходы которого подключены к блоку памяти и приво(ду.Взаимное расположение элементов механизма перемещения транапортных каасет, а именно расположение на каретке эле 1 ктромагпитов, подключение их к блоку памяти, соединение,привода каретки с программным датчикам и подключение выхо 1 дов программного датчика к блоку памяти и приводу позволяет осуществить раздельную раскладку измеренных лриборов в транапортные кассеты, причем переымещение транапортных кассет осуществляется во время возврата устройства, раскладки в исходное положенне и замера очередного прибора.Увеличение производительности классификатора также достигается местораополокением ионтактного устройства, а именно размещением его нопосредстванно около места выгрузки приборов, причем,иоординатный,столик во время измерения перемещается под 5 10 20 25 Зо 35 40 45 50 плиту с транапортными кассетами с выходом из-под нее после замера последнего прибора в кассете, что позволяет сократить путь перемещения при выгрузке прибэров в трап. спиртные кассеты.1-1 а фиг. 1 изображена схема предлагаемого класаификатора полупроводниковых приборов; на фиг. 2 - ,прижим-захват, разрез; на фиг. 3 - контактная головка, разрез; на фиг. 4 - контактное устройство во,время измерения, разрез; на фиг, 5 - разрез по А - А на фиг, 4, включающий гнездо кассеты.Классификатор полупроводниковых приборов содержит координатный столбик 1, систему 2 управления,перемещением координатного столика, кассету 3, плиту 4, устройспво раакладии 5, систему 6 управления устройством раакладки, прижим-зах 1 ват 7, контактную головку 8, аистему управлания приводом 9 контактной головкин, пружину 10, регулирую. щий упор 11, рычаг 12, кулачок 13, вал 14, измерительное устройспво 15, бланк памяти 16. вакуумное устройство 1, пневмоустройство 18, каретку 19, привод 20 карепки, лрограммный датчик 21, электромагниты 22, транспортные, кассеты 23, магазин 24, датчики каасетирования 25, механизм каасетирования 26 с кареткамп 27, обоймы 28.На каретке 29 устройства раакладки 5 в направляющей втулке 30 размещен прижимзахват 7, которыи содержит корпус 31, имеющий упор 32. В расточке корпуса 31 вставлен сетчатый диск 33, под которым находится прижимное кольцо 34, закрепленное гайкой 35 и винтом 36,В корпусе 31 выполпены опверстия, соответственно количеспву и рааположению выводов полупроводникового прибора, которые соединены со штуцером 37, Сбрасыватель 38 удерживается дружиной 39 на упоре 32. Опора 40,пружинным компенсатором 41 1 прижимается к крышке 42, Прлиины 43, равномерно расположенные по окружности, удерживают прижим-зах 1 ват 7 в верхнем положении, юптакты 44 контактной головки 8 находятая,пад усилием тарираванных пружин 45 в корпусе 46 и подключены к измерителыно. му успройст 1 ву 15,Гнезда кассеты 3 имеют отверстия а и напр авляющие,пазы б,Классификатор работает следующим абра. зом.Кассету 3 с загруженными приборами устанавливают ла координатный столик 1. Включают питание класаификатора, Система управления приводом 9 контактной головкн 8 по 1 дводит прижим-замват 7, леремещая его параллельно оси Х координатной системы к кассете 3 (фиг. 4), создавая постоянное усилие на кассету 3 пруиинным компенсатором 41, и контактную головку 8 - к выводам по.тупрова 1 дникового,прибора, находящегося в кассете 3.5Контакты 44 проходят через оивозное отверстие кассеты 3 и поднимают прибор ло направляющим вазам б и прижимают его выводами к,прижимпаму кольцу 34 с усилием тариравацпых пружин 45,Контактная головка 8 падводится плачевно через рычаг 12 от кулачка 13 и во время из. меренця удерживается пружиной 10 и на неподвижном упоре 11 при разомкнутой мехапичеокой связи меиду нажимной площадкой контактной головки 8 и ее приводом. Затем запуокается измерительное устройство 15, Результаты измерения параметров, а именно, группа,классификации,полугправадникаваго прибора, записььвается в блоке памяти 16, Одновременно поступают оигналы от измерительново устройства 15 на вакууицое устройство 17, удерживающее прибор за кристалл и вывады на прижим-захвате 7, и на систему управления приводом 9,контактной головки 8 которая отводит прижим-захват 7 и контактную головку 8 в исходное положение. В это время с блока памяти 16 поступает сигнал, соответствующий данной грутвпе приборо 1 в на электромаппит 22, якорь которого входит в зацепление с транопоргной кассетой 23, Одновременно с блака памяти 16 подается сигнал клаосификации на оистему управления б устройством раскладушки.По возвращении в исходное доложенне контактной голавки 8 система управления по. средствам привода 9 подает сигнал на систему 2 управления приводоем координатного столика, котарая подводит на измерительную позицию, следующий прибор. Координатный сполик,перемещается дискретно лараллельно осям Х и У в плоскости ХУ с постоянным шагом, Шаговое, перемещение координатного столика осуществляегся системой управления с шаговьпм элекгродвигателем.Однавременно подается сигнал на систему 6 управления приводом устройства рас,кладки 5, которое перемещает устройство раскладки с полуправодникавыи прибором на место выгрузки. Устройство раокладки вере. мещается шагавым двигателем и управляется по,пути. После остановки устройсгва раскладки 5 с системы 6 управления приводом поступают сигналы на ваиуумное устройсгво 17 и на дневмоустройспво 18, опключаегся ваиуум, подключается сжатый воздух к штуцеру 37 прижим-захвата 7, Сжатый воздух давит на фланец сбрасывателя 38, сжимается пружина 39, сбрасыватель 38 перемещается вниз, нажимает,на выводы прибора, а через отверстие сбрасывателя 38 сжатый воздух давцт па прибор, В результате механического и ппевматического воздействия прибор выгружается в пнездо транспортной кассеты 23, после чего огклвчаегся подача сжатово воздуха.Одновременно подается оивнал на возврат устройства раскладки в исхадное положение и на привод 20 каретки 19, который перемещает транспортную кассету 23 на шаг, после565338 1 О 15 20 25 Источники информациипринятые во внимание,при экопер-пизе: 1. Патент США М 3601699, кл. 324 в 15, опублик. 1971. 2. Патент Англии Мо 1325016, кл, Н 1 К,опублик, 1973,60 65,30 35 40 45 50 55 6чего с программного датчика 21 лоступает сигнал па сорос информации в блоке памяти 16.Якорь электромагнита 22 выходит из зацепления с трацспоргной кассетой 23, а карепка 19 возвращается в исходное положение, определяемое сигналом программного датчика 21. После перемещения координатного столика 1 и возвращения устройства раскладки 5 в исхадное положение от системы 2 управления приводом координатного столика и системы 6 управления приводом устройсгва раскладки 5 поступают сипналы в систему уяравлеция привадом 9 кантактной головки 8, которая выполняет функции пускавого сигнала, Цикл повторяется.В конце захода в обойму 28 транспортной кассеты 23, датчик кассетирования 25 и блок памяти 16 подают сигналы в механизм кассетировация 26, который апуокает каретку 27 с обоймой 28, освобождая место для захода следующей транспортной кассеты 23,Формула изобретения Классификатор полуправодциковых при. боровов, преимущеспвенно бескорпуеных, содержащий измерительное устройство, блок памя. ти, координатный столик, контактное устройство для подключения пр 1 ибора к измерительному успройству, включающее кассету с гнездами, прижим-замват с лрижияньпм кольцом и контактцую головку с контактами и нрнвадом, устройство,раскладии измеренных приборов в транспортные кассеты, механизм перемещения транспортных кассет, включающий карепку, привод, электромагниты и программный датчик, устройство, выгрузки, отличающийся ся тем, что, с целью повышения надежности и праизвадителынасги классификатора и упрощения его конструкции, каждое гнездо кассеты контактного устройства имеет отверстие и соединенные с ним направляющие пазыкоторые заканчиваются сквозными отверстиями для прохода контактав контактной половики к прижим-захвату, в,который ,возведены пружипцый компенсатор и надпружиценцый сбрасыватель со сивозным отверстием, контактная головка во время измерения прибора связанна с наподвижным упором, а прижим-захват закреплен на каретке устройства раскладки с возможностью перемещения,к грацспоргным кассетам, на каретке механицизма перемещения которых закреплены электромагииты, подключенные к блаиу па,мяти, привод ка)етки соединен с программным датчиком, выходы которого подключены к блоку памяти и приводу.565338 РиаФ Составитель И. СменовИ. Шубина Техред 3. Тараненко Корректор Л. Котова еда аз 5805Ц 1-1 ИИ ПодписиСССР 35, Раушская наб., д Т, Загорский филиа Изд. М 58осударственн по делам035, Москва,Тираж 995 комитета Совета Минист бретеиий и открытий